Фотополимеризующийся лак
2ЦЗ!6
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ, Союз Советскив @
Социелистичесиик
Республик
k tO CKOMY СВИДП h CIBY
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 15 1Х.1965 (№ 1078265/23-4) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 08 П.1968. Бюллетень ¹ 7
Дата опубликования описания 5.IV. 1 968
Кл. 57d, 2/01
МПК 6 03f
УДК 771.531:777.52 (088.8) комитет по делом изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Лвторы изобретения
Иностранцы
Хервард Пич и Томас Штолле (Германская Демократическая Республика) Заявитель
ФОТО ПОЛ ИМЕР ИЗУ1ОЩИ И СЯ ЛАК
Фотополимеризующийся лак,,используемый при изготовлении печатных плат, полупроводниковых элементов, печатных схем, вытравляемых масок и защитных слоев. Этот лак обычно состоит из светочувствительного соединения, содержащего двойные этиленовые связи, сенсибилизатора, а,иногда и стабилизатора против влияний температуры, связующего вещества или размягчителя.
Известно применение в качестве светочувствительных соединений сложных эфиров поливинилового спирта,и ненасыщенной кислоты, например коричной, а также эфиров акриловой кислоты с полиэтиленгликолями, ацеталей поливинилового спирта, содержащих в ацетальных группах двойные этиленовые связи, а также мономерных ненасыщенных углеводородов. Однако соединения с эфирными или ацетальными группaìè недостаточно стойки к травящим средствам, а слои на основе мономерных ненасыщенных углеводородов большей частью не выдерживают механических напряжений.
С целью получения фотополимеризующегося лака, которь и при той же светочувствительности, что и известные, имеет большую разрешающую способность, а также высокую прочность в отношении травящих .средств и растворителей, предлагается в качестве эфиров поливинилового спирта применять простые эфиры поливинилового спирта и ненасыщенных спиртов — аллилового и коричного со степенью этерификации гидроксильных групп на менее 20 %.
5 Указанные соединения растворяют в органических растворителях и используют в качестве лака. Для этих растворов,стабилизаторы не требуются. Получаемый таким образом лак обладает высокой светочувствительностью
10 и большой разрешающей способностью. Он сенсибилизируется обычным способом с помощью красителей. По своей стойкости по отношению к травлению, в частности, по отношению к соединениям фтора, он превосходит
15 известные фотополимеризующиеся соединения. Слои лака известным методом могут быпгь термически задублены.
Ненасыщенные простые эфиры поливинилового спирта, содержащие не менее 20% не20 насыщенных эфирных групп, получают известными приемами, например сополимериза цией соответствующих мономеров или этерификацией поливинилового спирта в жидком аммиаке с металлическим натрием и алкениль25 ными или аралкенильными галогенидами, а гакже при определенных условиях с последующей этерификацией и/или ацетилированием.
Пример 1. Поливинилаллиловый эфир, 30 содержащий приблизительно 30 % аллильных
211316
Составитель Э, Рамзова
Текред, А. А. Камышникова
Корректоры: Т. Д. Чунаева и А. П. Васильева
Редактор Л. Ильина
Заказ 58!/5 Тираж 530 Подписное
ЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 групп, получают этерификацией поливинилового спирта с мол. весом 35000 — 40000 в жидком аммиаке. Приблизительно 3 ",о -ный раствор этого эфира .в ледяной уксусной кислоте наносят на стеклянную пластину. После просушивания пластину освещают за ртутной лампой высокого давления (модель НВО-200) на расстоянии 20 сл 10 иин, а затем 3 — 5 мин проявляют в ледяной уксусной кислоте. Эта пластина даже без задубливания устойчива в течение 5 мин против действия 33о!о.-ного водного раствора фторисгого аммония. После
45 Вин термического задубливания пластины при 180 С ее устойчивость к указанному раствору фтористого аммония возрастает более чем до 15 иан. К действию концентрированной серной и азотной кислот пластина устойчива в течение нескольких часов.
Пример 2. 100 вес. ч. поливинилаллилового эфира .из поливинилового спирта с мол. весом от 20000 до 25000, получаемого аналогично описанному в примере 1. в виде 2 -ного раствора в этаноле при добавлении 5 вес. ч. кетона Михлера наносят на стеклянную пластину. Освещения в течение 1 ман при условиях, описанных в примере 1, достаточно для того, чтобы слой хорошо проявился.
П р,и м е р 3, Из поливинилциннамоильного эфира средней степени полимеризации готовят 3 -ный раствор в ледяной уксусной кислоте, который затем наносят на оксиди5 рованную поверхность кремниевой пластины.
Пластину высушивают и освещают в течение
7 мин за ртутной лампой, после чего проявляют 5 мин в ледяной уксусной кислоте и подвергают термическому задубливанию. По10 лучаемый при этом слой лака устойчив по меньшей мере 35 иин к действию 33 о!о-ного водного раствора фтористого аммония.
15 Предмет изобретения
Фотополимеризующийся лак на основе эфиров поливинилового спирта, отличающийся тем, что, с целью придания фотополимеризующемуся лаку большой разрешающей способности и высокой прочности по отношению к травящим средствам и растворителям, в качестве эфиров поливинилового спирта в нем применены простые эфиры поливинилового спирта и ненасыщенных спиртов — аллилового и коричного со степенью этерификации гидроксильных групп не менее 20
