Электролит для электрохимического травлениявольфрама
2IO598
Союз Советских
Социалистических
Респуелих
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 25.03.1967 (№ 1142948/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 06.11.1968. Бюллетень ¹ 6
Дата опубликования описания 1.IV.1968
Кл. 48 а, 1/06
МПК С 23b
УДК 621.3.035.443(088.8) Комитет ло делам изооретений ll открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
Я. А. Лейзгольд
Заявитель
ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ
ВОЛЬФРАМА
Предмет изобретения
Предлагаемый элсктролит применяется, в частности, при изготовлении сеток и других деталей для электровакуумных приборов.
Известны составы электролитов на щелочной основе, применяющихся для электрохимического травления и полировки вольфрама.
Однако эти электролиты пригодны для грубого травления: снятия окислов, подтравливания проволоки до нужного размера и др. При изготовлении мелкоструктурных сеток они непригодны, так как детали либо перетравливались, либо травление было неравномерным.
Предложенный состав электролита отличается от известных тем, что в него введена многоосновная карбоновая соль. Составные части электролита взяты в следующем соотношении: калий едкий 9 — 10 г калий лимоннокислый трехзамещенный
6 — 7г вода 85 мл.
Предложенный электролит позволяет регулировать скорость травления и повысить ее равномерность, причем она улучшается с увечичением основности кислоты.
Так, добавка солей двухосновных карбоновых кислот, например винной, себациновой, значительно улучшает равномерность травле ния. Наилучший результат дает добавление к электролиту трехосновных карбоновых кислот, например лимонной.
По мере увеличения углеводородного радикала карбоновых кислот скорость травления уменьшается. Например, скорость травления в щелочном электролите с добавкой соли себациновой кислоты (соли СГ) в два разя меньше, чем в аналогичных электролитах с добавкой соли винной кислоты (сегнетовой соли) .
Использование для электрохимическuro травления вольфрама щелочных электролитов с добавками солей многоосновных карооновых кислот дало возможность изготовить сетки из вольфрамовой ленты толщиной 20 мк с шириной перемычек 20 мк и ячейкой 150 мк и другие детали из вольфрама. При этом разброс по ширине перемычек не превышал 5 мк. Описываемый электролит, использовавшийся для изготовления деталей, обеспечивает скорость травления 4 мк/мин при напряжении 9 в.
При необходимости уменьшить скорость травления до 2 мк/мин можно использовать электролит с добавкой соли СГ.
1. Электролит для электрохимического травления вольфрама, содержащий щелочь и во30 ду, отличсиощийся тем, что. с целью повышс210598
9 — 10 г
6 — 7 г
-85 мл.
Составитель И. С. Ратенберг
Редактор П. Шлайн Техред А. А, Камышникова Корректоры; А. П. Татаринцева и Н. И, Быстрова
Заказ 57475 Тираж 530 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр, Сапунова, 2 ния равномерности травления и регулирования скорости травления, в его состав введена соль многоосновной карбоновой кислоты.
2. Электролит по п. 1, отличающийся тем, что он имеет следующий состав: калий едкий калий лимоннокислый трехзамещенный вода
