Устройство для измерения парциального давления кислорода и способ его изготовления
Изобретение относится к области газового анализа, а именно к устройству для измерения парциального давления кислорода, содержащему твердый электролит и электроды, соединенные с выводами для снятия сигнала, твердым электролитом является пленка оксида материала, из которого изготовлен первый электрод, выполненный в виде металлической матрицы и размещенный внутри пленки оксида, первый вывод для снятия сигнала подсоединен к металлической матрице в области раздела металл - оксид, при этом второй электрод расположен на поверхности пленки оксида и выполнен в виде проницаемого для кислорода электропроводящего слоя. Кроме того, изобретение относится к способу изготовления данного устройства путем получения твердого электролита, образования электродов и подсоединения к ним выводов для снятия сигнала, при этом для получения твердого электролита изготавливают первый электрод в виде металлической матрицы, нагревают его в окислительной среде и выдерживают до образования на его поверхности пленки оксида, на которой закрепляют второй электрод. 2 с. и 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Изобретение относится к области газового анализа и может быть использовано в измерительных приборах на твердом электролите, в частности в датчиках контроля кислорода в газовых смесях и в датчиках кислорода в системах управления процессами горения.
Известно устройство для измерения парциального давления кислорода [1] содержащее пластину твердого электролита, контактирующую с эталонным электродом, в котором создается постоянное парциальное давление кислорода, и металлические электроды, нанесенные на пластину. Из-за сложности конструкции эталонного электрода и больших габаритов устройства, обусловленных наличием трубопровода для подвода газа в эталонный электрод и емкости с кислородом, а также из-за применения дорогостоящей платины в качестве металлических электродов известное устройство не нашло широкого применения. Наиболее близким техническим решением к описываемому является устройство для измерения парциального давления кислорода [2] содержащее твердый электролит и электроды, соединенные с выводами для снятия сигнала. Однако в известном устройстве эталонный электрод имеет сложный состав компонентов, включающий спеченный порошок металла или спеченную смесь порошка металла и оксида металла, которые содержат поры. Наличие пор, а следовательно, и свободного кислорода приводит к изменению значения равновесного парциального давления в эталонном электроде при изменении парциального давления кислорода в анализируемой среде за счет диффузии кислорода, что приводит к снижению точности работы устройства и уменьшению быстродействия проводимых измерений. Кроме того, конструкция известного устройства требует использования металлов платиновой группы. Известен также способ изготовления устройства для измерения парциального давления кислорода [3] путем получения твердого электролита, образования электродов и подсоединения к ним выводов для снятия сигнала. Однако известный способ содержит множество технологически сложных операций, а эталонный электрод, получаемый в результате реализации этого способа, содержит поры, что приводит к упомянутым выше недостаткам работы устройства. Технический результат, получаемый при реализации изобретения, состоит в упрощении конструкции устройства для измерения парциального давления кислорода, повышении его точности и быстродействия за счет создания беспористого эталонного электрода, снижении стоимости устройства за счет исключения применения дорогостоящих материалов, а также в упрощении технологии его изготовления. Указанный технический результат достигается тем, что в устройстве для измерения парциального давления кислорода, содержащем твердый электролит и электроды, соединенные с выводами для снятия сигнала, твердым электролитом является пленка оксида материала, из которого изготовлен первый электрод, выполненный в виде металлической матрицы и размещенной внутри пленки оксида, а первый вывод для снятия сигнала подсоединен к металлической матрице в области раздела "металл-оксид", при этом второй электрод нанесен на поверхность пленки оксида. Второй электрод может быть выполнен в виде проницаемого для кислорода электропроводящего слоя. При этом в способе изготовления предлагаемого устройства путем получения твердого электролита, образования электродов и подсоединения к ним выводов для снятия сигнала для получения твердого электролита изготавливают первый электрод в виде металлической матрицы, нагревают его в окислительной среде и выдерживают до образования на нем пленки оксида, на поверхности которой закрепляют второй электрод. Эталонным электродом с постоянным парциальным давлением в описываемом устройстве является область раздела между первым электродом и его оксидной пленкой твердым электролитом. Согласно теории высокотемпературного окисления металлов Вагнера [4] в случае образования плотной пленки оксида парциальное давление кислорода в области раздела "металл оксид" равно равновесному давлению диссоциации оксида в контакте с металлом





Давление диссоциации оксида в контакте с металлом определяется только температурой, следовательно, парциальное давление такого эталонного электрода является константой, не зависящей от парциального давления кислорода в газовой среде. На фиг. 1 представлена конструкция описываемого устройства; на фиг. 2 - градуировочная зависимость, полученная с помощью предлагаемого устройства; на фиг. 3 его динамическая характеристика. Устройство для измерения парциального давления кислорода состоит из электрода 1, выполненного в виде металлической матрицы, твердого электролита 2, представляющего собой пленку оксида материала, из которого изготовлена металлическая матрица, электрода 3, который размещен на поверхности твердого электролита 2 пленки оксида, и выводов 4 и 5 для снятия сигнала, подключенных соответственно к электроду 1 в области раздела "металл оксид" и к электроду 3. Последний выполнен в виде проницаемого для кислорода электропроводящего слоя, например, путем нанесения на поверхность пленки оксида пасты оксида никеля, легированного литием с последующим ее вжиганием. Устройство работает следующим образом. Устройство размещают в анализируемой газовой среде и нагревают до известной температуры. На фазовых границах пленки оксида 2 возникает разность потенциалов, которую снимают с помощью выводов 4 и 5 и измеряют вольтметром 6. По величине измеренной разности потенциалов и градуировочной зависимости, построенной предварительно в смесях с известным парциальным давлением кислорода, определяют искомое парциальное давление кислорода в анализируемой среде. Описываемое устройство изготавливают способом, согласно которому первоначально изготавливают, например, методом механической обработки первый электрод в виде металлической матрицы заданной геометрической формы и размеров. Пленку твердого электролита и эталонный электрод получают одновременно как единую деталь в процессе нагревания металлической матрицы в окислительной среде до температуры образования оксида и выдержки до формирования на ней сплошной, однородной оксидной пленки твердого электролита, не содержащей сплошных пор и электропроводящих включений, шунтирующих ее фазовые границы. Однородность и сплошность пленки оксида оценивают по электрофизическим параметрам, например, измеряя импеданс пленки оксида или проводя электрохимическое декодирование. Отсутствие сквозных пор в пленке оксида твердом электролите, а следовательно, и в области раздела "металлическая матрица твердый электролит" обеспечивает постоянство парциального давления кислорода в этой области, являющейся эталонным электродом, парциальное давление в котором равно равновесному давлению диссоциации. Первый вывод для снятия сигнала присоединяют к поверхности металлической матрицы, например, посредством сварки. При этом первый вывод может быть присоединен как до нагревания металлической матрицы, так и после формирования на ней пленки оксида. На поверхность пленки оксида твердого электролита закрепляют второй электрод и подсоединяют к нему второй вывод для снятия сигнала. Пример осуществления способа. Первый электрод был изготовлен в виде прямоугольной матрицы из циркония. Матрицу поместили в печь, в которой в качестве окислительной среды прокачивали кислород. Нагрев осуществляли до температуры 600oC, после чего производили выдержку при этой температуре в течение 10 ч. К матрице был приварен в области раздела "цирконий оксид циркония" первый вывод для снятия сигнала. На поверхности полученной пленки оксида циркония был укреплен второй электрод путем нанесения пасты оксида никеля, легированного литием с последующим ее вжиганием, после чего ко второму электроду был приварен второй вывод для снятия сигнала. Устройство, изготовленное описанным способом, характеризуется зависимостями, представленными на фиг. 2 и фиг. 3. Градуировочная зависимость (фиг. 2) построена с помощью описанного устройства при температуре 700oC в бинарной смеси газов гелий кислород в области парциальных давлений 5


E a+b ln P02
где размерность э.д.с. мВ, давления атм. Получены следующие значения: a 842,91 мВ; b 24,56 мВ, коэффициент корреляции к 0,997, отношение дисперсионного анализа составляет 1607, что свидетельствует в совокупности о высокой точности устройства. Динамическую характеристику устройства (фиг. 3) иллюстрирует быстродействие при замене атмосферы воздуха (участки 1 и 3) на бинарную смесь гелий 0,01 об. кислорода (участок 2) при температуре 550oC. В качестве параметра, характеризующего быстродействие кислородных датчиков на основе твердых электролитов, применяется интервал времени, в течение которого изменение амплитуды сигнала составит 95% Динамическая характеристика устройства для данных условиях составляет




1. Патент ФРГ N 3820881, МКИ5 G 01 N 27/58, 1989. 2. Заявка Японии N 61-38413 B, МКИ5 G 01 N 27/58, 1986. 3. Заявка Японии N 62-44614 B, МКИ5 G 01 N 27/58, 1987. 4. Кофстад П. Высокотемпературные окисления металлов. М. Мир, 1969, с. 140. 5. Мебиус Х. Х. Жук П.П. Якобс Ш. и др. Исследования электрохимических твердоэлектролитных сенсоров кислорода с порошковыми оксидными электродами. "Электрохимия", 1990, вып. 11, т.26, с. 1388.
Формула изобретения
РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3