Использование: изобретение относится к составам материалов, в частности к составу низкотемпературной стеклокомпозиции, используемой в электронной технике для герметизации корпусов интегральных схем (ИС). Снижение температуры спаивания композиции повышает стабильность электрических параметров интегральных схем (ИС), уменьшает коррозию металлических вводов и повышает выход годных приборов. Сущность изобретения: композиция для легкоплавкого припоечного материала включает 11,5 - 20,6 мас.% кордиерита в качестве наполнителя и 79,4 - 88,5 мас.% легкоплавкого стекла. Стекло, включающее B2O3, SiO2, Al2O3, PbO, PbF2 и ZnO, дополнительно содержит TeO2 при следующем соотношении компонентов, мас.%: B2O3 10 - 13; SiO2 0,1 - 0,9; Al2O3 0,1 - 0,8; PbO 70 - 75; PbF2 5 - 10; ZnO 0,1 - 1,3; TeO2 3,5 - 9. 2 табл.
Изобретение относится к составам материалов, в частности к составу низкотемпературной стеклокомпозиции, используемой в электронной технике для герметизации корпусов интегральных схем (ИС). Снижение температуры спаивания композиции повышает стабильность электрических параметров интегральных схем (ИС), уменьшает коррозию металлических вводов и повышает выход годных приборов.
Известна композиция, включающая, мас. 50-55 легкоплавкого припоечного стекла (ЛПС); 38-42 титаната свинца и 6-9 силиката циркония, причем стекло, включающее РbО, В
2О
3 и SiО
2, дополнительно содержит Al
2O
3 при следующем соотношении компонентов, мас.
PbO 84-86; B
2O
3 12-14; SiO
2 0,7-1,1; Al
2O
3 0,5-1,2 [1] Недостатком указанного материала является недостаточно низкая температура спаивания не менее 440
оС.
Известна также композиция, включающая 53-81,5 мас. стекла, содержащего, мас. В
2О
3 12-14, SiO
2 0,7-1,3; ZnO 0,1-2,0; ОРЗЭ 1,0-3,0; остальное РbО и 18,5-45 мас. наполнителя [2] Однако температура спаивания композиции 400-420
оС также недостаточно низка.
Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности и достигаемому результату является композиция, включающая, об. 50-65 порошка легкоплавкого стекла и 35-50 порошка наполнителя (

-эвкриптита, циркона, титаната свинца и других материалов), причем порошок стекла содержит, мол. PbO 45-60; PbF
2 0-8; B
2O
3 25-32; ZnO 6-11; ВаО 0-5; SiO
2 1-5; Al
2O
3 0-4; Tl
2O 1-13 [3] что в пересчете на мас. составляет:PbO 55-75,3; PbF
2 0-9,5; B
2O
3 10-12,2; BaO 0-3,0; SiO
2 0,7-1,0; Tl
2O 2,8-29,8; Аl
2O
3 0-0,5.
Эти композиции позволяют спаивать корпуса интегральных схем (ИС) при температурах ниже 400
оС, что существенно улучшает параметры приборов. Снижение температуры спаивания данной стеклокомпозицией обеспечивается главным образом за счет содержания Tl
2O в составе стекла, входящего в данную композицию. Недостатком таллиевых стекол является их высокая токсичность в сочетании с большой летучестью, а также низкая влагостойкость. В связи с этим работа с таллиевыми составами стекол должна производиться в специально оборудованных для указанных целей помещениях при соблюдении строгих мер индивидуальной защиты.
Целью изобретения является снижение температуры спаивания, диэлектрической проницаемости, токсичности и повышение влагостойкости.
Поставленная цель достигается тем, что композиция для легкоплавкого припоечного материала, содержащая 11,5-20,6 мас. кордиерита в качестве наполнителя и бесталлиевое легкоплавкое стекло, включающее В
2О
3, SiO
2, РbO, PbF
2, ZnO и Аl
2О
3, дополнительно содержит ТеО
2 при следующем соотношении компонентов, мас. В
2О
3 10-13 SiO
2 0,1-0,9 PbO 70-75 PbF
2 5-10 Al
2O
3 0,1-0,8 ZnO 0,1-1,3 TeO
2 3,5-9,0 Таким образом, предлагается бесталлиевое легкоплавкое стекло, содержащее дополнительно TeO
2, которая существенно менее токсична, имеет относительно более высокую влагостойкость, повышает устойчивость к кристаллизации. При использовании TeO
2 в предложенной композиции удается снизить температуру герметизации до 385-395
оС.
В табл. 1 приведены конкретные составы и свойства легкоплавкого стекла для композиции в сравнении с прототипом.
В качестве наполнителя для снижения ТКЛР и диэлектрической проницаемости

стеклокомпозиция содержит кордиерит в виде тонкодисперсного порошка (S

3000 см
2/г).
В табл. 2 приведены конкретные составы и свойства композиций.
В связи с ограниченным потреблением указанного состава для специальных приборов СВЧ-техники технология его производства является мелкосерийным и состоит в следующем: синтез ЛПС производится из химически чистых реактивов: Н
3ВО
3, SiO
2, Pb
3O
4, PbF
2, ZnO, и TeO
2 в корундовых тиглях в силитовой печи при температурах 800-900
оС. Перед отливкой стекломассу тщательно перемешивают с помощью кварцевой трубки, а затем гранулируют путем отливки на массивную металлическую плиту и прокатывания на ней металлическим валком. Полученную крошку стекла измельчают в барабане из высокосортной стали в планетарной мельнице до дисперсности 2000 см
2/г. Затем к порошку ЛПС добавляют мелкодисперсный порошок кордиерита и смешивают в той же планетарной мельнице в течение 3-5 мин.
В полученную композицию добавляют раствор связующего до получения сметанообразной пасты, которую используют при нанесении на спаиваемые детали ИС. Герметизация корпусов производится путем нагревания сборки спаиваемых деталей до 385-395
оС и выдержки при этой температуре в течение

20 мин. Полученные изделия вакуумплотны и имеют необходимые диэлектрические параметры: tg

40

10
-4 и

13 в СВЧ-диапазоне.
Таким образом, предлагаемый припоечный материал обладает комплексом свойств, необходимых для герметизации микроволновых ИС СВЧ-техники при низкой температуре спаивания

390

5
оС.
Формула изобретения
КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ ЛЕГКОПЛАВКОГО ПРИПОЕЧНОГО МАТЕРИАЛА, включающая кордиерит в качестве наполнителя и легкоплавкое стекло, содержащее B
2O
3, SiO
2, Al
2O
3, PbO, PbF
2, ZnO, отличающаяся тем, что она содержит 11,5 - 20,6 мас.% кордиерита и 79,4 - 88,5 мас.% легкоплавкого стекла, которое дополнительно содержит TeO
2 при следующем соотношении компонентов стекла, мас. %: B
2O
3 - 10 - 13 SiO
2 - 0,1 - 0,9 Al
2O
3 - 0,1 - 0,8 PbO - 70 - 75 PbF
2 - 5 - 10
ZnO - 0,1 - 1,3
TeO
2 - 3,5 - 9,0
РИСУНКИ
Рисунок 1,
Рисунок 2