Использование: изготовление оптических линз для оптических и оптоэлектронных приборов для инфракрасной области спектра. Сущность изобретения: используют пластины монокристаллов кремния или германия, вырезанные перпендикулярно кристаллографическим осям 3-го или 4-го порядка, которые деформируют с постоянной скоростью не более 2
10-2мм/с в матрице, рабочая поверхность которой образована вращением кривой, состоящей из двух сопряженных дуг окружностей с радиусами Rз и rм, величины которых определяются из соотношений
Rз= R+
h
hmax
R где R радиус полусферического пуансона; r радиус исходной заготовки;
толщина заготовки; hmax глубина матрицы; h заданная стрела прогиба заготовки или линзы. 1 табл.
Изобретение относится к технологии изготовления линз оптических систем современных оптических и оптоэлектронных приборов для инфракрасной (ИК) области спектра и может быть использовано при получении линз из монокристаллического кремния и германия.
Известен способ получения оптических деталей прессовкой полусферическим пуансоном моно- и поликристаллических материалов на основе твердых растворов оксидов магния и алюминия [1] Указанный способ не позволяет получать вогнуто-выпуклые линзы из кристаллов кремния или германия.
Наиболее близким к изобретению является способ получения оптических линз, включающий изготовление заготовок путем пластической деформации в условиях центрально-кольцевого изгиба полусферическим пуансоном плоскопараллельных пластин [2] В данном способе используют пластины Z срезов одноосных кристаллов, в частности лейкосапфира и фторида магния.
Недостатком данного способа является невозможность получения оптических линз из монокристаллов кремния и германия.
Цель изобретения получение вогнуто-выпуклых линз с высоким коэффициентом преломления (n>3), прозрачных в ИК-области спектра.
Цель достигается тем, что используют пластины монокристаллов кремния или германия, вырезанные перпендикулярно кристаллографическим осям 3-го или 4-го порядка, которые деформируют с постоянной скоростью не более 2
.10
-2 мм/с, в матрице, рабочая поверхность которой образована вращением кривой, состоящей из двух сопряженных дуг окружностей с радиусами R
з и r
м величины которых определяются из соотношений

(r
м+R
з)(r
м+R
з-h
max)-r

=R
2з(r
м+R
з)
2-r
2R
2з Rз=R-

h

h
maх
R, где R радиус полусферического пуансона; r радиус исходной заготовки;

толщина заготовки; h
mах глубина матрицы; h заданная стрела прогиба заготовки или линзы.
Существенным отличием предлагаемого способа, является использование в качестве исходной заготовки пластин монокристаллического кремния или германия, которые вырезают перпендикулярно кристаллографическим осям 3-го или 4-го порядка, чем достигается возможность получения осесимметричной заготовки линзы вплоть до полусферической. Высокотемпературную пластическую деформацию проводят с постоянной скоростью не более 2
.10
-2 мм/с, что обеспечивает напряжение в критическом сечении более предела текучести, но менее предела прочности и гарантирует целостность заготовки линзы на стадии формоизменения. Пластины деформируют в матрице, рабочая поверхность которой образована вращением кривой, состоящей из двух сопряженных дуг окружностей с радиусами R
з и r
м, величины которых определяются из соотношений (1).
Именно эта форма рабочей поверхности обеспечивает необходимый уровень напряжений в критическом сечении при неоднородной пластической деформации и исключает образование сбросов в материале, что резко снижает оптическую однородность линзы.
Причем в матрице с глубиной h
mах, величина которой может достигать значений радиуса пуансона R, возможно получение заготовок, а соответственно и линз со стрелой прогиба меньше или равной радиусу полусферического пуансона.
П р и м е р 1. Диск из монокристалла кремния, диаметром 44,4 мм и толщиной 4,4 мм, вырезанный перпендикулярно оси 3-го порядка, загружают в матрицу R
з= 19,6 мм, r
м=10,0 мм, значения которых вычислены из уравнений (1), при h
mах= 10,0 мм, которую помещают в установку, вакуумируют, нагревают и после выдержки при постоянной температуре деформируют полусферическим пуансоном со скоростью 10
-2 мм/с. После достижения заданной стрелы прогиба (h= 9,2 мм), снимают нагрузку и инерционно охлаждают. Стрела прогиба может достигать значений h
mах, равных радиусу кривизны пуансона.
Результаты следующих экспериментов получения заготовок оптических линз сведены в таблицу.
Таким образом, сопоставительный анализ примеров показывает, что поставленная задача достигается только при использовании совокупности признаков предлагаемого способа.
Формула изобретения
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ЛИНЗ, включающий изготовление заготовок путем пластической деформации в условиях центрально-кольцевого изгиба полусферическим пуансоном плоскопараллельных пластин, отличающийся тем, что используют пластины монокристаллов кремния или германия, вырезанные перпендикулярно кристаллографическим осям 3-го или 4-го порядка, которые деформируют с постоянной скоростью не более 2

10
-2 мм/с в матрице, рабочая поверхность которой образована вращением кривой, состоящей из двух сопряженных дуг окружностей с радиусами R
з и r
м, величины которых определяются из соотношений

=R
2з(r
м+R
з)
2-r
2R
2з,
R
3=R+

,
h

h
max 
R,
где R радиус полусферического пуансона;
r радиус исходной заготовки;

толщина заготовки;
h
max глубина матрицы;
h заданная стрела прогиба заготовки или линзы.
РИСУНКИ
Рисунок 1NF4A Восстановление действия патента Российской Федерации на изобретение
Извещение опубликовано: 10.07.2006 БИ: 19/2006