Паста для полировки и шлифовки деталей
!
97058
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сова Советских
Социалистических
Республик
ВСЕС:- юИAЯ
ПАТЕНТН0-!
Т XIIN×KVAQ т6ЛИОТЕКА Кл. 22g, 44- — — .
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 14Х1.1966 (№ 1083537/23-4) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 04Х!1.1969. Бюллетень № 22
Дата опубликования описания 2.XII.1969
МПК С 09g
УДК 621.795.2:54-148 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете сйииистров
СССР
Автор изобретения
А. И. Татаренков
Заявитель
ПАСТА ДЛЯ ПОЛИРОВКИ И ЫЛИФОВКИ ДЕТАЛЕЙ
Известные пасты для полировки и шлифовки деталей на основе абразивного порошка, например окиси хрома, и водного раствора поверхностно-активного вещества недостаточно эффективны прп полировке полупроводниковых материалов.
Предлагаемая паста отличается от известной тем, что в качестве поверхностно-активного вещества применяется горчичная мука или продукт ее расщепления — аллилгорчичное масло.
Предлагаемая эмульсия в сочетании с известным полирующим агентом, например окисью хрома, псзволяет увеличить производительность полировки полупроводниковых материалов, например кремния и, самое главное, делает процесс стаоильным и хорошо воспроизводимым по качеству полированной поверхности.
Для изготовления эмульсии на основе поверхностно-активного вещества — мироновокислого калия (горчичной муки) в теплой дистиллированной воде тщательно размешивают горчичную муку. После этого смесь отстаивается в течение 2 — 4 час. Отмученный раствор сливают при помощи сифона.
Полученная эмульсия смешивается с известными полирующими компонентами, например окисью хрома, и используется для полировки полупроводниковых материалов на смоляном или мягком шлифовальнпке, например искусственной замше.
10 Полирующий агент должен быть во взвешенном состоянии. Для этого полировочная суспензия постоянно перемешивается в мешалке с механическим приводом.
15 Предмет изобретения
Паста для полировки и шлифовки деталей на основе абразивного порошка, например окиси хрома, и водного раствора поверхностно-активного вещества, отличающаяся тем, 20 что, с целью повышения эффективности пасты, в качестве поверхностно-активного вещества введена горчичная мука или продукт ее расщепления — аллплгорчичное масло.
