Г. а. блинов и ж. к. корзо
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 25.111.1966 (¹ 1064374/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 16Х.1967. Бюллетень № 11
Дата опубликования описания 23.VI.1967
Котвитет оо делать изоеретений и открытий лри Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
А. Ф. Андрушко, Г. А. Блинов и Ж. К. Корзо
Заявитель
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОРИСТОСТИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Известны способы определения пористости пленок, основанные на подсчете, например, при помощи металлографического микроскопа числа пор, приходящихся на единицу поверхности пленки, нанесенной на подложку, Для облегчения обнаружения и подсчета числа пор исследуемын участок возле пор предварительно окрашивают.
Особенностью предложенного способа определения пористости тонких пленок, например пленок моноокиси кремния, является то, что пленку окрашивают раствором, взаимодейстгующим с подложкой, например 5 — 20%-ным раствором едкого патра. Это позволяет более точно определить число пор.
Пленку возле пор окрашивают через 30—
60 лгин после нанесения на поверхность пленки раствора едкого натра.
Предмет изобретения
Способ определения пористости тонких пленок, например пленок моноокисн кремния, нанесенной на алюминиевую подложку, основанный на окрашивании пор и наблюдении исследуемой поверхности пленки при помощи металлографического микроскопа, от.гичаюигийся тем, что, с целью повышения надежности определения пор, окрашивание пленки осуществляют раствором, взаимодействующим с подложкой, например 5 — 20в о-Hым раствором едкого патра.
