Способ изготовления термоэлемента
ОПИСАНИЕ l90448
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 29.VI1,1965 (№ 1020068/26-25) К,л. 21Ь, 27/03 с присоединением заявки №
МПК H Olm
УДК 621.362.1(088.8) Приоритет
Опубликовано 29.XII.1966. Бюллетень № 2
Дата опубликования описания 20.II.1967
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕРМОЭЛЕМЕНТА
Для получения максимального значения эффективности термоэлементов каждой данной температуре должна соответствовать оптимальная концентрация носителей. При некотором приб;шжении это может быть выражено отношением и„,, = f (Ta 2).
Известны два способа создания оптимальной переменной концентрации носителей тока по ьысоте термоэлементов. Первый заключается в каскадировании в один термоэлемент последовательно тонких слоев полупроводника, обладающих при данной рабочей температуре концентрацией носителей, близкой к оптимальной. Второй метод заключается в программном выращивании полупроводниковых кристаллов с переменной концентрацией эле <троактивных примесей.
Кроме больших технологических трудностей, эти способы характеризует такой существенный недостаток, как изменение термоэлектрических свойств во времени в связи с диффузией легирующих примесей при эксплуатации из-за наличия градиента температур и концентраций. Это приводит к спиукению термоэлектрической эффективности.
Предлагаемый способ отличается тем, что количество легирующих примесей и концентрацию носителей подбирают по предельной растворимости легирующих примесей, обеспечивая заданную зависимость концентрации носителей от температуры и Тзг . Этот способ обеспечивает термодинамическую устойчивость концентрации носителей и устраняет технологические трудности, имеющие место
10 при создании каскадных термоэлементов.
Предмет изобретения
Способ изготовления термоэлемента с переменной концентрацией носителей электриче1S ского тока вдоль рабочего градиента температур термоэлементов, от гичаюший ся тем, что, с целью, обеспечения оптимальной переменной концентрации носителей, термодинамической устойчивости и повышения техноло20 гичности процесса, количество легирующих примесей и концентрацию носителей подбирают по предельной растворимости легирующих примесей, обеспечивая заданную зависимость концентрации носителей от температуры
25 гг Т а
