Способ определения шероховатости поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение быстродействия и точности способа определения шероховатости поверхности за счет осуществления бомбардировки контролируемой поверхности потоком ускоренных ионов и последующего измерения коэффициента ионно-электронной эмиссии как с этой поверхности, так и с гладкой поверхности , изготовленной из того же материала . По разнице этих коэффициентов судят о шероховатости поверхности. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)э 601 В 7/34

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ С8ИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4943726/28 (22) 12.04.91 (46) 23.05.93. Бюл, hk 19 (71) Московский авиационный технологический институт им. К.Э,Циолковского (72) А,М.Борисов, Б.Л.Крит, В.П.Лузин, А.Б.Паволоцкий и А.В.Цвелев (56) Цеснек В.С. и др. Металлические зеркала М,: Машиностроение, 1983, с.137.

Авторское свидетельство СССР

ЬЬ 216960, кл. G 01 В 7/34, 1866. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения шероховатости поверхностей, преимущественно, в процессе вакуумных технологий.

Цель изобретения — повышение быстродействия способа определения шероховатости поверхности, а также повышение его точности, Способ определения шероховатости поверхности осуществляется следующим образом.

На эталонных образцах, например в виде пластин, измеряют величины коэффициентов ионно-электронной эмиссии, а также, измеряют аналогичный коэффициентдля таких же гладких пластин, В результате получают градуировочные кривые, по которымв дальнейшем, измеряя коэффициент уе, определяют величину шероховатости контролируемых поверхностей. Данный способ

„„Я2„„1816963 А1 (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения — повышение быстродействия и точности способа определения шероховатости поверхности за счет осуществления бомбардировки контролируемой поверхности потоком ускоренных ионов и последующего измерения коэффициента ионна-электронной эмиссии как с этой поверхности, так и с гладкой поверхности, изготовленной из того же материала. По разнице этих коэффициентов судят о шероховатости поверхности. 1 ил. определения шероховатости поверхности может быть реализован с помощью устройства, изображенного на чертеже. Это устройство содержит вакуумную камеру, в которую помещен металлический кожух, выполняющий функции коллектора 4 вторичных ионов, входную диафрагму 1 и электрод-супрессор 2. Образец 3, шероховатость поверхности которого контролируется, помещен в металлический кожух, электрически изолированный как от образца 3, так и от корпуса вакуумной камеры, внутри которой выполняется обработка и сопутствующее ей определение шероховатости поверхности. Ионный пучок 5 попадает на образец 3 через систему отверстий, образованных входной диафрагмой 1 и отверстиями в электроде-супрессоре 2 и коллекторе 4. Супрессор 2 находится под отрицательным потенциалом относительно вакуумной камеры. Вторичные электроны, 1816963

Составитель

Техред М.Моргентал

Редактор

Корректор С.Шекмар

Заказ 1717 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 испускэемые мишенью при ионной бомбардировке, задерживаются полем супрессора

2 и выйти из коллектора не могут. Микроамперметры 6 и 7 регистрируют значения токов ионов Ii и электронов 4, Коэффициент вторичной ионно-электронной эмиссии определяется как отношение

7е Io/II

Формула изобретения

Способ определения шероховатости поверхности, заключающийся в том, что контролируемую поверхность подвергают физическому воздействию, измеряют контролируемый параметр, сравнивают его c эталонной величиной этого параметра и по результату срввнения судят о шероховатости поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия измерений и повышения точности, физическое воздействие осуществляют облучением поверхности потоком ускоренных ионов. в качестве контролируемого пв10 раметра измеряют коэффициент ионно-электронной эмиссии поверхности, а в качестве эталонной величины — коэффициент ионно-электронной эмиссии для гладкой поверхности, изготовленной из того же

15 материвла.