Прибор для измерения внутренних напряжений в процессе осаждения металла
175 696
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 13. IX.1963 (№ 857606/25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 09.Х.1965. Бюллетень № 20
Кл 42k 45оз
МПК б Oll
Государственный комитет ло делам изобретений и открытий СССР
3 ДК 531.781.2.002.56:621.
357.77(088.8) Дата опубликования описания 21.XII.1965
/1н Го};ы изобретс. .";-
В. Д. Дорошев и Н. А. Марченко
Заявитель
ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВНУТРЕННИХ НАПРЯЖЕНИЙ
В П РОЦЕССЕ ОСАЖДЕН ИЯ МЕТАЛЛА
Предмет изобретения
Под гггсная г1>г1гггга ЛЬ 172
Известны приборы для измерения внутренних напряжений в процессе осаждения металла, содержащие плоский гибкий катод, расположенный в электролите и подвергаемый одностороннему осаждению металла покрытия, и измерения величины изгиба катода, получаемого при указанном осаждении металла покрытия.
Предлагаемый прибор отличается от известных тем, что катод жестко прикреплен нижним концом к основанию прибора и снабжен на верхнем свободном конце, помещенной вне электролита пластинкой. Последняя располо>кена перпендикулярно плоскости ка тода и образует подви>кную обкладку плоского емкостного датчика-измерителя, неподвижная обкладка которого закреплена в верхней части прибора с тем, чтобы прн изгибании гибкого катода расстояние между обкладками не изменялось.
Подвижная обкладка выполнена за одно целое с гибким катодом, для чего на кромках заготовки катода сделаны два симметричных надреза, доходящих до продольной оси симметрии катода и сдвинутых вдоль этой оси один относительно другого так, чтобы можно было образовать подвижную обкладку измерителя поворотом свооодного конца катода на 90 вокруг оси симметрии.
Это повышает чувствительность и точность измерения, а также упрощает конструкцию катода.
На чертеже изображена схема гибкого катода.
Прибор содержит катод, располагаемый в электролите и подвергаемый одностороннему осаждению металла покрытия. Катод представляет собой контрольный образец, выпол пенный в виде тонкой плоской пластинки пря10 моугольной конфигурации. На боковых сторонах этой пластинки в верхней части ее сделаны два симметричных надреза ab и cd, доходящих до продольной оси симметрии и сдвинутых вдоль этой оси один относительно
15 дрх гого.
Верхняя часть пластинки повернута на 90 вокруг продольной оси симметрии, образуя подвижную обкладку плоского емкостного датчика-измерителя. Неподвижная плоская
20 обкладка закреплена в верхней части прибора с тем, чтобы при изгибании катода, вызванным односторонним осаждением металла, расстояние между подвижной обкладкой конденсатора и его неподвижной обкладкой, 25 оставалось постоянным.
1. Прибор для измерения внутренних наЗО пряжений в процессе осаждения металла, со175696
Составитель Г. Ф. Корчагина
Редактор T. В. Данилова Техред Т. Н. Курилко Корректоры: Л. В. Тюниева и Т. Н, Костикова
Заказ 3565/12 Тираж,325 Формат бум. 60;(90 /з Объем 0,13 изд. л. Цена 6 коп.
ЦНИИПИ Государственного комигета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д, 4
Типография, пр. Сапу нова, 2 держащий плоский гибкий катод, располо женный в электролите и подвергаемый одностороннему осаждению металла покрытия, измерения величины изгиба катода, получаемого I.DII указанном осаждении металла покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и точности измерения, а также упрощения конструкции, катод жестко прикреплен нижним концом к основанию прибора и снаб?кен на верхнем свободном конце помещенной вне электролита пластинкой, располо?кенной перпендикулярно плоскости катода и образующей подвижную обкладку плоского емкостного датчика-измерителя, неподвижная обкладка которого закреплена в верхней части прибора с тем, чтобы при изгибании гибкого катода расстояние между пластинками не изменялось, 2. Прибор по п. 1, отличающийся тем, что подвижная обкладка выполнена за одно целое с гибким катодом, для чего на кромках
=-аготовки катода сделаны два симметричных надреза, доходящих до продольной оси симметрии катода и сдвинутых вдоль этой ос.l один относительно другol o c TeM, IT06bl Io?IIно было образовать подвижную обкладку измерителя поворотом свободного конца катода на 90 вокруг оси симметрии.