Патент ссср 174697

Авторы патента:

А. Н. Артемов, В. И. Ермолаев, Р. Г. Назарова, Г. Г. Петухов, Г. А. Разуваев, И. Ф. Соловьев, Н. А. Соловьева, Ю. А.

, И. Н. Тют

H01C17/08 - осаждением паров

Союз Советских

Социалистических

Республик

О П И С А Н И Е 174697

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 12.III.1964 (№ 887640/26-9) Кл. 21с, 55pi с присоединением заявки №

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

МП:К Н 01с

УДК 621.316.849:

:539.216.2.002.2 (088,8) Приоритет

Опубликовано 07.1Х.1965. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 25.Х.1965

Авторы изобретения

А. Н. Артемов, В. И. Ермолаев, P. Г. Назарова, Г. Г. Петухов, Г. А. Разуваев, И. Ф. Соловьев, H. A. Соловьева, Ю. А. Сорокин " " -iil и И. Н. Тютяев T=:,, " i, ã "

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛ ЕНИЯ ПЛ ЕНОЧ HbIX ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

СОПРОТИВЛЕНИЙ

Подписная группа № 91

Известные способы изготовления пленочных электрических сопротивлений, основанные на вакуумном осаждении паров хрома и никеля па изоляционные основания, не дают возможности получать сопротивления с низким температурным коэффициентом. Адгезия пленки к основанию при использовании известных способов получается недостаточной.

В предложенном способе изготовления пленочных электрических сопротивлений улучшение адгезии пленки к основаниям и снижение температурного коэффициента сопротивлений достигнуто смешиванием дибензолхрома

iC-„Н ) Сг с дициклопентадиенилкарбонилникелем (CgH;Ni(CO))g в определенном отношении и нагреванием смеси до температуры ее термического разложения, Для получения нихромовых пленок используют смесь дибензолхрома с дициклопентадиенилкарбонилникеля в отношении 1: (2,5вЂ” вЂ” 2,7), которая при нагревании в вакууме, например до 130 С, переходит в пары. Пары при соприкосновении с нагретыми до 330 С керамическими основаниями разлагаются с выделением металлической пленки. Через 15вЂ”

20 мин процесс металлургии заканчивается.

Изменяя условия металлизации, можно получить сопротивление на керамике МЛТ вЂ” 2,1 и

0,5 вт с омической величиной от 100 до 1000 ом.

Получаемые сопротивления имеют низкое значение величины температурного коэффициента. Пределы изменений ТКС на всем диапазоне сопротивлений колеблются от +1,5 до вЂ” 1, 5 10 4 1/град.

Адгезия пленок нихрома к керамике значи10 тельно повышена. При нагрузке нихромовых образцов срез остается ровным, без трещин и склонов. Благодаря этому свойству нихромовых пленок можно производить их нарезку.

15 Предмет изобретения

Способ изготовления пленочных электрических сопротивлений, основанный на вакуумном осаждении паров хрома и никеля на изоляционные основания, отличающийся тем, что, 20 с целью улучшения адгезии пленки к основаниям и снижения температурного коэффициента сопротивлений, смешивают дибензолхром (С Н ) Сг с дициклопентадиенилкарбонилникелем (C5H;Ni (СО) ), в отношении

25 1: (2,5 вЂ” 2,7) и нагревают полученную смесь до температуры ее термического разложения.

Опечатка следует читать напечатано колонка строка

2 12

И СКОЛОВ. и склонов, Составитель Г. Г. Фридолин

Редактор Н. С. Коган Техред А. А. Камышникова Корректор О. Б. Тюрина .Заказ 2873/3 Тираж 1525 Формат бум. 60+90 /з Объем 0,07 изд. л. Цена 5 коп.

Ц1-(ИИПИ Государственного комитета по делам изобретении и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2

Способ изготовления электрических сопротивлений // 115462

Способ получения возгонкой в вакууме высокоомных тонкослойных сопротивлений // 115380

Керамическое основание для тонкопленочного электрического сопротивления // 112795

Способ изготовления электрических сопротивлений // 66851

Устройство для изготовления высокоомных сопротивлений // 44593

Способ изготовления электрических сопротивлений посредством осаждения слоя проводника на поверхности изолятора // 19

Способ контроля удельного поверхностного сопротивления тонких резистивных пленок в процессе осаждения // 2032237

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля осаждения резистивных пленок при изготовлении плат микросхем, микросборок и пленочных резисторов

// 180679

Устройство для нанесения токопроводящихпокрытий // 196160

Способ изготовления тонкослойного непроволочного электрического сопротивления // 218281

// 262226

Устройство для непрерывной л\еталлизации цилиндрических оснований резисторов // 382770

Устройство для нанесения покрытий в вакууме на керамические основания резисторов // 415338

Устройство для осаждения резистивных покрытий из парогазовой фазы на заготовки резисторов // 1018155

Способ изготовления пленочных цилиндрических резисторов // 1109814

Способ формирования углеродных нанообъектов на ситалловых подложках // 2601044

Изобретение относится к синтезу островковых металлических катализаторов и углеродных нанообъектов и может быть использовано в промышленности для производства нанообъектов и наноструктурированных пленок. Способ формирования углеродных нанообъектов на ситалловых подложках включает размещение ситаллового контрольного образца вместе с ситалловыми рабочими подложками в зоне напыления, формирование на упомянутых рабочих подложках и контрольном образце островковой структуры металлического пленочного катализатора с осуществлением контроля электрофизических параметров формируемой островковой структуры металлического катализатора посредством измерения емкости островковой структуры катализатора на контрольном образце, прекращение напыления упомянутого катализатора при достижении пикового значения емкости образованной структуры металлического катализатора на ситалловом контрольном образце, напыление углерода на островковую структуру металлического катализатора, образованную на ситалловых поверхностях контрольного образца и рабочих подложек, контроль сопротивления наноструктуры, состоящей из образующихся углеродных нанообъектов на ситалловом контрольном образце и прекращение напыления углерода при уменьшении сопротивления сформированной структуры из углеродных нанообъектов, синтезированных на поверхности островковой структуры катализатора, до значения, при котором происходит замыкание островковой структуры упомянутого катализатора упомянутыми углеродными нанообъектами. Обеспечивается формирование островкового пленочного катализатора на ситалловых подложках для последующего синтеза углеродных нанообъектов на его поверхности. 6 ил., 2 табл.