Способ получения возгонкой в вакууме высокоомных тонкослойных сопротивлений

№ 115380

Класс 21с, 54в; .ССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Я. H. Лен

СДОСОВ ПОЛУЧЕНИЯ ВОЗГОНКОЙ В ВАКУУМЕ

В 1СОКООМНЫХ ТОНКОСЛОЙ НЫХ СОПРОТИВЛЕНИЙ

Заявлено 10 января 1958 г, за М 589411 в Комитет по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР

Один из известных способов получения высокоомных тонкослойных сопротивлений заключается в нанесении токопроводящего слоя на достаточно развитую шероховатую поверхность, которую обычно получают путем травления поверхности керамического основания.

Известно также образование шероховатой поверхности пленки и последующего ее прокаливания, обеспечивающего получение окисленного металлического слоя с высокоразвитой поверхностью.

Особенность предлагаемого способа получения высокоомных тонкослойных сопротивлений заключается в совмещении операций образования указанного окисленного металлического слоя и нанесения токопроводящей пленки, что упрощает технологию изготовления и повышает качество изделия.

Для осуществления предлагаемого способа в качестве материала сопротивления используют жаростойкий металл или сплав, допуска1ощий прокаливание при температуре

700 — 800 (например платину или ее сплавы, нихром и ряд других сплавов) с добавкой значительно более легко испаряющегося металла (на пример алюминия, цинка, кадмия).

Совмещенный метод получения развитого рельефа поверхности основания (предварительным испарением легко испаряющегося металла и окислением его конденсированной пленки) и нанесения испарением проводящего высокоомного слоя мохкет быть выполнен двумя формально различными приемами: испарением механической смеси порошков, например алюминия и высокоомного металла или сплава, проводящую пленку которых гкелают получить, или испарением порошка предварительно приготовле| ного сплава алюминия и того к высокоомного металла или сплава, проводящую пленку которого хотят получить.

Как в том, так и в другом сяучаях, общее испарение ведут комбинированным способом. Сначала жа ростойкий металл с добавкой более легко испаряющегося мегч..ла нагревают до температуры, осеспечивающей возгонку только легко испаряющейся добавки, а затем — до № 115380

Предмет изобретения

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Л. П. Ситников

Подп к печ 23VIII-58 r.

Тир. 2050 Цена 25 коп.

Информационно-издательский отдел.

Объем 0,17 п. л. Зак. 2592

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14 более высокой температуры, при которой происходит испарение оставшейся части сплава. Затем, намсенный на основание комбинированный слой прокаливают при те..;псратуре около 100, при котop0v, металл промежуточного слоя (наг,ример алюминий) окисляется, а сопротивление проводящего слоя нов ы ш а ется.

Для комбинированного испарения рассматриваемых смесей пригодны далеко,е все возможные пропорции между алюминием и высокоомныч металлом или сплавом. Избыто шое количество легкоплавкого металла (алюминия, цинка или др.) приводит к столь мощному развитию рельефа поверхности, что на находящемся над ним проводящем слое могут образовываться трещины и разрывы. Электрическое сопротизление приобретает большое отрицательное значение, электрическая прочность пленки уменьшается (под электрической нагрузкой возникают большие необратимые изменения величины сопротивления). Хорош 1е результаты, с надежной воспроизводимостью электрических характеристик слоя, могут быть получены при количестве алюмиия в испаряемом сплаве (или механической смеси) не более 20 % в том случае когда удельный вес остальной части (высокоомного металла или сплава) составляет приблизительно 5 г/слР.

Для всех других возможных вариантов это соотношение должно быть подобрано опытным путем, в зависимости от удельного веса того или иного высокоомного металла или сплава.

Способ получения возгонкой в вакууме тонкостенных сопротиьлений, содержащих промежуточную между токопроводящим слоем и изолирующим основанием окисленную ..:еталлическую пленку с высокоразвитой поверхностью, отличающийся тем, что, с целью упрощения тех: ологии и повышения качества изделий, жаростойкий металл или сплав с добавкой значительно более легко испаряющегося металла (например алюминия, цинка, кадмия) нагревают сперва до температуры, обеспечивающей возгонку только легкоиспаряющийся добавки, а затем — до более высокой температуры, после чего нанесеный на основание комбинированный слой прокаливакзт при повышенной температуре для окис ления металла промежуточной пленки.