Патент ссср 163401

СОЮ3 C03ETCKNX

COg n WЕСК

РеспуБлиК

OIINCA.HÈÅ

И 3 ОБ РЕТЕН И.Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ № 163401

Класс

42k, 12д

МПК б 011

Заявлено 19.V11.1962 (¹ 787943/26-10) ГОСУДАРСТВЕННЫИ

КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

СССР

УДК

Опубликовано !964. Бюллетень № 12.с

1 )

О. В. Малыгин и В. А. Флягин I

ИОНИЗАЦИОННЪ|Й МАНОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВЫСОКОГО

И СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА

11одписная группа Л0 11б

Предмет изобретения

Известные ионизационные манометры для измерения высокого и сверхвысокого вакуума, содержащие катод, анод и коллектор ионов и работающие с использованием свойств взаимно перпендикулярных электрического и магнитного полей, в которых электронный поток движется по гипоциклоиде, не обладают достаточной чувствительностью.

Предлагаемый ионизационпый манометр отличается от известных тем, что ось магнитного поля совмещена с центром коллектора ионов, а катод и коллектор электронов расположены на участке однозначного уменьшения напряженности магнитного поля. Такой подбор расположения электродов и магнита, а также параметров полей позволяет избавиться от мягкого рентгеновского излучения с коллектора электронов манометра.

||а чертеже изображена схема ионизационного манометра.

Манометр состоит из катода 1, фокусируюrueA пластины 2, коллектора ионов 8, коллектора электронов 4 и трех анодов 5.

Холодный катод выполнен в виде эмиссионного покрытия на фокусирующей пластине.

Расположение катода в одной плоскости с коллектором ионов уменьшает фоновый ток последнего.

Иопизационный манометр для измерения высокого и сверхвысокого вакуума, помещенный в магнитное поле, содержащий катод, фокусирующую пластину, коллектор ионов, коллектор электронов и аноды, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения чувствительности, ось магнитного поля совмещена с центром коллектора ионов, а катод и коллектор электронов расположены на участке однозначного уменьшения напряженности магнитного поля.