Ахроматическое просветляющее покрытие

 

Изобретение относится к интерференционным покрытиям для оптических деталей, применяемых в оптическом приборостроении и лазерной технике, и позволяет снизить коэффициент отражения и повысить его равномерность по спектру для оптических элементов из материалов с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,44 до 2,2 показателем преломления. Покрытие состоит из трех слоев, оптические толщины которых, считая от подложки, составляют соответственно (0,56 ± 0,04) λ<SB POS="POST">0</SB>/4, (0,68 ± 0,02) λ<SB POS="POST">0</SB>/4, (0,88 ± 0,02) λ<SB POS="POST">0</SB>/4, а показатели преломления N<SB POS="POST">1</SB> = 2,09 ± 0,03, N<SB POS="POST">2</SB> = 1,86 ± 0,02, N<SB POS="POST">3</SB> = 1,37 ± 0,02.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (ц 4 С 02 В 5/28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (2) ) 4304442/24-10 (22) 10.09.87 (46) 23.09.89. Бюл. Р 35 (71) Институт полупроводников АН УССР (72) М.П. Лисица, С.В. Орлов, Ю.А. Первак и И,В. Фекешгази (53) 535.345.67(088.8) (56) Риттер Э. Пленочные диэлектрические материалы для оптических измерений. — В кн,: Физика тонких пленок. — M.: Мир, 1978, т.8, с. 7-60.

Минков И,M. Веремей В,В. К расчету тонкослойных покрытий с заданными оптическими свойствами. — Оптика и спектроскопия, 1974, т, 37, вып.5, с. 998-1000, (54) АХРОМАТИЧЕСКОЕ ПРОСВЕТЛЯЮЦ)ЕЕ

ПОКРЫТИЕ

Изобретение относится к интерференционным покрытиям, применяемым в оптическом приборостроении и лазерной технике, Целью изобретения является снижение коэффициента отражения и повьппение его равномерности по спектру для оптических элементов .иэ материалов с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,44.до 2,2 показателем преломления.

На чертеже приведены спектральные зависимости коэффициента отражения оптических элементов из парателлурита (ТеО ) и ниобата лития (LiNbO>) с предлагаемым трехслойным просветляющим покрытием.

ÄÄSUÄÄ 1509791 А1

2 (57) Изобретение относится к интерференционным покрытиям для оптических деталей, применяемых в оптическом приборостроении и лазерной технике, и позволяет снизить коэффициент отражения и повысить его равномерность по спектру для оптических элементов из материалов с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения 2,44 до 2,2 показателем преломления, Покрытие состоит из трех слоев, оптические толщины которых, считая от подложки, составляют соответственно (0,56+0,04) =, (0,68+0,02) (0,88+0,02) —, а показатели прелом 1.

4 ления п, =2,09+0,03, n =),86+0,02, пз=),37+0,02 ° 1 ил.

9 ий

С

Терхслойное просветляющее интерференционное покрытие изготавливают р путем вакуумного осаждения на оптические элементы из кристаллов парател" лурита (Тео ) или ниобата лития С© (NiNb03 ) слоев испаряемых электронно-лучевым способом веществ иэ двуокиси циркония в качестве пленкообразующего вещества с наибольшим значением показателя преломления и окиси иттрия — в качестве пленкообразующего вещества со средним показателем преломления и и фтористого магния — в качестве пленкообразующего вещества с низким показателем преломления п . При этом используют фотометрический контроль оптической тол15097

Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я

2.8

2,2

Составитель Н. Киреева

Редактор С, Пекарь Техред М,Дицык Корректор С. Шекмар

Заказ 5805/41 Тираж 513 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раущская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101

3 щины напыляемых пленок, Измеренные на спектрофотометре СФ-20 спектральные зависимости коэффициента отражения оптических элементов из парател5 лурита и ниобата лития с нанесенным трехслойным просветляющим интерференционным покрытием, образованным слоями из окиси циркония, окиси иттрия и фтористого магния, определяют значения среднего коэффициента отражения

Rcp=0,32%, минимального RÄ«0,14X H максимального R „„, =0,5X коэффициентов отражения в спектральной области от 420 до 760 нм с Л, =590 нм, т.е. в области значений Л /Л =0,78-1,40, Ахроматическое просветляющее покрытие, нанесенное на оптический эле- 20 мент, состоящее ив трех слоев, послед91 4 ний из которых, считая от оптического элемента, выполнен из материала с наименьним показателем преломления, отличающееся тем, что, с целью снижения коэффициента отражения и повынения его равномерности по спектру для оптических элементов иэ материалов с изменяющимся по закону нормальной дисперсии от значения

2,44 до 2,2 показателем преломления, оптические толщины слоев, считая от подложки, составляют соответственно (0,56+0,04) вЂ, (0,68+0,02);д-, (0,88+0,02) —, а показатели преломления п,=2,09+0,03, и =1,86+0,02, п =1,37+0,02 где jl — длина волны середины спектральной области про- светления.