Материал высокопреломляющего слоя интерференционного покрытия
Применение нитрида меди в качестве материала высокопреломляющего слоя интерференционного покрытия для области спектра 0,6-10 мкм.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„12707 4 (51) 4 G 02 В 5/28
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ASTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) .3718903/24-10 (22) 04.04.84 (46) 15.11.86. Бюл. В 42 (72) В.П. Морозов (53) 535.345.67 (088.8) (56) Самсонов Г.В. Нитриды. Киев: Наукова думка, 1969, с. 88.
Авторское свидетельство СССР
9 972455, кл. С 02 В 5/28, 02.10.80. (54) МАТЕРИАЛ ВЫСОКОПРЕЛОМЛЯ10ЩЕГО
СЛОЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО ПОКРЫТИЯ (57) Применение нитрида меди в качестве материала высокопреломляющего слоя интерференционного покрытия для области спектра 0,6-10 мкм.
270734
% с
Цф
f,б Яд g4
08 g
Составитель П. Яковлев
Техред И.Попович
Редактор М. Бандура
Корректор А. Обручар
Заказ 624!/49
Тираж 501
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раунская наб., д.. 4/5
Подписное
Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4
4 1
Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для создання диэлектрических отражателей, светоделителей и фильтров
Целью изобретения является расширение спектральной области работы интерференционных приборов (0,6
10 мкм).
На чертеже показаны спектральные зависимости коэффициентов пропускания Т и отражения к покрытий, состоящих из одного (11, трех (2) и семи (3) слоев с чередующимися высоким и низким показателями преломления четвертьволновой оптической толщины, нанесенных по подложку из плавленного кварца.
Слои с высоким показателем преломления (и = 2,64 на длине волны
=1,2 мкм) выполнены из нитрида меди, а слой с низким показателем преломления — из двуокиси кремния.
10 Слои нитрида меди изготавливаются методом реактивного катодного распыления медной мишени в атмосфере азота или смеси азота с инертным газом.
