Лазерное зеркало

 

Изобретение касается прочносцепляемой, высокоотражательной и коррозионно-усТойчивой структуры слоя лазерного зеркала и может быть использовако в записывающих устройствах плоской записи. Целью изобретения является увеличение срока службы путем предотвращения отображения грубой кристаллической структуры адгезионного металлического слоя Б отражающем металлическом слое. Для этого в четырехслойном покрытии, нанесенном на металлическую подложку 1, промежуточный 3 и защитный 5 слои выполнены из аморфной окиси алюминия толщиной 50-500 нм и 30-300 нм соответственно , a адгезионный слой 2 - из титана или хрома толщиной 10- 200 нм. Аморфный промежуточньш слой-З, действуя как диффузионный барьер, предотвращает образование шероховатости отражающей поверхности. Все слои зеркала получе|{ы последовательным напьшением или испарением в одном вакуумном процессе. 1 ил. СО со IsD Oi ls5 О IvD Ы

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУВЛИН д р 4 & 02 Б 5, 28

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕП=НИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ HBOBPETEHHA И ОТНРЫТИЙ (21) 3432352/24-10 (22) 25.02.82 (31} Р 3107612. 2 (32) 27.0 .81 (33) DE (46) 23,07.87. Бюп. 11 27 (71) Сименс АГ (РЕ) (72) Вириндер Греваль и Вернер

Райндль (DE) (53) 535.345.67(088.8) (56) Разуваев Г.А. и др. Металлоорганические соединения в электронике.

M. Наука, 1972, с. 451-455.

Патент Великобритании

Ф 1507532, кл. G 2 J, опублик.

19.04.78, (54) ЛАЗЕРНОЕ ЗЕРКАЛО (57) Изобретение касается прочносцепляемой, высокоотражательной и коррозионно-устойчивой структуры слоя лазерного зеркала и может быть исполь..,SU.„„ з2 як зовано в записывающих устройствах плоской записи, Целью изобретения являстс увеличение срока службы путем предотвращения отображения грубои кристаллической структуры адгезионного металлического слоя в отражающем металлическом слое. Лля этого в четырехслойном покрытии, нанесенном на металлическую подложку 1, промежуточный 3 и защитный 5 слои выполнены из аморфной окиси алюминия толщиной 50 -500 нм и 30-300 нм соотве-,ственно, а адгезионный слой 2 из титана или хрома толщиной 10200 нм. Аморфный промежуточный слой 3, действуя как диффузионный барьер, предотвращает образование шероховатости отражающей поверхности. Все слои зеркала получеНы последовательным напылением или испарением в одном вакуумном процессе. 1 ил.

132(202 рмула из обретения

Составитель И,Остяшенко

Редактор H.Åãîðîâà Техред В.Kap,àp Корректор И. Король

Заказ 3131/59 Тираж 521 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изооретений и открытий

113035, Москва, Б-35, Ряу>цскяя наб., д. ч/5

Производственно-полиграф11ческос предприятие, г.= жгород, ул,.Проектная, Изобретение касается про-«>о сцеппнемой "3h>co>coOTEIR2 IQ ельнОй и кОРРО зионноустойчивой структуры слоя многослойных лазерных зеркал из алюминиE. вых ?лли лятунных спSIявОН, кoтopь>0 могут быть использованы, например, для зяписывяюц>их устро1- ::.Ств:":.Ноской записи.

Целью изобретения лв.1яеre>I у=; личение срока слу2кб11 путем предст,ращения отображения грубой кристаллической структуры ядгезнонного металлического слоя в отражающем металлическом слое.

На чертеже представлено л".ç=.ерное зеркало, общий вид.

Предлагаемое лазер Ioc зес21:.Я.10 сос--. тоит иэ металлической подложки 1, а„,—

1 е зн011110гО 2, ЯМОрфн0 1 О про? 102»,". Оч-="

: .,го 3, отря яющег0 -; и =,яц г>1>12>:; 5

СЛОСВ .

Лдгеэионный слой выполне>1;::;» итан» и IIИ хр ома, я ме210;у ядгe 3 и» I,ны . 1 и

ОТРажаю>Ц11М СЛОЯМИ B КЯЧЕСтВЕ r>::1>ЬАУЗ-1,;НO барьера предусмотрен пр 2>.1.2:>л цo I ный спой пз аморфной окиси а:1>.11> .1:»:, Все е!. Ои изготовт>яют пу> е>1 11 >0.>>е-. довательного напипения или ис>iярснлн в одном вакуумном процессе.

Благодаря аморфному промежуточно:>у слОю Дейс Гвую>цему кЯк ди>»2> "зионный барьер, предотв 2ащается отоб раже>иле на отракяющем слое с течением =-о,"..-:они структуры адгезионпого слоя (эффект 3 и .1 тяк сии) и 05031> овянн! ц>ер >x(2ватости Отражающей пове12х>>ост1>, ухудла>оц>ей Отражающую способность зеркапа в целом.

Пример. Изготавливают л-:.çåðное полигональное четырехслойное зеркало с восемью отражающими плоскостя— ми и следующим, выполнением слоев: ядгезионный слой из титана толщиной

100 нм; аморфный промежуточный слой из окиси алюминия — 100 нм; отражаю>ций слой 1,алюминий) — 500 нм; защитный слой из окиси алюминия — 100 нм.

Все восемь отражающих поверхностей имеют высокую равномерность тол> 0 >Ц>11 Ы СЛОЕВ.

Изготовленное таким образом зерка>о при хранении его в условиях относитепь 1ой влажности 907 при 40 С, а та:-же при температурном хранении при

120 С не показало признаков коррозии.

Первоначально измеренный после нян =cения слоев коэффициент отражения

:.112сдлягаемог0 э еркала сохранился после такОГO хранения.

Лазерное зеркало, содержащее ме-! a0>п1лческую подложку с нанесенным на

1 0 четырехслойным покрытием, состоящ1>м из последовательно расположен111".. Ядгезпонного металлического, r1p>»»Ieж2 то IИОГО О Гражяющегo метялли ческого и защитного слоев, о т л ич :! ю щ е е с я тем, что, с целью увеличе>н1я срока службы путем предот1>ра>ценил отображения грубой кристал—

s.FI÷åñêoé структуры ядгеэионного мет .:>лического слоя в отражающем металл>>ческом слое, промежуточный и эащит)

1>ь11 слои выполнены из аморфной окиси алюминия толц>>лной 50-500 нм и 30300 нм соответственно, адгезионный слой гыполнен из титана или хрома

40 толщиной 10-200 нм а толщина отражающего металлического слоя составляет 100-1000 нм,.