Патент ссср 158033

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТ (ВЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ

N3ОБ Е НИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ № 1580ЗЗ

Класс 2lg, 37тв

МПК Н 05j

Заявлено 08.Х1.1962 (№ 806766/26-10) ГОСУДАРСТВЕННЫИ

КОМИТЕТ НО ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ, СССР

Опубликовано 18.Х.1963. Бюллетень № 20

УДК

Подписная группа № 97

ГЮЛЕ .

В, Н, Верцнер и Ю. Ф. Щетнев

МАГН ИТОСТАТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ЭЛЕКТРОННОГО

МИКРОСКОПА

Предмет изобретения

Известные магнитостатические системы электронных микроскопов, содержащие объектив, промежуточную линзу и проектив, сложно сконструированы. В предложенной магнитостатической системе электронного микроскопа для упрощения конструкции в непосредственной близости от промежуточной линзы установлена катушка подмагничивания. напряжение в обмотке которой воздействует на параметры промежуточной линзы.

На чертеже показана принципиальная схема предложенной системы.

Объектив 1 и проектив 2 возбуждаются цилиндрическими магнитами 8 и 4 разной величины, а промежуточная линза 5 — разностным магнитным потоком этих магнитов. В режиме, обеспечивающем реализацию макси:1ального разрешения микроскопа, промежуточная линза возбуждается только разностью маг tHTIIblx потоков, ее фокусное расстояние в небольших пределах изменяют железным шунтом (на чертеже не показан), точность подвижки которого невелика, так как он предназначен только для регулировки увеличения.

При работе микроскопа в режиме микродифракции, когда разрешающая способность не является определяющей, в цепь катушки 6 подмагничивания подают напряжение, а изменяя магнитодвижущую силу этой катушки, обеспечивают необходимую точность фокусирсвки на картину микродифракции в задней фокальной плоскости объектива при получении на экране микродифракционной картины.

В этом случае требования к стабильности тока в катушке подмагничивания значительно снижены.

Предложенная система позволяет работать и в диапазоне небольших увеличений, когда нет необходимости добиваться предельных разрешений.

Для фокусировки изображения перемещают объектив (на чертеже не показан) в вертикальном направлении и изменяют в небольших пределах ускоряющее напряжение.

Магнитостатическая система электронного микроскопа, содержащая объектив, промежуточную линзу и проектив, отл ич а ю щ а я с я тем, что, с целью упрощения конструкции, в непосредственной близости от промежуточной линзы установлена катушка подмагничивания, напряжение в обмотке которой воздействует на параметры промежуточной линзы.

¹ 158033

Составитель В. Ф. Ваитории

Г- сдактор И. Л. Дубровская Техрсд T. П. Курилко

Корректор Т. Д. Хрогицева

Поди. к печ. !1): — б3 г, Формат бум. 60 :,"901!а Объем 0,23 изд. л.

Заказ 2733!13 Тнракк 1275 Цена 4 кон.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2