Электронный микроскоп

Класс 2lg, 37„

М 122822

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

П. А. Стоянов

ЭЛЕКТРОННЪ|Й МИКРОСКОП

Заявлено 5 февраля 1959 г. за М 618654 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Л!инистров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» М 19 за 1959 г, В современных электронных микроскопах, содержащих объективную и проекционную линзы, с целью регулирования диапазона увеличения в значительных пределах, применяют слабую промежуточнуlo линзу, оптические параметры которой существенно отличаются от парамстроз объектива и проекционной линзы. Полевая аберрация промежуточной линзы в несколько раз превышает полевую аберрацию остальных линя, в то же время аберрация увеличения и вращения ее несоизмерима с соответствующими аберрациями объективной и проекционной линз, что исключает взаимную компенсацию полевых аберраций всех трех линз. Наличие хроматической аберрации, создаваемой промежуточной линзой, составляет существенный недостаток электронного микроскопа с регулируемой степенью увеличения.

Этот недостаток устранен в предлагаемом электронном микроскопе применением в чем второй промежуточной линзы, установленной соосно с основной промежуточной линзой на расстояшги от нее, определяемом фокусными расстояниями линз микроскопа.

Схема проекционного блока электронного микроскопа изображена на .ертеже. Микроскоп содержит две промежуточных линзы 1 и 2 и проекционную линзу 8.

Действие такой системы заключается в следующем. Прн увеличении ускоряющего напряжения, соответствующем изменению увеличения микроскопа, фокусные расстояния обеих промежуточных линз изменяются. В результате увеличения преломляющей силы первой промежуто.ной линзы главный луч в ее фокальной плоскости сильнее отклоняется к оси, вследствие чего луч пересекает вторую линзу в точке, расположенной ближе к оси, чем до изменения ускоряющего напряжения. Но в э;ой точке луч отклоняется к оси слабее, чем в точке, в которую луч падал до изменения ускоряющего напряжения. Таким образом, несмотря на то, что преломляющая сила второй линзы возросла, главный луч пересекает предметную плоскость все в той же точке. № 122822

Предмет изобретения

Злектронный микроскоп с объективной, проекционной и промежуточной линзами, отличаю щ и и ся тем, что, с целью устранения хроматической аберрации, он снабжен второй промежуточной линзой, установленной соосно с основной промежуточной линзой на расстоянии

or нее, зависящем от фокусных расстояний линз.

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор В. М. Парнес Гр. 97

Подп. к печ. 23.1Х-59 г.

Тираж 1090 1Лена 25 коп.

Информационно-издательский отдел.

Сбъем 0,17 п. л. Зак. 7805

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.