Способ криоконденсационной откачки

 

Изобретение относится к способам получения вакуума с помощью криоконденсационных средств откачки. Цель изобретения - повышение экономичности. Криопанель 3 охлаждается путем подачи в нее жидкого азота, после чего сопло 2 на криопанель подается откачиваемый газ СО., которьи конденсируется с образованием пористого конденсата, после чего подачу откачивае- .мого газа прекращают и ocyiucc i в.пяют нагрев конденсата путем подачи в насос неконденсируемого газамотана при т-ре конденсации. Метан адсорбируется в порах конденсата по всей его глубипс. .Адсорбция метана сопровождается обьемным тепловыделением , что приводит к на|-реву конденсата и его перекристал. 111зации, в рсзу.-1ьт;пе которой уменьп1ается нористост ; с.чоя п iio- вышается его теп.юпроводпость. 11спо.1ь:«)- вание теплоты адсорбции д. 1я нагрева конденсата исключает отогрев криопаиолп, а вместе с этим и пзлиншие потери .хладагента на ее последующее охлаждение. I n, i. (О

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

А "{

„„SU„„1418485 (51) 4 (04 В 37 08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4169347 25-06 (22) 24.10.86 (46) 23.08.88. Бюл. № 31 (71) Ленинградский технологический институт холодильной промышленности (72) В. И. Иванов и А. Д. Шнырев (53) 621.528.! (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1070333, кл. F 04 В 37/08, 1982. (54) СПОСОБ КРИОКОНД)НСАЦИОННОЙ ОТКАЧКИ (57) Изобретение относится к способам получения вакуума с помощью криоконденсационных средств откачки. Цель изобретения— повышение экономичности. Криопанель 3 охлаждается путем подачи в нее жидкого азота, после чего сопло 2 на криопанель подается откачиваем ый газ СО, которыи конденсируется с образованием пористого конденсата, после чего подачу откячиваемого газа прекращают и осущсствляк{т нагрев конденсата путем подачи {3 насос неконденсируемого газа- метана при т-ре конденсации. Метан адсорбируется в порах конденсата по всей его глуби{{с. Адсорбция метана сопровождается об{ьсм{{ым тепловыделением, что приводит к нагреву h(){{:{({{сВТВ и его перекристаллпзации. н p< {)ë{ ò;ï(. которой умен{иняется {{орист<н T{ с{он и {I(>вышается его те{{. о{{роводность. 11с{{<хльз(>ванне теплоты адсорбции для нагрева {<()I{денсата исключает отогрев криопя{и.{и, я вместе с этим и изли:пние пoT< ð{(#ad, {{lã< {{Tÿ на ее {{ос.{едую{{{ес охлаждение. 1 ил.

418485

Формула изобретения

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам получения вакуума с помощью криоконденсационных средств откачки.

Цель изобретения — повышение экономичностии.

На чертеже представлена схема крионасоса, реализующего предлагаемый способ.

Крионасос содержит корпус с соплом

2, через которое в корпус 1 подается откачиваемый газ, размещенную в корпусе 1

Криопанель 3, и магистраль 4 для подвода неконденсируемого при температуре криопанели газа. В качестве хладагента для крио11анели 3 используется, например, жидкий азот. Откачиваемый газ — двуокись угле-! зода, а неконденсируемый газ — метан.

Способ реализуют следующим образом.

Криопанель 3 охлаждается путем подачи в нее жидкого азота, после чего через сопло 2 на криопанель 3 подается откачиваемый газ СОв, который конденсируется с обра,;зованием пористого конденсата. По мере

:увеличения толщины конденсата ухудшается

: теплоотвод с поверхности теплоты конденсации, поскольку теплопроводность пористого конденсата невелика. В результате температура на поверхности конденсата повышается, что приводит к повышению давления в обьеме насоса. Поэтому после конденсации порции откачиваемого газа его подачу прекращают и осуществляют нагрев конденсата путем подачи в насос неконденсируемого газа — метана, который адсорбируется в парах конденсата по всей его

2 глубине. Причем вследствие больших значений теплоты адсорбции, превышающей теплоту конденсации, адсорбция метана сопровождается объемным тепловыделением, что приводит к нагреву конденсата и.его перекристаллизации, в результате которой уменьшается пористость слоя и повышается его теплопроводность. После завершения процесса перекристаллизации конденсат охлаждается, так как подачу неконденсируемого

10 газа прекращают, а после охлаждения осуществляют подачу в насос новой порции откачиваемого газа.

Использование теплоты адсорбции для нагрева конденсата исключает отогрев криопанели, а вместе с этим и излишние потери хладагента на ее последующее охлаждение, что повышает экономичность предлагаемого способа криооткачки.

Способ криоконденсационной откачки, включающий охлаждение криопанели до температуры конденсации откачиваемого газа, конденсацию порции откачиваемого газа с образованием пористого конденсата, нагрев

25 и охлаждение последнего и последующую конденсацию новой порции откачиваемого газа, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, нагрев конденсата осуществляют путем подачи на криопанель газа, не конденсируемого при температуре

30 конденсации, и адсорбирования его в порах конденсата.

Составитель В. Кряковкин ! с:иктор д. Козориз Техред И. Верес Корректор Л. Патай заказ 4110, 35 Тираж 574 Подписное

ВН111111И Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

11роизпо,гствснно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4