Масс-спектрометрический течеискатель
Изобретение относится к конструкциям масс-спектрометрических течеискателей и позволяет обеспечить , расширение эксплуатационных возможностей путем обеспечения настройки автономной масс-спектрометрической камеры и ее эксплуатации в вакуумных камерах. Масс-спектрометрический течеискатель содержит основную и автономную масс-спектрометрические камеры 1 и 9, вакуумную систему, контрольную течь 7 и блоки 16 и 17 питания камер 1 и 9 и измерения ионного тока, соединенных с переключателями 14 и 15. Настройку автономной масс-спектрометрической камеры 9 осуществляют подбором режимов блока 16 питания и положения магнита 10, которое жестко закрепляется фиксаторами 1 1 . Контроль выбранных режимов проводится по режимам основной массспектрометрической камеры 1. Затем автономную масс-спектрометрическую камеру 9 с вентилем 8 отстыковывают с помощью разъемного соединения и устанавливают в вакуумную камеру 19, в которой проводят контроль герметичности изделий. 1 ил. i (Л 19 Ю
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
<51)4G01М30
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
К АBTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3983722/25-28 (22) 04.12.85 (46) 30.04.87. Бюл. ¹ 16 (72) Б.В.Иванов (53) 620.165.29 (088.8) (56) Паспорт и инструкция по эксплуатации гелиевого течеискателя ПТИ-10.
Л., 1984, с.8 — 12. (54) МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИЙ ТЕЧЕИСКАТЕЛЪ (57) Изобретение относится к конструкциям масс-спектрометрических течеискателей и позволяет обеспечить расширение эксплуатационных воэможностей путем обеспечения настройки автономной масс †спектрометрическ камеры и ее эксплуатации в вакуумных камерах. Масс-спектрометрический течеискатель содержит основную и автономную масс-спектрометрические камеры 1 и 9, вакуумную систему, контрольную течь 7 и блоки 16 и 17 питания камер 1 н 9 и измерения ионного тока, соединенных с переключателями 14 и 15. Настройку автономной масс-спектрометрической камеры 9 осуществляют подбором режимов блока 16 питания и положения магнита 10, которое жестко закрепляется фиксаторами 11. Контроль выбранных режимов проводится по режимам основной массспектрометрической камеры 1. Затем автономную масс-спектрометрическую камеру 9 с вентилем 8 отстыковывают с помощью разъемного соединения и устанавливают в вакуумную камеру 19, в которой проводят контроль герметичности изделий. 1 ил.
С:
ВНИИПИ Заказ 1621/39 Тираж 777 Подписное
Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
1 13072
Изобретение относится к испытательной технике, а именно к конструкциям масс-спектрометрических течеискателей.
Целью изобретения является расши5 рение эксплуатационных возможностей путем обеспечения настройки автономной масс-спектрометрической камеры и ее эксплуатации в вакуумных камерах. 10
На чертеже изображена схема данного течеискателя.
Масс-спектрометрический течеискатель содержит основную масс-спектрометрическую камеру 1 с подвижным маг- 15 нитом 2, вакуумную систему, включающую последовательно соединенные через вентиль 3 с масс-спектрометрической камерой 1 азотную ловушку 4, соединенную через входной вентиль 5 20 с отсекаемой вентилем 6 контрольной течью 7, через вентиль 8 — с автономной масс-спектрометрической камерой
9, установленной между полюсами магнита 10, снабженного фиксаторами ll и с диффузионным насосом 12, выход которого соединен с входом механического насоса 13. Масс-спектрометрические камеры 1 и 9 электрически соединены через переключатели 14 и
15 с блоками 16 питания камеры и блоком 17 измерения ионного тока. В электрических соединениях автономной масс-спектрометрической камеры 9 установлены гермопроходники 18, ими- 35 тирующие гермопроходники вакуумной камеры 19, в которой после настройки проводят испытания с применением автономной масс-спектрометрической камеры 10. 40
Масс-спектрометрический течеискатель работает следующим образом.
Перед проведением настройки к входному вентилю 5 вакуумной системы 45 подстыковывают автономнуюмасс-спектрометрическую камеру 9. Затем включают насосы 12 и 13 и выходят на режим по уровню вакуума. По контрольной течи 7 подбором рехимов блока 16 и 50 положения магнита 2 добиваются максимальной чувствитльности основной
65 2 масс-спектрометрической камеры 1.
Затем переключателями 14 и 15 подключают к блокам 16 и 17 питания камеры и измерения ионного тока масс— спектрометрическую камеру 9 и добиваются ее максимальной чувствительности. При этом режимы блока 16 питания камер 1 и 9 фиксируются, а магнит 10 жестко закреплен на камере 9 в режиме максимальной чувствительности. По окончании настройки перекрывают вентиль 8, отстыковывают масс-спектрометрическую камеру 9 вместе с вентилем 8 и устанавливают последнюю в вакуумную камеру 19 с использованием гермопроходника 18.
При контроле герметичности изделий режимы автономной масс-спектрометрической камеры 9 контролируются по режимам основной масс-спектрометрической камеры I.
При этом используя одну и ту же аппаратурную базу, возможно обеспечить максимальную статическую чувствительность основной и автономной масс-спектрометрических камер 1 и 9 и повысить чувствительность системы испытаний с применением автономной масс-спектрометрической камеры 9.
Формула и з о б р е т е н и я
Масс-спектрометрический течеискатель, содержащий масс-спектрометрическую камеру с магнитом, соединенную с ней вакуумную систему, контрольную течь и блоки питания камеры и измерения ионного тока, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей путем обеспечения настройки автономной масс-спектрометрической камеры и ее эксплуатации в вакуумных камерах, он снабжен автономной массспектрометрической камерой с магнитом, связанной с вакуумной системой с помощью разъемного соединения, и двумя переключателями, один из которых связывает масс-спектрометрические камеры с блоком измерения ионного тока, а другой — с блоком питания камеры.
