Вакуумная система течеискателя

Авторы патента:

G01M3/02 - с помощью жидких и газообразных веществ или вакуума

Изобретение относится к конструкциям масс-спектрометрических течеискателей и позволяет обеспечить стабилизацию вакуума в системе путем создания вокруг корпуса диффузионного насоса равномерного температурного поля. Вакуумная система содержит последовательно соединенные массспектрометрическую камеру 1, азотную ловушку 4, дросселирующий вентиль 8, диффузионный насос 9 и механический насос 17. Неохлаждаемая нагреваемая часть диффузионного насоса 9 и механический насос размещены в вакуумной камере 11. Диффузионный насос 9 снабжен герметичным кожухом 12. Выходной патрубок диффузионного насоса 9 и входной патрубок механического насоса 17 сообщены с вакуумной камерой 11. 1 ил. СЛ L -. П I J IU rx:i CO о 1 to O5 4

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (S1) 4 G 01 М 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPGHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ЬР

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3983721/25-28 (22) 04.12,85 (46) 30. 04. 87. Бюл. 9 16 (72) Б. В. Иванов (53) 620. 165. 29 (088. 8) (56) Паспорт и инструкция по эксплуатации гелиевого течеискателя ПТИ-10. Л., 1984, с.8-12.

1 (54) ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА ТЕЧЕИСКАТЕЛЯ (57) Изобретение относится к конструкциям масс-спектрометрических течеискателей и позволяет обеспечить

Ю стабилизацию вакуума в системе путем создания вокруг корпуса диффузионного насоса равномерного температурного поля. Вакуумная система содержит последовательно соединенные массспектрометрическую камеру 1, азотную ловушку 4, дросселирующий вентиль 8, диффузионный насос 9 и механический насос 17. Неохлаждаемая нагреваемая часть диффузионного насоса 9 и механический насос размещены в вакуумной камере 11. Диффузионный насос 9 снабжен герметичным кожухом 12. Выходной патрубок диффузионного насоса 9 и входной патрубок механического насоса 17 сообщены с вакуумной камерой

11. 1 ил.

1 1307264

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к конструкции масс-спектрометрических течеискателей.

Целью изобретения является стабилизация вакуума системы путем создания равномерного температурного поля вокруг корпуса диффузионного насоса.

На чертеже представлена схема данной системы.

Вакуумная система течеискателя содержит масс-спектрометрическую камеру 1, размещенную между .полюсами магнита 2 и соединенную через вентиль 3 с азотной ловушкой 4, которая через вентиль 5 соединяется с. испытательной камерой. Через вентиль 6 к ловушке 4 присоединена контрольная течь 7 и через дросселирующий вентиль 8 вЂ” диффузионный насос 9, установленный на верхней крышке 10 вакуумной камеры 11. Боковая поверхность насоса 9 охвачена герметичным кожухом 12, соединенным с системой охлаждения, выполненной в виде вентилятора 13. Электронагреватель 14 нижней части насоса 9 запитывается через герморазъем 15. На нижней крышке 16 вакуумной камеры 11 установлен механический насос 17 с электродвигателем 18, вход которого соединен с вентилем 19, а выход вЂ” с вентилем

20. На крышке 16 размещен датчик 21 вакуума для автоматического отключения электродвигателя 18.

Вакуумная система работает следующим образом.

После открытия вентиля 20, включения двигателя 18, насоса 17 и открытия вентиля 19 в вакуумной камере

11 и сообщенной с ней диффузионном насосе 9 создается разрежение порядка 10 2 мм рт.ст., регистрируемое датчиком 21 вакуума. Затем включается вентилятор 13 и нагреватель 14 диффузионного насоса 9. Открывают вентили 3 и 8 и откачивают всю вакуумную систему течеискателя до за-, данного давления. При этом механический насос 17 работает в режиме периодического включения от соединенного с датчиком 21 вакуума реле блокировки по уровню вакуума в вакуумной камере 11. После выхода на режим диффузионного насоса 9 и залива жидкого азота в ловушку 4 течеискатель может быть использован для контроля герметичности изделий.

Размещение неохлаждаемой нагреваемой части диффузионного насоса 9 в

10 вакуумной камере 11 позволяет исключить воздействие нерегулируемых температурных изменений внешней среды и стабилизировать гидродинамические характеристики насоса 9, так как при изменении температуры воздуха можно менять расход охлаждающего воздуха через кожух 12, а дно насоса 9 изолировано от внешней среды. Одновременно камера 11 сообщает выход диффузионного насоса 9 с входом механического насоса 17, и последний может. работать н режиме периодического включения.

При соотношении объема вакуумной камеры ll и откачной системы, равном

10, энергозатраты сокращаются в 2 раза, кроме того, снижается уровень шума.

Формула из обретения

Вакуумная система течеискателя, содержащая масс-спектрометрическую

35 камеру, последовательно соединенные с ней азотную ловушку, дросселирующий вентиль, диффузионный и механический насосы, систему охлаждения диффузионного насоса, о т л и ч а ю о щ а я с я тем, что, с целью стабилизации вакуума, она снабжена герметичным кожухом, охватывающим боковую поверхность диффузионного насоса и соединенным с системой воздушного 5 охлаждения, вакуумной камерой, в которой размещены неохлаждаемая нагреI ваемая часть диффузионного насоса и механический насос, выходной патрубок диффузионного насоса и входной патрубок механического насоса сооб,шены с полостью вакуумной камеры.

ВНИИПИ Заказ 1621/39 Тираж 777 Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к области геофизических исследований скважин

Устройство для испытания изделий на герметичность // 1303870

Изобретение относится к устройствам для испытания на герметичность свечей зажигания

Способ испытания на герметичность крупногабаритных емкостей // 1298564

Изобретение относится к области контроля герметичности

Устройство для вытеснения контрольного газа из полых емкостей // 1298563

Изобретение относится к устройствам для испытаний на герметичность полых емкостей и позволяет расширить эксплуатационные возможности путем обеспечения вытеснения газа из крупногабаритных емкостей

Способ контроля герметичности замкнутых изделий // 1296881

Изобретение относится к испытательной технике

Бесконтактный щуп течеискателя // 1295246

Изобретение относится к технике испытаний изделий на герметичность и позволяет повысить чувствительность и надежность контроля герметичности, а также упростить конструкцию щупа

Устройство для контроля качества гидроизоляции // 1295245

Изобретение относится к строительству , в частности к устройству для определеш-1я гидроизоляционных свойств защитных гидроизоляций

Способ испытания на герметичность замкнутых изделий // 1295244

Изобретение относится к испытаниям на герметичность изделий и позволяет повысить точность и надежность путем исключения откачки пробного газа из изделия в процессе вакуумирования

Способ испытания полых емкостей на прочность и герметичность // 1295243

Изобретение относится к испытательной технике, может быть использовано при пневмоиспытаниях емкостей преимущественно большого объема на прочность и герметичность и позволяет повысить безопасность при проведении испытаний путем предотвращения возможности неконтролируемого повышения давления в испытуемой емкости

Способ определения негерметичности и устройство для его осуществления // 1295242

Изобретение относится к способу определения негерметичности изделий, работающих в вакууме, и позволяет повысить точность при испытаниях изделий с большим газовьщелением водорода и паров воды, снизить расход хладагента и повысить удобство эксплуатации устройства

Способ контроля герметичности изделий // 2100790

Изобретение относится к области испытаний изделий на герметичность, а именно к способам испытания на герметичность соединений трубопроводов, работающих с протоком высокотемпературного газа

Способ контроля герметичности газонаполненного и запаянного изделия // 2105278

Изобретение относится к области контроля герметичности изделий и может быть использовано для контроля и оценки герметичности газонаполненного и запаянного (ампулизированного) изделия

Способ проверки герметичности теплоизоляционной криополости и устройство для его осуществления // 2117270

Изобретение относится к криовакуумной технике, в частности к способам испытаний вакуумных систем на герметичность

Способ контроля герметичности емкостей и устройство для его осуществления // 2123674

Способ определения величины утечки газа // 2133950

Способ определения величины утечки газа // 2134411

Автоматизированный стенд для испытания изделий на герметичность // 2141634

Изобретение относится к контрольно-испытательной технике и может быть использовано для автоматического контроля герметичности изделий сжатым воздухом в серийном и массовом производстве, например запорных кранов газовой плиты

Устройство для испытаний на герметичность и комплексной подготовки полых изделий // 2149371

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к испытательной технике

Способ масс-спектрометрического контроля герметичности моноблочных газовых лазеров // 2153657

Изобретение относится к области контроля герметичности изделий, в частности к контролю герметичности при изготовлении малогабаритных моноблочных газовых лазеров, использующих для соединения элементов конструкции способ оптического контакта

Установка для исследований защитных свойств комплекса средств индивидуальной защиты // 2153658

Изобретение относится к средствам испытания устройств на герметичность с помощью жидких или газообразных веществ или вакуума