Способ изготовления высоковольтного диода

 

Изобретение относится к области производства полупроводниковых высоковольтных диодов. Целью изобретения является упрощение операции определения полярности столбиков. В способе изготовления высоковольтного диода при сборке под пайку к одной стороне пакета присоединяют дополнительную пластину из пористого смачиваемого припоем ферромагнитного-материала, преимущественно из никеля, с пористостью не менее 30%. Благодаря высокой смачиваемости пористый материал может быть пропитан припоем с большим содержанием свинца, стойким к смеси кислот. Это позволяет вести травление диодных столбиков без вытравливания его ферромагнитного элемента . Пористый ферромагнитный материал , пропитанный свинцовосодержащим припоем, можно разрезать алмазными дисками, не разрушая структуру столбиков, 1 з.п. ф-лы, 3 ил. с S (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (Я) 4 В 23 К 1 12 а ъ, Г 1

1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3934374/25-27 (22) 22.07.85 (46) 15.03.87. Бюл. № 10 (75) И.Р.Альтман, В.В.Баронин, В.Е.Левин, О.М.Рифтин и P.À.Öåðôàñ (53) 621.791.3(088.8) (56) Патент США № 3543393, кл. 29-583, 01.12.70.

Микроэлектроника. — М.: Советское радио, 1966, с ° 91. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОГО ДИОДА (57) Изобретение относится к области производства полупроводниковых высо-. ковольтных диодов. Целью изобретения является упрощение операции определения полярности столбиков. В способе

„.80„„129 35 А I изготовления высоковольтного диода при сборке под пайку к одной стороне пакета присоединяют дополнительную пластину иэ пористого смачиваемого припоем ферромагнитного-материала, преимущественно из никеля, с пористостью не менее ЗОЛ. Благодаря высокой смачиваемости пористый материал может быть пропитан припоем с боль1 шнм содержанием свинца, стойким к смеси кислот. Это позволяет вести травление диодных столбиков без вытравливания его ферромагнитного элемента. Пористый ферромагнитный материал, пропитанный свинцовосодержащим припоем, можно разрезать алмазными дисками, не разрушая структуру столбиков ° 1 s.ï. ф-лы, 3 ил. 1296335

Изобретение относится к производству полупроводниковых высоковольтных циодов, применяемых, например, в блоках строчной развертки цветных телевизоров. 5

Цель изобретения — упрощение операции определения полярности столбиков.

На фиг.1 изображен пакет пластин с дополнительной пластиной из лорис- 10 того никеля, разрез; на фиг.2 — зависимость процента лома столбиков при резке пакета алмазными дисками от процента пористости никеля; на фиг.3— схема расположения кассет и магнита 15 при рассортировке столбиков по полярности, Способ изготовления высоковольтного диода заключается в следующем.

Пластины 1 с р-и-переходом собирают в пакет с размещением между ними припоя 2. К одной стороне пакета присоединяют дополнительную пластину

3 из пористого ферромагнитного материала, например из никеля, с пористостью не менее 30 . Всю сборку паяли в ванне с расплавленным припоем.

Спаяный пакет разрезали по линиям

А реза алмазным диском на столбики с последующим травлением и промывкой. 30

Ферромагнитный материал должен хорошо смачиваться оловянно-свинцовыми припоями. Благодаря высокой смачиваемости пористый материал может быть пропитан припоем с большим содержа- 35 нием свинца, стойким к смеси кислот, что позволяет вести травление стол-! биков без вытравливания его ферромагнитного элемента.

I 4Q

Пористый ферромагнитный материал, пропитанный свинцовосодержащим припоем, можно разрезать алмазными дисками, не разрушая структуры столбиков, и травить столбики в смеси кислот, 45 не вытравливая ферромагнитного элемента.

Благодаря протяженности столбика, содержащего ферромагнитный элемент на одном своем конце, в магнитном поле создается момент сил, ориентирующий столбик и притягивающий его к магниту.

Способ упрощает определение поляр-55 ности столбика, поскольку кристаллы ориентированы между собой, а ферромагнитный элемент может быть расположен у одного из его полюсов.

П р н м е р. Способ опробован па участке изготовления высоковольтного диода типа КЦ 117. В качестве ферро- магнитного элемента применена лента из пористого никеля толщиной 50 мкм.

Из этой ленты вырезали диски с диаметром, равным диаметру кремниевых пластин, используемых прн изготовле- нии высоковольтных диодов. К одному из полюсов пакета, состоящего из

10-ти пластин, присоединяли диск из пористого никеля н всю сборку спаивали в ванне с расплавленным припоем

ПОС-5. Спаянный пакет разрезали алмазным диском на столбики, затем травили, промывали, защищали и сушили.

Опробованию подвергали никелевые пластины с широким диапазоном пористости от 10 до 80 .. Выявлено, что ломка столбиков прн резке пакета пластин и при травлении значительно зависит от процента ее пористости (фиг.2).

Из фиг.2 видно, что пористость никелевой пластины должна быть не менее 30 .

В магнитном поле полученные столбики ориентировались и притягивались к магниту 5 одним концом. Проверка полярности на опытных столбиках с помощью электрических измерений подтвердила 100 .-ную точность определения их полярности в магнитном поле.

При определении полярности могут быть использованы 2 кассеты: в одной кассете 6 для размещения столбиков выполняют сквозные вертикальные отверстия с магнитным дном, На первую кассету соосно накладывают вторую 7, также имеющую цилиндрические углубления по длине столбика. Всю систему переворачивают и во вторую кассету ссыпаются столбики с противоположной полярностью.

Предлагаемый способ позволяет определять полярность столбиков на ранней стадии изготовления диодов, например непосредственно после резки пакета пластин на столбики. Это дает воэможность комбинировать длину полупроводниковой структуры путем спаивания в кассетах двух н более коротких столбиков между собой перед травлением нарушенного слоя. Последнее упрощает технологию получения высоковольтных полупроводниковых структур и уменьшает габариты прибора.

1296335 фиг. 7

00 гп

Формула изобретения

I. Способ изготовления высоковольтного диода, включающий спаивание ориентированных пластин с р-п-перехо- 5 дом в пакет, резку пакета на столбики, травление столбиков и определение полярности столбиков перед соединением их между собой и к выводам, отличающийся тем, что, с целью упрощения операции определения полярности столбиков, перед спаиванием в пакет к одной стороне пакета присоединяют дополнительную пластину из пористого смачиваемого припоем ферромагнитного материала с пористостью не менее 307..

2. Способ по п. I о т л и ч а юшийся тем, что в качестве ферромагнитного материала берут никель.

1296335

7 юга

Составитель Л.Абросимсва

Техред А. Кравчук Корр ек тор О. Лугов ая

Редактор Е.Копча

Заказ 703/16 Тираж 976 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Уакгород, ул. Проектная, 4