Способ криогенной вакуумной откачки газов

 

СПОСОБ КРИОГЕННОЙ ВАКУУМНОЙ ОТКАЧКИ ГАЗОВ путем конденсации откачиваемого газа на поверхности, охлаждаемой хладагентом, с образованием конденсата, отлич.ающ и и с я тем, что, с целью снижения энергозатрат, в процессе конденсации поддерживают цостоянной температуру наружной поверхности конден- , сата путем непрерывного понижения температуры хладагента в соответствии с уравнением Т« - т - . Т Т л .д t,, где Тх; - температура хладагента; Т - температура наружной поверхности конденсата-, N - удельный поток откачиваемого ra3aj Q . - удельный тепловой поток на охлаждаемой поверхности; N - число Авогадро; М - мол.масса откачиваемого газа;р - плотность конденсата; (Л С X - теплопроводность конденсата; t. - время непрерывной откачки.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1130037 (54)4 F 04 В 37/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ к втоеском свидетвльству

N ° О ° М

Тх Т вЂ” — - — — t °, М,рл где Тк;

Q;

Но

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 3546699/25-06 (22) 02.02.83 (46) 30.01.89. Бюл. У 4 (72) Г.Л. Саксаганский и Д.В. Сереб-.. ренников (53) 621.528(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 694656, кл. Р 04 В 37/08, 1979 .

Авторское свидетельство СССР

В 972159, кл. F 04 В 37/08, 1981. (54)(57) СПОСОБ КРИОГЕННОЙ ВАКУУМНОЙ

ОТКАЧКИ ГАЗОВ. путем конденсации откачиваемого газа на поверхности, охлаждаемой хладагентом, с образованием конденсата, о т л и ч .а ю— шийся тем, что, с целью снижения энергозатрат, в процессе конденсации поддерживают постоянной темпе- . ратуру наружной поверхности конденсата путем непрерывного понижения

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен способ криогенной вакуумной откачки путем поглощения газов на охлаждаемой поверхности.

Существенным недостатком извест- . ного способа криогенной откачки является необходимость периодического отепления крионасосов для проведения регенерации.

Известен также способ криогенной вакуумной откачки газов путем конденсации откачиваемого газа на поверхности, охлаждаемой хладагентом, с образованием конденсата.

Температуру хладагента предварительно понижают, что ведет к увели- .

L.

У температуры хладагента в соответствии с уравнением температура хладагента; температура наружной поверхности конденсата; удельный поток откачиваемого газа, удельный тепловой поток на охлаждаемой поверхности; число Авогадро; мол.масса откачиваемого газа; плотность конденсата; теплопроводность конденсата, время непрерывной откачки .

2 чению энергозатрат, связанных с необходимостью постоянного поддержания поверхности при минимальной температуре, и к увеличению расхода хладагента.

Целью изобретения является снижение энергозатрат.

Указанная цель достигается тем, что в способе криогенной вакуумной откачки газов путем конденсации откачиваемого газа на поверхности, oxJIàæäàåìîé хладагентом, с образованием конденсата, в процессе конденсации поддерживают постоянной температуру наружной поверхности конденсата путем непрерывного понижения

1130037 вому потоку откачиваемого газа на охлаждаемую поверхность, поддерживая постоянной температуру наружной поверхности слоя конденсата, определяемую в соответствии с уравнением температуры хладагента в соответствии с уравнением

Тх,1

Т где

NOiM

Тх;Т- — - — -t ° ) No f "

N е

20

Техред Л.Сердюкова

Редактор Н.Катаманина

Корректор С.Черни

Заказ 758 Тираж 520 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101

О температура хладагента, температура наружной поверхности конденсата; удельный поток откачиваемого газа; удельный тепловой поток на охлаждаемой поверхности число Авогадро; мол, масса откачиваемого

rasa; плотность конденсата; теплопроводность конденсата, время непрерывной откачки.

Описываемый способ заключается в том, что откачиваемый газ конденсируют на поверхнОСтн Охлаждаемой 25 хладагентом, при этом исходный уровень температуры хладагента выбирают сравнительно высоким, как правило соответствующим атмосферному давлению хладагента (в случае, если в качестве хладагента используют гелий, он составляет 4,2 К, а в процессе откачки по мере роста толщины слоя конденсата и увеличения перепада темцературы на нем понижают температуру хладагента до 1,8 К), пропорционально толщине слоя хладагента и теплогде Tx; — температура хладагента, T . — температура наружной поверхности конденсата, — удельный .поток откачиваемого газа;

Q; — удельный тепловой поток откачиваемого газа, на охлаждаемой поверхности, N - число Авогадро, M — мол. масса откачиваемого газа; у — плотность конденсата, Л вЂ” теплопроводность конденсата, — время непрерывной откачки.

Понижение температуры может осуществляться, например понижением равновесного давления над хладагентом откачкой его ларов, При этом поддерживается постоянной температура наружного слоя конденсата на охлаждаемой поверхности и сохраняется постоянным значение коэффициента прилипания откачиваемого газа на охлаждаемой поверхности, что обеспечивает постоянство давления в откачиваемом объеме при сни,женных энергозатратах (на 30- 35%).