Криогенный насос

 

1. КРИОГЕННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с крышкой и установленные в нем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, расположенного в корпусе на трубках-noftBecax, шевронньй к радиационный экраны последний из которых снабжен охватьюаю щей efo обечайкой с перфорированным кольцом и размещен коаксиально сосуду , отличающийся тем, что, с целью снижения расхода хладагента и повьшения надежности насо/ Ч ТЕНИЯ/ охватьшающим сосуд и раТзшоложенным внутри радиационного экрана, и теплопроводами, закрепленными одним концом на трубках-подвесах, а другим на верхней части дополнительного экранаJ и крьшка снабжена втулкой с кольцевой выешсой, перфорированное кольцо - пазом, а обечайка выпуклыми верхним и нижним зигами, размещенными cooTBeTcijBeHHo в выемке и пазу, причем в каждом зиге с внутренней стороны расположен бандаж 2.Насос по п. 1,отличающий с я тем, что нижние торцы трубок-подвесов размещены в полости сосуда над плоскостью, проходящей через его центр тяжести. 3.Насос попп. 1и2, отличаю щ и и с я тем, что каждая трубка-подвес снабжена подсоединенной к ее нижнему торцу одним концом V-образной трубкой, другой конец которой размещён в верхней части полости сосуда и имеет скос.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„яО„„1о84486

3(59 04 В 37/08

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ,/. Ъ, списочник изоБРктяНИя - -

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3533881/25-06 (22) 06.01.83 (46) 07.04.84. Бюл. Р 13 (72) N.Ï.Ëàðèí (71) Ленинградский ордена Ленина по-. литехнический институт им. И.И.Кали нина (53) 621.527.8(088.8) (56) 1. Вопросы атомной науки и техники, вып. 1(4), Харьков, 1975, с.15

2. Авторское свидетельство СССР по заявке У 3316196/25-06,. кл. Г 04 В 37/08, 1981. (54)(57) 1. КРИОГЕННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с крышкой и установленные в нем откачивающий элемент, вы." полненный в виде сосуда, расположенного в корпусе на трубках-подвесах, .шевронный и радиационный экраны, последний из которых снабжен охватываю. щей ei о обечайкой с перфорированным кольцом и размещен коаксиально сосуду, о т Л и ч а ю шийся тем, что, с целью снижения расхода хладагента и повышения надежности насо1 са, он снабжен дополнители яым франом, охватывающим сосуд и ра оложенным внутри радиационного экрана, и теплопроводами, закрепленными одним концом на трубках-подвесах, а другим на верхней части дополнительного экрана, и крышка снабжена втулкой с кольцевой выемкой, перфорированное кольцо — пазом, а обечайка— выпуклыми верхним и нижним зигами, размещенными соответственно в выемке и пазу, причем в каждом зиге с внутренней стороны расположен бандаж

2. Насос по п. 1, о т л и ч а юшийся тем, что нижние торцы трубок-подвесов размещены в полости сосуда над плоскостью, проходящей через 6 его центр тяжести.

3. Насос по пп. i и 2, о т л и— ч а ю шийся тем, что каждая трубка-подвес снабжена подсоединенной к ее нижнему торцу одним концом V-образной трубкой, другой конец которой размещен в верхней части полости сосуда и имеет скос. QO нец которой размещен в верхней части полости сосуда и имеет скос.

На фиг. t изображен насос, продольный разрез; на фиг. 2 — узел I на фиг. 1; на фиг. 3 — узел II на фиг. 1; на фиг. 4 — узел ПГна фиг. 1.

Криогенный насос содержит корпус 1 с крышкой 2 н установленные в нем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 3, расположенного в корпусе на трубках-подвесах 4, шевO ронныи и радиационный экраны 5 и б,последний из которых снабжен охватывающей его обечайкой 7 с перфорированным кольцом 8 и размещен коаксиально сосуду 3.

Насос снабжен дополнительным экра ном 9, охватывающим сосуд 3 и расположенным внутри радиационного экрана 6, и теплопроводами 10, закрепленными одним концом на трубках-подвесах 4, а другим на верхней части дополнительного экрана 9, и крышка 2 снабжена втулкой 11 с кольцевой выемкой 12, перфорированное кольцо 8— пазом 13, а обечайка 7 — выпуклыми верхним и нижним зигами 14, размещенными соответственно в выемке 12 и па зу 13, причем в каждом зиге 14 с внутренней стороны расположен бандаж 15.

Нижние торцы трубок-подвесов 4размещены в полости сосуда 3 над плоскостью, проходящей через его центр тяжести.

Каждая трубка-подвес 4 снабжена подсоединенной к ее нижнему торцу опним концом Ч-образной трубкой 16, другой конец которой- размещен в верхней части полости сосуда 3 и имеет скос.

При работе насоса откачиваемый газ конденсируется на сосуде 3.

При предлагаемой конструкции насоса устранена необходимость прогрева корпуса и сокращено время выхода на предельный вакуум, так как весь объем вакуумного зазора крионасоса между корпусом и радиационным экраном отде лен от объема, непосредственно сообщающегося с откачиваемой камерой.

Наличие теплопроводов позволяет осуществить более эффективный теплосъем с верхних частей трубок-подвесов. Так как трубки-подвесы выполнены более длинными и снабжены Ч-образными трубками теплопритоки по ним к хладагенту значительно снижены.

Наличие на обечайке зигов с размещен- . ными в них бандажами позволяет обеспечить возможность многоразовой и надежной сборки-разборки криогенного насоса.

1 1084486 z

Изобретение относится к вакуумнойтехнике.

Известен криогенный насос, содержащий откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда (13 .

В известном насосе имеет место значительный расход хладагента.

Известен также криогенный насос, содержащий корпус с крышкой и установленные в нем откачивающий элемент выполненный в виде сосуда, расположенного в корпусе на трубках-подвесах, шевронный и радиационный экраны, последний из которых снабжен охватывающей его обечайкой с перфорированным кольцом и размещен коаксиально сосуду (2).

Недостатками известного насоса является неразборность конструкции, наличие подсоединительного фланца только снизу насоса и в связи с этим неоптимальность конструкции для использования его при откачке напылительных установок и других камер, где откачку надо производить снизу.

Кроме того, в известном насосе большой расход хладагента.

Цель изобретения — снижение расхода хладагента и повышение надежности.

Указанная цель достигается тем, 30 что криогенный насос, содержащий корпус с крышкой и установленные в нем откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, расположенного в корпусе на трубках-подвесах, шевронный и радиационный экраны, послед З5 ний из которых снабжен охватывающей

его обечайкой с перфорированным кольцом и размещен коаксиально сосуду, снабжен дополнительным экраном, охватывающим сосуд и расположенным внутри радиационного экрана, и тепло проводами, закрепленными одним концом на трубках-лодвесах, а другим на верхней части дополнительного экрана, и крышка снабжена втулкой с кольцевой выемкой, перфорированное кольцо — пазом, а обечайка — выпуклыми: верхним и нижним зигами,, размещенными соответственно в выемке и пйзу, причем в каждом зиге с внутренней стороны расположен бандаж.

Кроме того, нижние торцы трубокподвесов размещены в полости сосуда над плоскостью, проходящей через его центр тяжести.

Каждая трубка-подвес снабжена подсоединенной к ее нижнему торцу одним концом Ч -образной трубкой, другой ко1 084АЯб

1084486

1084486

Составитель О.Тишина

Редактор Е.Папп Техред Т.Фанта Корректор А.Дэятко

Заказ 1956/28 Тираж 624 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент" ° г.ужгород, ул.Проектная, 4