Криогенный вакуумный насос

 

КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС по авт. св. N 643665, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки, в сосуде с тепловым контактом установлена трубка, снабженная заш,итным кожухом, а патрубки и.меют переменный диа.метр. увеличиваюш.ийся от нижних перегородок к верхним.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„Я0„„1071801 (50 F 04 B 37/08

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н А ВТОРСМОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6I) 643665 (21) 3546698/25-06 (22) 02.02.83 (46) 07.02.84. Бюл. № 5 (72) В. И. Иванов, А. Д. Шнырев, Г. Д. Мартынова и Н. Е. Алексеева (71) Ленинградский ордена Трудового Красного Знамени технологический институт холодильной промышленности (53) 621.527.8 (088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР № 964226, кл. F 04 В 37/08, 1981.

2. Авторское свидетельство СССР

¹ 643665, кл. F 04 В 37/08, 1976. (54) (57) КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ

НАСОС по авт. св. ¹ 643665, отличающиися тем, что, с целью повышения быстроты откачки, в сосуде с тепловым контактом установлена трубка, снабженная защитным кожухом, а патрубки имеют переменный диаметр, увеличивающийся от нижних перегородок к верхним.

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

1071801

Составитель О. Тишина

Редактор В. Иванова Техред И. Верес Корректор А. Ференц

Заказ 11566/29 Тираж 628 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и от крытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен криогенный насос, содержащий откачивающий элемент в виде сосуда (1).

Однако откачивающей поверхностью дан. ного насоса является только днище сосуда, 5 что ограничивает быстроту действия насоса.

По основному авт. св. № 643665 известен криогенный вакуумный насос, в корпусе которого размещен внутри охлаждаемого экрана откачивающий элемент, выполнен- 10 ный в виде сосуда, заполненного криоагентом и разделенного по высоте перегородками, при этом перегородки снабжены патрубками, расположенными концентрично оси сосуда, и имеют тепловой контакт со стенками последнего (2). 15

Основной недостаток известного насоса состоит в том, что криоагент в карманах, образованных перегородками выкипает неравномерно, в результате чего отдельные участки поверхности откачивающего элемента могут перегреваться.

Целью изобретения является повышение быстроты откачки.

Указанная цель достигается тем, что в криогенном вакуумном насосе, в корпусе которого размещен внутри охлаждаемого 25 экрана откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, заполненного криоагентом и разделенного по высоте перегородками, при этом перегородки снабжены патрубками, расположенными концентрично оси сосуда, и имеют тепловой контакт со стен- ЗО ками последнего, в сосуде с тепловым контактом установлена трубка, снабженная защитным кожухом, а патрубки имеют переменный диаметр, увеличивающийся от нижних перегородок к верхним.

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Криогенный вакуумный насос, в корпусе

1 которого размещен внутри охлаждаемого

2 экрана 2 откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 3, заполненного криоагентом и разделенного по высоте перегородками 4. Перегородки 4 снабжены патрубками

5, расположенными концентрично оси сосуда 3, и имеют тепловой контакт со стенками последнего.

В сосуде 3 с тепловым контактом установлена трубка 6, снабженная защитным кожухом 7, а патрубки 5 имеют переменный диаметр D, увеличивающийся от нижних перегородок 4 к верхним.

Насос работает следующим образом.

Полость насоса откачивают вспомогательным насосом (не показан) до давления 10 - 10 Па. Затем полость экрана

2 заполняют жидким азотом, а полость откачивающего элемента — жидким гелием.

Откачиваемый газ проходит к сосуду 3 и конденсируется на его днище и боковой поверхности, отдавая свою теплоту.

За счет подводимой к трубке 6 теплоты в ней происходит интенсивная циркуляция криоагента. Образующиеся отдельные мелкие пузырьки пара сливаются в крупные и течение потока приобретает «поршневой» ха-. рактер. При этом каждый паровой «поршень двигает перед собой жидкостную пробку.

Поскольку плотность криогента в трубке

6 меньше, чем в самом сосуде 3 откачивающего элемента, то циркуляция не прекращается и по мере снижения уровня жидкого гелия в сосуде 3. Трубка 6 работает как парлифт. Жидкий гелий парлифтом забрасывается на верхнюю перегородку 4, с которой последовательно переливается на нижерасположенные перегородки 4. Кожух 7 защищает внешнюю поверхность трубки 6 от охлаждения жидким гелием. повышая интенсивность циркуляции криоагента в трубке 6. Таким образом, обеспечивается надежное охлаждение откачивающего элемента по всей его высоте.