Способ получения просветляющего покрытия на основе фторида магния
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ .ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО nOKPkTHH НА ОСНОВЕ ФТОРИДА МАГНИЯ на оптических деталях, вклюiчанвдий очистку оптических деталей в плазме тлеющего разряда постоянного тока, упрочняющую обработку и нанесение покрытия, отличающ и и с я тем, что, с целью ускоре ия процесса и снижения энергозатрат , упрочняющую обработку производят после нанесения покрытия в плазме тлегещего разряда постоянного тока в атмосфере азота, аргона или фреона при давлении 8 - 11 Па и плотности трка 0,4 - 0,5 мА/см в течение 8-12 мин.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (3% (И) 3(3) Н 01 Х 9/20
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ и Я
Ц;-:&ля«;." Ф-.;. с
H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3367315/18-21 (22) 18.12.81 . (46) 07. 02. 84. Бюл. 9 5 (72) В.A. Черняв ский, В.В. Бажинов и Н. И. Воронков (53) 535. 391. 5 (088. 8) (56) 1. Патент GQA Ю 2398382, кл. 427-166, 1946.
2. НоИапй Z., Чап Dam Е.И. Wear
Resistance of Мадпев1пв FCuori
de Films on дааев — JOSA, 1957, У 10, р. 773-778 (прототип). (54)(57) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ .ПРОСВЕТЛЯЮЦЕГО ПОКРЫТИЯ HA ОСНОВЕ ОТОРИДА
1 АГНИЯ на оптических деталях, вклю, чакщий очистку оптических деталей .в плазме тлеющего разряда постоянного тока, упрочнякщую обработку и нанесение покрытия, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью ускорения процесса и снижения энергозатрат, упрочнякв(ую обработку производят после нанесения покрытия в плазме тлекицего разряда постоянного тока в атмосфере азота, аргона или фреона при давлении 8 - ll Па и плотности тока 0,4 - 0,5 мА/см в2 течение 8-12 мин.
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН
1072141
Составитель В.Псаломщиков
Редактор С.Квятковская Техред Л.Коцюбняк Корректор. B,Áóòÿãà
Подписное
Заказ 136/46 Тираж 683.
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент, г.Ужгород, ул.Проектная, 4
Изобретение относится к оптичесI кому приборостроению, в частности к способам вакуумного нанесения просветлякщих покрытий на основе фторида магния на оптические детали.
Известен способ получения просветляющих покрытий на основе фторида магния,, включающий очистку, нанесение нокрытий и упрочняющую термообработку при 280-300 С 1 .
Указанный способ получения покрытий требует значительных энергозатрат и времени на нагрев и охлаждение деталей с покрытиями, а также дополнительного оборудования.
Наиболее близким к предлагаемому 15 по технической сущности является способ нанесения просветляющего покрытия на основе фторида магния, включающий очистку оптических деталей в плазме тлеющего разряда посто- 2{) янного тока, упрочнякщую обработку и нанесение покрытия на оптические детали Г21.
Недостатком известного способа является необходимость в значитель-, 25 ных затратах энергии и времени (бодее 3 ч для деталей массой 1-2 кг).
Цель изобретения — ускорение про- цесса и снижение энергозатрат.
Поставленная цель достигается тем, что согласно способу получения просветляющего покрытия на основе фторида магния на оптических деталях, включающему очистку оптических деталей в плазме тле"щего разряда 35 постоянного тока, упрочняющую обра-, ботку и нанесение покрытия, упроч,някщую обработку производят после нанесения покрытия в плазме тлеющего разряда постоянного тока в атмосфере азота, аргона или фреона при давлении 8-11 Па и плотности ока. 0,4-0,5 мА/см2 в тече- ° ние 8-12 мин.
Упрочнякщая обработка покрытия тлеющим разрядом обеспечивает повышение прочности и благостойкости покрытия вследствие термического разогрева самого покрытия и эффекта бомбардировки поверхности ионами и электронами плазмы. Пример. Проводят получение просветляющего покрытия из фторида магния на оптических деталях массой около 1 кг. Деталь очищают тлеющим разрядом и через 10 мин наносят просветляющее покрытие. После нанесения покрытия в вакуумный объем напускают азот до давления 8-11 Па, на электрод подают постоянное напряжение
1-1,5 кВ и поддерживают ток разряда
280-300 мА. упрочйяющую обработку производят в течение 10 мин и через 5 мин в вакуумный объем напускают воздух. На процесс затрачивают 6 КВт ч электроэнергии при общей длительности процесса получения покрытия 1 ч.
Просветление этих деталей способом-прототипом осуществляется за
3 ч и требует 19 кВт.ч электроэнергии.
Покрытия, полученные предлагаемым способом, выдерживают испытание. на прочность в соответствии с OCT
3-1901-73, 5 циклов термоудара +60 С, 10 ñóò 983 влажности при 40т20 С.
Использование предлагаемого способа обеспечивает сокращение энергозатрат в 3-4 раза и уменьшение времени приготовления покрытия в 2-3 раза. Сокращаются потребности в вакуумном оборудовании и производственных площадях.

