Устройство для формирования нанообъектов на подложке

Полезная модель относится к области приборостроения, а более конкретно к устройствам для формирования нанообъектов на подложке.

В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность формирования на подложке нанообъектов, имеющих геометрические размеры менее длины волны лазерного излучения в пять и более раз.

Поставленная техническая задача, решается тем, что в устройстве для формирования нанообъектов на подложке, содержащем трехкоординатный пьезопривод, установленный на неподвижном основании и связанный с подложкодержателем, на котором закреплена подложка, лазерный излучатель, закрепленный на жесткой платформе, согласно предложенной полезной модели, на наружной цилиндрической поверхности излучателя установлена втулка, внутри которой расположена сотовая сетка, в каждой сотовой ячейке которой закреплена фокусирующая линза, устройство дополнительно снабжено источником подачи жидкости на подложку, подложка герметично связана с периферийным кольцом, наполненным жидкостью таким образом, что жидкость покрывает всю поверхность подложки, при этом толщина покрытия составляет 0,3-0,5 мм.

Кроме того в качестве лазерного излучателя используют ультрафиолетовый лазерный излучатель.

Применение предлагаемого устройства для формирования нанообъектов на подложке позволяет обеспечить возможность формирования нанообъектов имеющих геометрические размеры менее длины волны лазерного излучения в пять и более раз.

Полезная модель относится к области приборостроения, а более конкретно к устройствам для формирования нанообъектов на подложке.

Известно устройство формирования нанообъектов на подложке, содержащее пьезопривод, установленный на неподвижном основании, подложку установленную на неподвижном подложкодержателе, источник лазерного излучения [Патент РФ на ПМ 66629, кл. 7 Н02L 2/00, 10.09.2007 Бюл. 25 (аналог)].

Недостатком аналога является невозможность формирования на подложке нанообъектов, имеющих геометрические размеры менее длины волны лазерного излучения в пять и более раз.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство формирования нанообъектов на подложке содержащее трехкоординатный пьезопривод, установленный на неподвижном основании и связанный с подложкодежателем, на котором закреплена подложка, источник рабочего газа для передачи последнего в технологическую область [Патент РФ на ПМ 68181, кл. 7 Н01J 37/28, 10.11.2007 Бюл. 31].

Недостатком прототипа также является невозможность формирования на подложке нанообъектов, имеющих геометрические размеры менее длины волны лазерного излучения в пять и более раз.

В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность формирования на подложке нанообъектов, имеющих геометрические размеры менее длины волны лазерного излучения в пять и более раз.

Поставленная техническая задача, решается тем, что в устройстве для формирования нанообъектов на подложке, содержащем трехкоординатный пьезопривод, установленный на неподвижном основании и связанный с подложкодержателем, на котором закреплена подложка, лазерный излучатель, закрепленный на жесткой платформе, согласно предложенной полезной модели, на наружной цилиндрической поверхности излучателя установлена втулка, внутри которой расположена сотовая сетка, в каждой сотовой ячейке которой закреплена фокусирующая линза, устройство дополнительно снабжено источником подачи жидкости на подложку, подложка герметично связана с периферийным кольцом, наполненным жидкостью таким образом, что жидкость покрывает всю поверхность подложки, при этом толщина покрытия составляет 0,3-0,5 мм.

Кроме того в качестве лазерного излучателя используют ультрафиолетовый лазерный излучатель.

Введение в устройство для формирования нанообъектов на подложке втулки, лазерного излучателя, сотовой сетки, фокусирующих линз, источника подачи жидкости на подложку обеспечивает возможность формирования на подложке нанообъектов имеющих геометрические размеры менее длины волны лазерного излучения в пять и более раз.

Сущность полезной модели поясняется на (фиг.1) где показано устройство для формирования нанообъектов на подложке.

Устройство для формирования нанообъектов на подложке содержит трехкоординатный пьезопривод 1, установленный на неподвижном основании 2 и связанный с подложкодержателем 3, на котором закреплена подложка 4, лазерный излучатель 5, закрепленный на жесткой платформе 6, на наружной цилиндрической поверхности 7 излучателя 5 установлена втулка 8, внутри которой расположена сотовая сетка 9, а в каждой соте закреплена фокусирующая линза 10, лазерный излучатель 5 выполнен ультрафиолетовым, устройство дополнительно снабжено источником подачи жидкости на подложку 11, подложка герметично связана с периферийным кольцом 12, наполненным жидкостью 13, таким образом, что жидкость покрывает всю поверхность подложки 4, толщина покрытия (0,3-0,5) мм.

Устройство для формирования нанообъектов на подложке (фиг.1) работает следующим образом.

Трехкоординатный пьезопривод 1 установленный на неподвижном основании 2 и связанный с подложкодержателем 3 обеспечивает точное ориентирование подложки 4 перпендикулярно осям фокусирующих линз 10. Далее производится подача рабочей жидкости 13 источником рабочей жидкости 11 таким образом, что рабочая жидкость 13 равномерно распределяется по поверхности подожки 4, образуя слой толщиной 0,3-0,5 мм. Затем производится включение лазерного излучателя 5, расположенного на жесткой платформе 6, излучение которого, попадая на линзы 10, фокусируется необходимым образом и далее проходя через слой рабочей жидкости 13 преломляется им, уменьшая длину волны в пять и более раз, попадает на подложку, формируя на ней нанообъекты.

Применение предлагаемого устройства для формирования нанообъектов на подложке позволяет обеспечить возможность формирования нанообъектов имеющих геометрические размеры менее длины волны лазерного излучения в пять и более раз.

1. Устройство для формирования нанообъектов на подложке, содержащее трехкоординатный пьезопривод, установленный на неподвижном основании и связанный с подложкодержателем, на котором закреплена подложка, лазерный излучатель, закрепленный на жесткой платформе, отличающееся тем, что на наружной цилиндрической поверхности излучателя установлена втулка, внутри которой расположена сотовая сетка, в каждой сотовой ячейке которой закреплена фокусирующая линза, устройство дополнительно снабжено источником подачи жидкости на подложку, подложка герметично связана с периферийным кольцом, наполненным жидкостью таким образом, что жидкость покрывает всю поверхность подложки, при этом толщина покрытия составляет 0,3-0,5 мм.

2. Устройство для формирования нанообъектов на подложке, отличающееся тем, что в качестве лазерного излучателя используют ультрафиолетовый лазерный излучатель.