Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДИТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистическик

Республик

«i)977942 (6l ) Дополнительное к авт. саид-ву (53)M. Кл. (22) ЗаЯвлеио 30.06.81 (21) 3311135/25-28 с присоединением заявки М (23)Приоритет .

Опубликовано 30.11,82. Бюллетень М 44

Дата опубликования описания 30.11.82

O 01 Ь 9/02.

G01 6 11/24

9вударожины6 комитет

СССР ио «евам изобретениЯ и отирьпиЯ (53) Д К531. .715. 1 (088.8) ораена Трудового Красного Знамени высшее текннееское училище им. Н. Э. Баумана (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ

ВЫПУКЛЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

КРУПНОГАБАРИТНЫХ ЛИНЗ

Изобретение относится к измеритель ной технике и может быть нспользованор в частности для контроля формы выпуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз.

Известен интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра, основанное на применении компенсационных методов кон ,троля и содержащее источник света и оп тическую систему, включающую комаенсатор (13..

Недостатком известного интерферометра является то, что определенная конструкция компенсатора применима только для контроля определенного значения ра диуса контролируемой поверхности, à sслучае необходимости контроля расширенного диапазона контролируемых поверхиосе тей требуется расчет и применение других . 20 конструкций компенсаторов.

Наиболее близким.к предлагаемому по технической сущности является интерферометр для контроля формы выпуклых сфе

2 рических поверхностей крупногабаритных . линз, содержащий монохроматический иоточник света, последовательно расположенные по ходу светового потока отклоняющее зеркало, фокусирующий объектив и светодеяительный элемент, делящий световой поток на две ветви, систему для регистрации интерференционной картины, установленную в одной ветви, и компен» сатор, иммерсионную линзу, образованную жидкостью, заполнякицей пространство между контролируемой линзой и компенсатором, и эталонное сферическое зер. ° кало, установленные в другой ветви (.23.

Недостатком укзанного интерферометра является малый диапазон контролируемых линз, обусловленный ограниченным набю. роМ применяемых иммерсионных жидкостей„ что не позволяет скоррегировать остаточныее аберрации для целого ряда крупногаба ритных линз, выпускаемых промышленностью.

Оель изобретения - расширение диапа- зона контролируемых линз.

3 9779

Поставленная цель достигается тем, что интерферометр для конроля формы вы пуклых сферических поверхностей снабжен дополнительной иммерсионной линзой, ус.тановленной между светоделительным элементом и компенсатором и образованной жидкостью с показателем преломления, отличным от показателя преломления ооновной иммерсионной линзы.

На чертеже изображена принципиальная щ схема иитерферометра для контроля формы выпуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз.

Интерферометр содержит монохромати ческий источник 1 света, последовательно д5 расположенные по ходу светового потока отклоняющее зеркало 2, фокусируюший . объектив 3 и светоотделительный элемент

4, делящий световой поток на две ветви, систему для регистрации интерференцион- щ ной картины, установленную в одной из ветви и включающую фотопленку 5 и фотографический объектив 6, компенсатор

7, основную иммерсионную линзу 8, обра зованнуюжндкоетью,заполняющей простран р5 ство между контролируемой линзой 9 н ком- пенсатором 7,и эталонное сферическое зер«. кало 10, дополнительную иммерсионную .линзу 11, установленную между светоотделительным элементом 4 и компенсатором за

: 7 и образованную жидкостью с показателем преломления; отличным от показателя преломления основной иммерсионной линзы 8, ° линзу 12 и иммерсионную камеру 13.

Контролируемая линза 9 устанавливается

) 55 в верхней части иммерсионной камеры 13 таким образом, что ее контролируемая поверхность K концентрична эталонной поверхности Э эталонного сферического, зеркала 10. Линза 3.2 установлена в нижней час40 ти имерсионной камеры 13 и в месте с компенсатором 7 образует пространством

L которое заполнено иммерснонной жидкостью„ образующей дополнительную иммерсионную линзу 11.

Предлагаемый интерферометр работает следующим образом.

Лучи света от монохроматического ис точника 1 света попадают на отклоняющее зеркало 2, которое отклоняет их на фокусируюший объектив 3. Фокусируюший объ- 5 ектив 3 фокусирует лучи и направляет их на светоотделительный элемент 4 и далее на линзу 12, дополнительную иммерсионную линзу 11, компенсатор 7, основную иммерсионную линзу 8, далее лучи света падают по нормали на контролируемую поверхность K контролируемой линзы 10, которая частично отражает их, а часть

42 4 лучей падает на эталонную поверхность

Э эталонного сферического зеркала 10.

Исследуемый волновой фронт, созданный лучами, отраженными от поверхности контролируемой линзы 9, интерферирует с эталонным фронтом, образованным л » чами, отраженными поверхностью Э эталонного сферического зеркала 10. По виду интерференционной картины, регистрируемой системой для регистрации интерференционной картины, включающей фотопленку

5 и фотографический обьектив 6, делают .заключение о качестве конролируемой поверхности К линзы 9.

При необходимости контроля качества поверхностей с различными значениями радиуса кривизны из существующего ряда иммерсионных жидкостей выбирают жидкости с показателями преломления, определяемыми расчетным путем с целью компенсации остаточной сферической аберрации, которые образуют основную иммерсионную линзу 8 и дополнительную иммерсионную линзу 11.

Формула изобретения

Интерферометр для контроля формы вы° пуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз, содержащий монохроматический источник света, последовательно расположенные по ходу светового потока отклоняющее зеркало, фокусирующий объектив и светоотделительный элемент, делящий световой поток на две ветви, систему для регистрации интерференционной картины, установленную в одной ветви, и компенсатор, иммерсионную линзу, образованную жидкостью, заполняющей пространство между контролируемой линзой И компенсатором, и эталонное сферическое зеркало, установленные в другой ветви, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых линз, он снабжен дополнительной иммерсионной линзой, установленной между светсотделительным элементом и ком пенсатором и образованной жидкостью с показателем преломления, отличным от показателя преломления основной иммерсиониой линзы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Пуряев Д. Т. Методы контроля оптических сферических поверхностей. M., "Машиностроение%, 1976, с. 122-134.

2. Авторское свидетельство СССР цо заявке М 2789981/28, кл. Я 01,6 11/24;

6 01.8 9/02, 1979 (прототип).

977942

Составитель Л. Лобзова

Редактор Н. Стащишина Техред Л.Пекарь Корректор. Ю, Макаренко

Заказ 9197/54 Тираж 614 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5 филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4