Устройство для контроля оптических поверхностей деталей

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскии

Социалистических

Республик (и>9741 1 7 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву 9664022 (22) Заявлено30. 03. 81 (21 ) 327006 4/25 28

1S< М.К, с присоединением заявки ¹

Ап01 В 11/24

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет тЗЗ) УДК531.715. .27(088.8) Опубликовано 151у2. Бюллетень ¹ 42

Дата опубликования описания 15.11.82

-А.П.Голиков, М.П.Гурари и П.И.Привков

1 (72) Авторы изобретения (7)) Заявитель р4) УстРОЙстВо для контРоля оптических

ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к иэмерителВной технике и может быть использовано для контроля оптических поверхностей деталей.

По основному авт. св. 9 664022 известно устройство для контроля оптических поверхностей деталей, содержащее последовательно расположенные источник света, конденсор, рассеиватель, устанавливаемый перед контролируемой поверхностью на расстоянии, меньшем, чем ее фокусное расстояние, и пространственный модулятор излучения, а также оптическую систему, расположенную между рассеивателем и пространственным модулятором излучения таким образом, что этот модулятор оптически сопряжен с.поверхностью рассеивателя f1).

Недостатком известного устройства является низкая точность контроля, поскольку контраст интерферограмм получаемых в устройстве, невысок.

Цель изобретения — повышение точности контроля.

-Эта цель достигается тем, что устройство снабжено поляроидом, расположенным перед рассеивателем со стороны контролируемой поверхности, диафрагмой, установленной между отп тической системой и пространственным модулятором излучения и имеющей два отверстия, поляроидами, расположенными на входах отверстий диафрагмы, и блоком вращения плоскости поляризации, установленным на выходе одного из отверстий диафрагмы.

На чертеже изображена принципиальная схема устройство для контроля оптических поверхностей деталей.

Устройство содержит источник 1 света, конденсор 2, рассеиватель 3, поляроид 4, проектирующую оптическую систему 5, диафрагму 6 с двумя

15 отверстия, на входе Одного Отверс тия расположен поляроид 7, на выходе его же — блок 8 вращения плоскости поляризации, а во втором отверстии установлен поляроид 9, а также пространственный модулятор 10 излучения.

Расстояние между рассеивателем

3 и контролируемой деталью 11 выбирается как можно меньшим (1-20 мм ).

Плоскость поляроида 4 полностью перекрывает контролируемую поверхность детали 11. Блок 8 вращения плоскости поляризации настраивается так, что плоскость поляризации света поворачивается на 90 при прохождении этого блока.

974117

Устройство работает следующим образом.

Предварительно взаимно ориентируют поляроиды 4, 7 и 9 так, чтобы оси поляризации поляроидов 4 и 7 были ортогональны, а оси поляризации поляроидов 4 и 9 - параллельны.

При такой ориентировке поляроидов через одно из отверстий диафрагмы

6 (a котором установлены поляроид

7 и -блок 8 вращения плоскости поля- 10 ризации ) проходит только свет, отразившийся от рассеивателя 3, а свет, отраженный поверхностью детали 11, rасится. В то же время, через второе отверстие диафрагмы 6 проходит свет, 15 отраженный как рассеивателем 3, так и деталью 11, Затем записывают на пространственном модуляторе 10 излучения голограмму контролируемой детали 11 в ее исходном положении. При записи голограммы опорным пучком является свет, прошедший через поляроид 7 и блок 8 вращения плоскости -поляризации, а предметным пучком — свет, прошеРРя и 25 через поляроид 9.

После записи голограммы перемещают деталь 11 так, чтобы центр кривизны ее поверхности оставался неподвижным.

При этом на пространственном модуля- . 30 торе 10 излучения наблюдают интерферограмму сдвига поверхности детали

11, а по распбложению и форме полос этой интерферограммы оценивают качество контролируемой поверхности детали

11.

Повщаение точности контроля достигается эа счет того, что в отличие от основного авторского свидетельства, в котором на пространственном модуляторе излучения получается спекл- 4О интерферограмма контролируемой поверхности, в описываемом устройстве записывается голографическая интерферограмма по схеме с боковым опорным пучком, что обеспечивается введе- 45 нием диафрагмы б, причем угол между опорным и предметным пучками определяется как расстоянием, между отверстиями диафрагмы б, так и расстоянием оТ этой диафрагмы до пространствен- 5Q ного модулятора 10 излучения. Конт раст полос голографической интерферограммю выше, чем контраст полос спекл-интерферограммы в силу принципиальных особенностей этих способов получения интерферограмм. Введение в схему диафрагмы 6 с двумя отверстиями должно быть с необходимостью дополнено введением поляроидов 4 и 7 и блока 8 вращения плоскости поляризации, так как только они позволяют создать в описываемой схеме опорный пучок для записи голограммы, в котором отсутствует свет, отраженный поверхностью контролируемой детали 11. Это необходимо для работы устройства, так как упомянутый опорный пучок испольэуетси также и для восстановления голограммы, и поэтому не должен изменяться при перемещении детали 11, иначе получение интерферограммы будет невозможн6, Таким образом, совокупность упомянутых отличительных признаков описанного устройство позволяет повысить контраст интерферограмм, что, свою очередь приводит к повышение точности контроля оптических поверхностей деталей.

Формула изобретения

Устройство для контроля оптических поверхностей деталей по авт. св.

Р 664022, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля, оно снабжено поляроидом, расположенным перед рассеивателем со стороны контролируемой поверхности, диафрагмой, установленной между оптической системой и пространственным модулятором излучения и имеющей два отверстия, поляроидами, расположенными на входах отверстий диафрагмы, и блоком вращения плоскости поляризации, установленным на выходе одного из отверстий диафрагмы.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 664022, кл. G01 В 11/24, 1978 (прототип) .

Составитель Л. Лобзова

Редактор М. Парфенова Техред М.Тепер Корректор И.Ватрушкина

Заказ 86P5/54 Тираж 514 Подпи сное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д.4/5

Филиал ППП ".Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4