Предметный стол

О П И С А Н И Е <11,930771

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Х АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советск ни

Социал нет нчвс ни к

Республик (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 14. 11. 80 (21) 3004015/18-21 с присоединением заявки М (23) П риоритет(51)М. Кл.

Н 05 К 3/00

Н 01 1 21/70

510f46)cT36Nbll кьнмтВт

COCt ю йааай кзебратеяик и еткрытяй

Опубликовано 23. 05. 82. Бюллетень М 19

Дата опубликования описания 23. 05. 82 (53) Д 621 . 3. .049.75:774 (088.81 (12) Авторы изобретения

А.Ф. Нейман и А.В. Ярош (71) Заявитель (54) ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛ

Изобретение относится к электронике, в частности к технологическому оборудованию микроэлектроники, например к установкам зондового контроля и разделения на кристаллы полупроводниковых пластин.

Известен предметный стол технологического оборудования, содержащий основание, корпус, подвижную головку и механизм подъема подвижной головки 113.

Недостатками этого устройства являются его малое быстродействие, недостаточная точность и значительные габариты.

I5

Наиболее близким к изобретению является предметный стол, содержащий основание, подвижную стойку, планшайбу и механизм поворота планшайбы и подъема подвижной стойки, содержащее ферромагнитные гребенки и электромагнитные элементы T2).

Недостатками этого преднетного стола являются недостаточная точность вертикальных и угловых перемещений, большие габариты по вертикали, а также малая нагрузочная способность и наличие затухающих колебаний механизма подъема подвижной стойки.

Цель изобретения - повышение точности перемещения и уменьшения габаритов, Цель достигается тем, что в предметном столе, содержащем основание, подвижную стойку, планшайбу и механизмы поворота планшайбы и подьема подвижной стойки, содержащие ферромагнитные гребенки и электромагнитные элементы, механизм подьема подвижной стойки выполнен в виде вертикально расположенной винтовой кинематической пары, одно звено которой жестко закреплено на основании, а на другом закреплен диск, причем ферромагнитная гребенка механизма подьема подвижной стойки расположена на диске винтовой пары, а электромагнитные элементы

930771

3 механизма подъема подвижной стойки расположены на подвижной стойке.

На фиг. 1 показан предметный стол; на фиг. 2 - то же, вид А на фиг.1; на фиг. 3 - узел T на фиг.1.

Предметный стол содержит основание

1, подвижную стойку 2, установленную на направляющих 3 основания 1 и планшайбу 4 с шариковой опорой 5. Механизм поворота планшайбы 4 сдержит !О ферромагнитную гребенку 6, расположенную по окружности планшайбы 4, и два электромагнитных элемента 7, установленных на подвижной стойке 2.

Механизм подъема подвижной стойки 2 содержит расположенную вертикально винтовую пару с винтом 8 и гайкой 9, закреплеНной на основании 1. На винте 8 закреплен диск 10, по окружности которого расположена ферромагнит- 20 ная гребенка 11, а на подвижной стойке 2 расположены два электромагнитных ,элемента 12. Электромагнитные элементы 7 и 12 выполнены в виде постоянных магнитов с П-образными магнитопровода-25 ми, на которых размецены обмотки управления (не показаны), Предметный стол работает следующим образом.

Для перемещения планшайбы 4 в вер- 3о тикальном направлении в обмотки электромагнитных элементов 12 подается управляющий сигнал, а в зазор между диском 10 и подвижной стойкой 2 сжатый воздух. В результате взаимодействия электромагнитных элементов

12 с ферромагнитно" гребенкой 11 диск

10 вращается вместе с винтом 8 относительно гайки 9 и перемещается вдоль оси, своего врацения вверх или вниз. в

Силы магнитной связи между ферромагнитной гребенкой l1 и электромагнитными элементами 12, уравновешенные

4 давлением сжатого воздуха обеспечивают постоянство зазора между диском

10 и подои>кной стойкой 2 и перемещение подвижной стойки 2 за диском 10 °

Поворот планшайбы 4 осуществляется в результате взаимодействия электромагнитных элементов 7 с ферромагнитной гребенкой 6 планшайбы 4 при подаче управлякнцего сигнала в обмотки электромагнитных элементов 7 и .сжатого воздуха в зазор между планшайбой

4 и подвижной стойкой 2. формула изобретения

Предметный стол, содержащий основание, подвижную стойку, планшайбу и механизмы поворота,планшайбы и подъема подвижной стойки, содержащие ферромагнитные гребенки и электромагнитные элементы, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности перемещения и уменьшения габаритов, механизм подъема подвижной стойки выполнен в виде вертикально расположенной винтовой кинематической пары, одно звено которой жестко закреплено на основании, а на другом закреплен диск, причем ферромагнитная гребенка механизма подъема подвижной стойки расположена на диске винтовой пары, а электромагнитные элементы механизма подъема подвижной стойки расположены на подвижной стойке.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США V 3996517, кл. 324-158, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР по заявке И 2627366/18-21, кл. Н 05 К 1/11, 12.06.78.

Фиг.t

930771

Редактор С. Лыжова филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель Г. Падучин

Техред H. Надь Корректор Н. Стец

Ф»

Заказ 3538/88 Тираж 85б Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Носква, И"35, Рауаская наб;, д. 4/5