Кассета для транспортированияплоских деталей

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

<1,834807 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (5I)M. Кд.

Н 01 1 21/68 (22) Заявлено 20. 08. 79(21) 2814199/18-21 с присоелинением заявки ¹

Госудерстееииый комитет (23) Приоритет ио делам изооретеиий и открытий

Опубликовано 30.05.81, Бюллетень ¹ 20

Дата опубликования описания 10. 06. 81 (53) УДК 621. 328. .002(088.8) (72) Автор изобретения

10.И. Михин (71) Заявитель (54) КАССЕТА ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ

ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к технологическому оборудованию, в частности для производства полупроводниковых при- . боров и интегральных схем и может быть использовано на различных технологических операциях, связанных с транспортированием и химической обработкой гибких тонких изделий.

Известна кассета для групповой химической обработки пластин, выполненная в виде диска с кольцевой проточкой и средствами удержания пластин, представляющими два ряда цилиндрических штырьков, расположенных по двум концентрическим ок1 ружностям (1).

В этой кассете можно вести обработку только жестких пластин.

Известна кассета для транспортирования плоских деталей, преимущественно интегральных микросхем, содержащая корпус с размещенными между. его стенками перегородками, соединенными стержнями (21.

Однако в известной кассете интегральные микросхемы размещаются без фиксации, что невозможно для микро-. схем, размещенных на гибкЬй подлож-.. ке.

Цель изобретения — повышение на-. дежности и удобства эксплуатации.

Поставленная цель достигается тем, что в кассете для транспортирования плоских деталей, преимущественно интегральных схем, содержащей корпус с размещенными между

его стенками перегородками, соеДиненными стержнями,, каждая из перегородок выполнена в виде кольца с упорами, расположенными на ее торцовой поверхности.

На фиг. 1 изображена кассета для транспортирования плоских деталей, общий вид; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 — вид В на йиг. 1; на фиг. 5 — вид Г на фиг. 4 °

34807

Формула изобретения

3 8

Кассета для транспортирования плос ких изделий содержит корпус, выполненный в виде набора колец 1, на каждом из которых на торцовой стороне расположены на одинаковом расстоянии друг от друга (под углом о

120 ) заостренные и направленные в одну сторону упоры 2. Число колец

1 определяется количеством одновременно обрабатываемых плоских деталей 3, например интегральных микросхем, размещенных на гибкой подложке. К стенке 4 (основанию) прикре- . плены равномерно расположенные под углом 120 ) три стержня 5 круглого о сечения, имеющие на незакреПЛенных концах поперечные пазы 6, обращен- . ные внутрь кассеты. На внешнем диаметре кольца имеются три равномерно расположенные (под углом 120 ) паза для облегчения перемещения колец

1 по стержням 5 при сборке и разборке кассеты. Другая стенка выполнена в виде съемной крышки. и содержит три равномерно распоЛоженные (под углом 120 ) удлиненные отверо стия, имеющие отогнутые лепестки 8.

Крепление крышки 7 на стержнях 5 осуществляется с помощью замка, \ например, типа байонетного. На внучренней стороне крышки 7 также имеются упоры 2, служащие для передачи усилия прижатия всему набору колец.

В центре крышки 7 закреплена поперечная планка 9 для захвата кассеты

4 грузоподъемными средствами или сред. ствами перемещения из одной зоны обработки в другую .

Кассету используют следующим образом

На стенке 4 (основании) ио стержням 5 устанавливают кольцо 1, на него укладывают плоские детали 3, затем аналогично укладывают послеlp дующие кольца с деталями. После укладки последней детали устанавливают крышку 7 и, повернув ее по часовой стрелке, стягивают весь набор колец с деталями в кассете.

Кассета для транспортирования

2о плоских деталей, преимущественно интегральных схем, содержащая корпус с размещенными между его стенками перегородками, соединенными стержнями, отличающаяся тем, 25 что, с целью повышения надежности и удобства эксплуатации, каждая из перегородок выполнена в виде кольца с упорами, расположенными на ее торцовой поверхности.

30 . . Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l. Авторское свидетельство СССР

Ф 443433, кл. Н 01 L 21/00, 1971.

2. Авторское свидетельство СССР

Ss N - 526222, кл. Н 01 2!/68, 1974.

834807

Purr составитель Л.Гринкова

Редактор И.Ковальчук Техред Ж,Кастелевич Корректор С.Шекмар

Заказ 4114 81 Тираж 784 Подписное

ВНЫ1ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4