Интерферометр для контроля вогнутых сферических поверхностей

Л. Т. Пуряев и Н. Л. Лазарева, 1

1 4 г

i

1

Московское ордена Ленина, ордена Октябрьской Революции н ордена

Трудового Красного Знамени высшее техническое училище им. Н. Э. Баумана (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОГНУТЫХ

СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для контроля формы высокоапертурных вогнутых сферических поверхностей.

Известен интерферометр для контроля качества вогнутых сферических поверхностей, со- держащий источник монохроматнческого излучения, фокусирующий объектив, светоделйтель в виде кубика, образованного склеиванием двух прямоугольных призм, эталонное сферическое зеркало и регистратор интерференционной картины (13.

Недостатками известного интерферометра являются ограниченность диапазона апертур контролируемых поверхностей, сравнительно невысокая точность и производительность контроля. Эти недостатки обусловлены тем, что кубик вносит сверическую аберрацию в пучок и предъявляются настолько высокие требования к качеству его изготовления, что они трудно выполнимы на практике.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является интерферометр для контроля вогнутых свернческих поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения от источника объектив и светоделитель, на одном выходе излучения из кото. рого установлена линза, на другом — регистратор интерференционной картины (2).

Недостатками этого интерферометра являются ограниченность диапазона апертур контролируемых поверхностей, сравнительно невысокая точность и производительность контроля, что обусловлено высокими требованиями, предъявляемыми к точности изготовления светоделителя, и сложностью процесса юстировки интерферо метра.

Белью изобретения является расширение диапазона контролируемых поверхностей, повышение точности и производительности контроля.

Указанная цель достигается тем, что в интерферометре, содержащем источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения от источника объектив и светоделитель, на одном выходе излучения из которого установлена линза, на другом — регистратор интерференционной карсъем@- ) (с4(г4-<3 (3 920367 тины, линза выполнена менисковой неаплана-. тической, вогнутая поверхность линзы обращена к светоделителю, радиус кривизны поверхности линзы определяется из соотношения

r — абсолютная величина радиуса вогнутой поверхности линзы;

Й вЂ” абсолютная величина радиуса выпуклой поверхности линзы;

d — толщина линзы;

d — толщина светоделителя; пл — показатель преломления линзы; пс — показатель преломления светодели* © теля.

На чертеже представлена оптическая схема ннтерферо метра.

Интерферометр содержит источник 1 мойохроматического излучения, объектив 2, свето- 2S делитель 3,. выполненный в виде кубика, менис ковув неапланатическую линзу 4, регистратор

5 интерференционной картины.

Интерферометр работает следующим образом. 30

Излучение от источника 1 фокусируется объективом 2, проходит через светоделитель 3, линзу 4, и направляется к контролируемой поверхности 6. Излучение, отраженное от выпуклой поверхности линзы 4, образует эталон- яч ный волновой фронт сравнения. Излучение, от. . раженное от контролируемой цоверхности 6, образует исследуемый волновой фронт. Исследуемый и эталонный волновые фронты интерферируют между собой и образуют интер- 46 ференционную картину, для регистрации которой служит регистратор 5 интерференционной картины. По виду интерференционной картины судят о форме контролируемой поверхности6.

Таким образом, выполнение линзы мениско- 4g вой неаииапатической, конструктивные параметры которой связаны укаэанными соотношениями с параметрами светоделителя, позволяет повысить точность контроля благодаря то4 му, что когерентные лучи образуются на выпуклой поверхности линзы. Повышение производительности контроля достигается благодаря тому, что процесс юстировки интерферометра значительно упрощен и сводится, по существу, к совмещению автоколлимацмонной точки от выпуклой поверхности линзы с предметной точкой объектива.

Формула изобретения

Интерферометр для контроля вогнутых сферических поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения и последова тельно расположенные по ходу излучения от источника объектив и светоделитель, на одном выходе излучения иэ которого установлена линза, на другом — регистратор интерференционной картины, о т л и ч а в шийся тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых поверхностей, повышения точности и производительности контроля, линза выполнена менисковой неапланатической, вогну- тая поверхность линзы обращена к светоделителю, радиус кривизны поверхности линзы определяется из соотношения

r — абсолютная величина радиуса вогнутой поверхности линзы;

A — абсолютная величина радиуса вЪтпуклой поверхности линзы; дл — толщина линзы;

dq — толщина светоделителя; пл — показатель преломлении линзы; пс — показатель преломления светоделителя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. "Оптико-механическая промышленность", 1973, И 8, с, 50-58.

2. Авторское свидетельство СССР У373519, кл. 6 01 В 9/02, 19.07.73 (прототип).

9203á7

Редактор О. Персиянцева

Заказ 2313(38

Филиал ППП "Патеит", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель Н. Захаренко

Техре 1 r. Маточка ..с

Тираж 614

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

11 3035, Москва, Ж-35, Раушская иаб., д. 4/5

Корректор В. Бутяга

Подписное