Способ изготовления фольговых резисторов
Авторы патента:
Способ изготовления фольговых резисторов, включающий соединение металлической фольги с подложкой, нанесение маски на металлическую фольгу и ее травление через маску потоком ионов при напряжении потока ионов 1 2 кВ и плотности потока ионов 0,5 - 5 мА/см2 в течение 2 ч, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности параметров и снижения температурного коэффициента сопротивления, после операции травления металлической фольги через маску осуществляют дополнительную обработку металлической фольги потоком ионов с напряжением потока ионов 3 - 6 кВ и плотностью потока ионов 6 - 10 мА/см2 в течение 1 - 6 ч.
Похожие патенты:
Устройство для подгонки микросхем // 894808
Устройство для маркировки радиодеталей // 883983
Изобретение относится к технике изготовления резисторов, в частности прецизионных резисторов для электроизмерительных приборов
Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при производстве резистивных элементов
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры
Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении изделий с пленочными резистивными элементами, входящими в состав приемопередающих устройств, систем обработки сигналов и датчиков различного функционального назначения
Резистивный материал // 2152099
Изобретение относится к электротехнике, в частности к электропроводным материалам, и может быть использовано для изготовления нелинейных регисторов, применяемых, например, в устройствах, предназначенных для защиты от перенапряжений
Изобретение относится к средствам нагрева и может быть использовано в промышленности и в быту
Переменный резистор // 2155403
Изобретение относится к области электротехники, а именно к переменным резисторам