Способ изготовления фольговых резисторов

 

Способ изготовления фольговых резисторов, включающий соединение металлической фольги с подложкой, нанесение маски на металлическую фольгу и ее травление через маску потоком ионов при напряжении потока ионов 1 2 кВ и плотности потока ионов 0,5 - 5 мА/см2 в течение 2 ч, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности параметров и снижения температурного коэффициента сопротивления, после операции травления металлической фольги через маску осуществляют дополнительную обработку металлической фольги потоком ионов с напряжением потока ионов 3 - 6 кВ и плотностью потока ионов 6 - 10 мА/см2 в течение 1 - 6 ч.



 

Похожие патенты:
Изобретение относится к технике изготовления резисторов, в частности прецизионных резисторов для электроизмерительных приборов

Изобретение относится к области микроэлектроники

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при производстве резистивных элементов

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры

Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении изделий с пленочными резистивными элементами, входящими в состав приемопередающих устройств, систем обработки сигналов и датчиков различного функционального назначения

Изобретение относится к электротехнике, в частности к электропроводным материалам, и может быть использовано для изготовления нелинейных регисторов, применяемых, например, в устройствах, предназначенных для защиты от перенапряжений

Изобретение относится к средствам нагрева и может быть использовано в промышленности и в быту

Изобретение относится к области электротехники, а именно к переменным резисторам
Наверх