Устройство для стабилизации температуры резистивных испарителей

О П И С А Н И Е („)8946Щ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву № 61 8729 (51)М. Кд.

З 05 X) 23/1 9 (22) Заявлено06.05.80 (21) 2920699/18-24 с присоединением заявки №

Гвщмрстебйьб1 камитет .

СССР ив делам изобретений н открытий (23)ПриоритетОпубликовано 30.12.81. Бюллетень ¹ 48 (53) ДК 621. .555.6 (088 8) Дата опубликования описания 04.01.82

В. Н. Сучков (72) Автор изобретения (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СТАБИЛИЗАЦИИ ТЕМПЕРАТУРЫ

РЕЗИСТИВНЫХ ИСПАРИТЕЛ ЕЙ

Изобретение относится к приборостроению, в частности, к устройствам стабилизации температуры нагретых тел в вакууме, например резистивных исцарителей, применяемых в вакуумной технологии для по-лучения пленочных покрытий.

По основному авт. св. ¹ 618729 известно устройство, содержащее источник тока накала испарителя, источник постоянного напряжения и металлический элект1О род, подключенный к положительному полюсу источника постоянного напряжения, . отрицательный полюс которого подключен к резистивному испарителю, являющемуся вторым электродом (13, Однако известное устройство обладает ограниченным диапазоном рабочих температур испарителя, а также дополнительным расходом мощности.

Бель изобретения - расширение области 2й применения устройства.

Поставленная пель достигается тем, что устройство содержит соединенные по следовательно блок формирования сигнала ошибки и установленный в цепи накала испарителя регулятор тока, причем вход блока формирования сигнала ошибки подключен к источнику постоянного напряжения.

На чертеже приведена блок-схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит резистивный ионаритель 1, источник 2 тока накала, металлический электрод 3, источник 4 постоянного напряжения, блок 5 формирова,ния сигнала. ошибки и регулятор 6 тока.

Устройство работает следующим обра- зом.

При отборе электродом 3 эмиттированных испарителем 1 электронов появляется электрический сигнал, зависящий от тем пературы испарителя, в цепи электрода 3 и источника 4 постоянного напряжения, этот сигнал попадает в блок 5 формирования сигнала; ошибки, где сравнивается с, сигналом задания и преобразуется в сиг нал разбаланса. Далее сигнал разбаланса попадает в устройство 6 регулирования

3 М46Й1

4 тока, воздействуя иа электрическую Формула изобретения схему регулятора он приводит к ие Устройство для стабилизации темпераобходимым изменениям тока .накала туры резистивиых испарителей по авт. св. испарителя. М 618729, о т л н ч а ю ш е е с я тем, что, с иелью расширения области

В связи с тем, что в предлагаемом применения устройства, îíî содержит сое устройстве ток эмиссии электронов можно диненные последовательно блок фо мировыбрать значительно ниже, чем по извест ванин сигнала ошибки н установленный в кому (изменение температуры ис дарителя цепи накала испарителя регулятор тока, осуществляется непосредственно иаменени- ip причем вход блока формирования сигнала ем тока накала испарителя), снижается ошибки подключен к источнику постояннопотребляемая мощность. За счет снижения го напряжения. тока эмиссии снижается нижний предел Источники информации, рабочих температур устройства, т.е. рао- принятые во внимание при акспертизе ширяется диапазон рабочих температур уст- is 1. Авторское свидетельство СССР ройства. % 618729, кл. G 05I} 23/19, 1978.

Составитель Л. Птенцова.

Редактор Е. Дичинская Техред 3. Фанта - Корректор С. Щомак

Заказ 1 1488/77 ° Вираж 943 Подписное

ВНИИПИ Гасударственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4