Устройство для регулирования температуры экранной печи

Союз Советсиии

Социалистические

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (и) 894690 (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву— (22)Заивлото 28.09.77 (2I) 2531866/18-24 с присоединением заявки М(23) Приэритет

Опубликовано 30 12 81 ° Бюллетень № 48

Дата опубликования описания 04.01.82

{53)M. Кл.

& 05 .0 23/19

9e7aapetawh4 кеиитет вее вв девает «зебретеиий в втерытив (53) УДК 621.36 (088.8) И. Я. Корчмарь (72) Автор изобретения (7I) Заявитель

Изобретение относится к автоматичесхому регулированию температуры прецеевонных экранных печей с центральной и подпорной зонами нагрева, например, s диапазоне температур эпитаксйальных проиессое, требующих минимального разброса температуры в рабочем обьеме печи.

Известны устройства для регулирования темцературы нагрева электрических нечей, s которых осутцествляется поэон gee регулирование температуры,. причем для каждой зоны устанавливается проесраммттый регулятор t 1)»

В таких устройствах осуцествляется довольно,точно4 поддеркание равномерной

3$ температуры по всей длине печи, однако наличие нескольких программнык регуля торов приводит к черезмерному удорожанито установок.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для регулирования температуры экранной печи с центральной

jt иодйорными зонами нагрева, содерж mee нагреватели, программный регулятор, вход которого подключен к датчику температуры центральной зоны, а выход -к нагревателю той же зоны, и ведомые регуляторы, входы которых подключены к датчикам температуры центральной и подпорных зон.

Известный программный регулятор работает таким образом, чтобы сигнал датчика температуры центральной зоны равнялся уставке регулятора. Каждый ведомый регулятор воспринимает разность температур датчиков центральной и подпорных зон и стремится поддерживать ее постоянной. Уставки ведомых регуляторов под бираются при настройке для выравнивания те тпературьт краев рабочего объема печи.

При изменении уставкп программного регулятора ведомые регуляторы следуют за ним с постоянным перегревом (2).

Недостатком известного устройства является изменение перегрева подпорных зон при изменении уставки программного регулятора В результате меняется тем пературная компенсация краев централт ° (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ

ЭКРАННОЙ ПЕЧИ ь ной зоны, что приводит к неравномерному распределению температуры по длине печи. Для уменьшения этого эффекта мож но увеличивать длину подпорных зон, orl нако это приводит к увеличению расхода электроэнергии.

Бель изобретения - повышение точности регулирования температуры нагрева в широком диапазоне путем коррекции эон температуры краев рабочего объема 10 печи без увеличения длины зон регулирования.

Укаэанная цель достигается тем, что устройство снабжено согласующими блока» ми с регулируемыми коэффициентами передачи, а нагреватели подпорных зон выполнены секционными, причем выходы программного регулятора подключены через согласующие блоки к соответствующим секциям нагревателей подпорных зон, а выходы ведомых регуляторов подключены к другим секциям. нагревателей подпорных зон, На чертеже представлено устройство для регулирования температуры экранной печи, где условно изображены центральная зона 1 и подпорные зоны 2 печи, причем каждая подпорная зона состоит из двух частей 3 и 4.

Устройство содержит программный регулятор 5, вход которого подключен к датчику 6 температуры центральной эоны, а выход - к нагревателю 7 указанной зоны,.и ведомые регуляторы 8, входы которых подключены к датчикам 9 и 10 температуры центральной и подпорных зон со- з.ъ ответственно, а выходы - к секционным нагревателям 1 1 соответствующих частей подпорных зон. Кроме того, устройство содержит согласующие блоки 12, входы которых подключены к соответству ошим 4о выходам программного регулятора, а вы13 ходы - .к секционным нагревателям с оответствуюших частей подпорных зон. Koçôôèø åûòû передачи согласующ их блоков устанавливаются при настр ойке 45 схемы и емы и остаются неизменными в процеосе работы.

При изменении температуры нагрева программным регулятором выше или ниже исходной величины происходит компенса ция соответственно недогрева или перегрева подпорных зон за счет работы сот ласуюших звеньев, что позволяет обеопечить плоский температурный профиль.

Температурное распределение в рабочем объеме после регулировки с целью коррекции выравнивается подбором уставок ведомых регуляторов.

Использование предлагаемого устройства позволяет повысить точность регулирования температуры нагрева электропечи в широком диапазоне, не увеличивая при этом ее длины, и снизить расходы потребляемой электроэнергии.

Формула из обретения

Устройство для регулирования температуры экранной печи с центральной и под порными зонами нагрева, содержащее нагреватели, программный регулятор, вход которого подключен к датчику температуры центральной зоны, а выход — к нагревателю той же зоны, и ведомые регуляторы, входы которых подключены к дат чикам температуры центральной и подпорныхзон, отличающее сятем, что, с целью повышения точности регулирования температуры нагрева в широком диапазоне путем коррекции температуры краев рабочего объема печи без увекичния длины зон регулирования, устройство снабжено согласующими блоками с регупируемыми коэффициентами передачи, а нагреватели подпорных зон выполнены секционными, причем выходы программного регулятора подключены через согласующие блоки к соответствующим секциям нагреватепей подпорных зон, а выходы ведомых регуляторов подключены к другим секциям нагревателей подпорных зон.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

l, Певзнер В. В. Прецезионные регуи Ю ляторы температуры, М., Энергия, 1973, с, 11,12, рис. 1-5.

2. Патент Германии ¹ 710876, кл. 24И, опублик. 23.09.41, 894690

Составитель В. Алешечкин

Редактор Е. Дичинская Техред М. Гергель 1<орректор О. Билак

Заказ 11488/77 Тираж 943 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., a. 4/5

Филиал ППП Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4