Устройство для контроля плоскостностипрозрачных деталей

G 01 В 9/02 с присоединением заявки ¹ вЪаударотваннмй комитат (23) Приоритет ао илам изобретений о и открытий

ОпубликованоЗ0.06 ° 81 ° Бюллетень № 24

Дата опубликования описанияЗ0.06.81 (53) УДК 535. 854 (088.8) (72) Авторы изобретения о

И. Е. Завин, Е. А. Кусман и (7I) Заявитель (54} УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ

ПРОЗРАЧНЫХ ДЕТАЛЕЙ чающий два конфокально расположенных объектива, клиновидную пластину с эталонной нижней поверхностью, второе зеркало,,плоскость наблюдения интерференционной картины и отклоняющий ™ элемент, установленный с возможностью изменения его положения относительно оптической оси P2).

Недостатком известного устройства является недостаточная точность контроля, обусловленная трудностями и неточностями выделения исследуемой ин" терференционной картины из числа всех регистрируемых.

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для проверки плоскостности прозрачных деталей.

Известно устройство для контроля плоскостности поверхности, содержащее

5 источник излучения, коллиматор, вращающуюся матовую пластину, расположенную в фокальной плоскости объективов, клиновидщро .призму с эталонной о нижней поверхностью и проекционную систему P).

Недостатком известного устройства

/ является низкая точность контроля, вызванная низким пропусканием системы и невозможностью устранения паразитной интерференционной картины.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для контроля плоскостности проз-зо рачных деталей, содержащие источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу из-, лучения зеркало, коллиматор, вклюЦель изобретения — повышение точности контроля.

Указанная цель достигается тем, что отклоняющий элемент выполнен в виде оптического клина, расположенного между двумя, объективами на расстоянии 1 $ — - от их фокальной ) С8 плоскости, Формула изобретения

3 84 где 0 — световой диаметр оптического клина;

А — тангенс апертурного угла коллиматора.

На чертеже изображена оптическая схема устройства.

Устройство содержит источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения зеркало 2, коллиматор,включающий два конфокально расположенных объектива 3 и 4, клиновидную пластину 5 с эталонной. нижней поверхностью второе зеркало 6, плоскость 7 наблюдения интерференционной картины, отклоняющий элемент 8, установленный с воэможностью изменения его положения относительно оптической оси и расположенный между объективами 3 и 4 на расстоянии от их фокальной плос,кости.

Устройство работает следующим образом.

Излучение от источника 1 монохроматическо го излучения напр авля ется зеркалом 2 на объектив 3, Пройдя отклоняюший элемент 8, излучение попадает на объектив 4 коллиматора, затем на клиновидную пластину 5 и контролируемую деталь 9.

Излучение отраженное от контролируе1 мой детали 9 и эталонной нижней поверхности клиновидной пластины 5,интерферирует и направляется вторым зеркалом б в плоскость 7 наблюдения интерференционной картины. На исследуемую интерференционную картину накладываются паразитные картины, которые устраняются отклоняющим элементом 8, установленным с возможностью либо возвратно-поступательного движения относительно оптической оси, либо колебания относительно той же оси что приводит,к изменению угла

Ф

9 падения излучения, вызывающего изменение разности хода интерферирующего излучения,.отраженного от двух

2398 4 поверхностей контролируемой детали 9.

В результате чего паразитная интерференционная картина смещается на величину,. равную ширине одной полосы и при периодическом изменении угла падения излучения вследствие изменения, положения отклоняющего элемейта 8 паразитная интерференционная картина. размывается, а размытые полез10 ной интерференционной картины незначительно.

Устройство для контроля плоскостности прозрачных деталей, содержащее источник монохроматического излучения и последовательно расположенные

20 по ходу излучения зеркало, коллиматор, включающий два конфокально расположенных объектива, клиновидную пластину с эталонной нижней поверхностью, второе зеркало, плоскость наблюдения интерференционной картины и отклоняющий элемент, установленный с возможностью изменения его положения относительно оптической оси, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повыЗ0 шения точности контроля, отклоняющий элемент выполнен в виде оптического клина, расположенного между двумя объективами на расстоянии

И

35 2А от их фокальной плоскости, где D — световой диаметр оптического

СЬ клина;

А — тангенс апертурного угла кол40 лиматор а.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США 11 4072423, кл. 356-106, 1977.

4> 2. Авторское свидетельство СССР

Ф 357462, кл. G 01 В. 9/02, 1972 (прототип) .

842398

Составитель Н. Захаренко

Редактор Е. Кинив Техред А. ч Корректор С. Щомак

Заказ 5047 39 Тираж 6 2 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва, Ж-35 Раушская наб. д. 4/5

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4