Способ изготовления низко-температурного tepmometpa сопротив-ления

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (щ 821955

Ф

l (á3) Дополнительное к авт. саид-ву (5 )М N ç (22) Заявлено 1б02.79 P1) 2725498/18-10 с присоединением заявки ¹ . (23) Приоритет

G 01 К 7/22

Государственный комитет

СССР по делам изобретений и открытий

Опубликовано 150481 Бюллетень N9 14 (53) УДК 536. 531 (088.8) Дата опубликования описания 150481 (72) Авторы изобретения

Л. П. Межов-Деглин и С. A. Шевченко

Институт физики твердого тела AH CGCP- .:

F (7! ) Заявитель (54 ) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОГО

--ТЕРМОМЕТРА СОПРОТИВЛЕНИЯ тов Щ.

Изобретение относится к способам изготовления германиевых термометров сопротивления для измерения низких температур преимущественно в условиях больших механических нагрузок и в сильных магнитных полях.

Известен способ изготовления низкотемпературного термометра сопротивления, заключающийся в обработке

10 кристалла германия путем легирования примесями и подпайке к нему контакНедостатком этого способа является сложность технологии, так как

15 операция легирования из-за неоднородности распределения примеси приводит к различным показаниям термометров, что затрудняет получение термометров с заданными свойствами. Кроме того, термометры сопротивления, полученные указанным способом, характеризуются узким интервалом измеряемых температур, а также низкими вибро- и термостойкостью.

Цель изобретения — упрощение технологии изготовления термометра, расширение интервала измеряемых температур и повышение вибро- и термо стойкости. 30

Для этого германиевый кристалл пластически деформируют сжатием до степени 20-45% при 700-800 С, охлаждают до комнатной температуры и вырезанный в виде бруска или пластины термочувствительный элемент химически полируют.

Пример. Монокристалл германия с концентрацией акцепторов

1-10 см-Зпластически деформируют сжатием при 720оС в вакууме

10 мм рт.ст. до степени деформации

45%. После охлаждения образца до комнатной температуры иэ него вырезают бруски размером 3 1 0,5; мЗ. Полученные таким образом термочувствительные элементы химически полируют и к их торцам индием припаивают про ° волочные контакты. Сопротивление полученных термометров в интервале температур 150-1,3 К монотонно возрастает.

При степенях деформации, лежащих вне указанного интервала (20-453) и при температурах ниже. 700ОС не удается получить термочувствительный материал для измерений при низких температурах.

Низкотемпературные германиевые термометры сопротивления, полученные

821955

Составитель Н.Соловьева

Редактор О.Колесникова ЖехредM. Федорнак КорректорО.Билак

Заказ 1799/63 Tape 907 Подписное

ВЙИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5, Филинл ППП "Патент",r.Óæãîðîä,óë.Ïðîåêòíàÿ,4 предлагаемым способом, обладают высокой механической прочностью и тер- . мической стойкостью, а также слабой чувствительностью к магнитному полю, При 4,2 К показания термометров изменяются лишь на 10% при увеличении напряженности магии ного поля от

0 до 70 кЭ.

Формула изобретения

Способ изготовления низкотемпературного термометра сопротивления, заключающийся в обработке кристалла германия, подпайке к нему контактов, о т л и ч а ю ц и и с я тем, что, с целью упрощения технологии изготовления термометра, расширения интервала измеряеыях температур, повышения вибро- и термостойкости, германиевый кристалл пластически деформируют сжатием до степени 20-45% при 700800 С, охлаждают до комнатной температуры и вырезанный в виде бруска или пластины термочувствительяый элемент химически полируют.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1 ° Авторское свидетельство СССР

9247554, кл. 6 01 К 7/22, 1968.