Интерференционный датчик измеренияуглов поворота об'екта

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалнстмческих

Реслублнк (ii 808835

-Л (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) ЗаЯвлено 28.04.79 (2I ) 27 59170/25-28 (51)M. Кл.

G 01 B 9/02 с присоединением заявки Ле

Гооудерстееииый комитет

СССР (23) Приоритет до делам изобретений и открытий

Опубликовано 28.02.81. Бюллетень Ле 8

Дата опубликовакия описания l 5.03.81 (53) УДК535. .854(088.8) (72) Автор изобретения

Б. М. Комраков

Московское ордена Ленина и ордена Трудовот о Красного Знамени высшее техническое училище им. H. З. Баумана (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ДАТЧИК ИЗМЕРЕНИЯ

УГЛОВ ПОВОРОТА ОБЪЕКТА

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для определения отклонений углов, например, при контроле углов призм, Известна треугольная интерферометри-. ческая следящая система, содержащая источник излучейия, систему плоских зеркал, образующих теугольник, и вращающуюся плоскопараллельную пластину 1 . т0

Недостатком этой системы является ее сложность и невысокая точность, обусловленная наличием вращающейся пластины.

Известен интерференционный датчик, т измерения углов поворота объекта,, содержащий источник излучения и светоделитель, в одном потоке излучения от которого последовательно расположено плоское зеркало, а в другом — анализи-. рующий блок )2).

Недостатком известного устройства является недостаточная точность измере. ния, обусловленная неустойчивостью интерференпионной картины при температурных и вибрационных воздействиях.

Кель изобретения — повышение точности измерения.

Указанная цель достигается тем, что датчик снабжен оптическим элементом, расположенным между зеркалом и светоделителем и выполненным в виде плоскопараллельной пластины, одна поверх ность которой, образцовая, а на другую нанесена зонная решетка Френеля, а зеркало установлено в фокальной плоскости зонной решетки Френеля.

На чертеже представлена принципиальная схема датчика.

Датчик содержит источник излучения (на чертеже не показан), светоделитель 1, плоское зеркало 2, анализирующий блок 3,плоскопараллельную пластину 4, одна поверхность которой, обращенная к светоделителю 1, выполнена образцовой, а на второй зонная решетка Френеля, а зеркало 2 установлено в фокальной плоскости зонной решетки Френеля.

808835 4

Формула изобретения

Датчик работает следующим образом, Падающее излучение проходит через светоделитель 1 и частично отражается от образцовой поверхности плоскопарал лельной настины 4, образуя при этом один из интерферируюши с пучков. Второй ичтерферирующий пучок формируется при прохождении излучения через пластину

4 с зонной решеткой Френеля, отражения от зеркала 2 и повторного прохождения зонной решетки Френеля. Коэффициент отражения образцовой поверхности пластины 4 выбирается из условия равенства двух интерферируюших пучков.

Ширина интерференционных полос измеряется в анализирующем блоке, а зная ширину интерференционных полос и длину волны света, определяют величину угла наклона падающего излучения к оптической оси датчика.

Датчик при наличии вибрационных воздействий не подвержен разъюстировке, так как наклоны светоделителя и зеркала 2 не изменяют ширину и ориента— цию интерференционных полос, а влияние температурных воздействий ослаблено за счет компактности датчика.

Интерференционный датчик измерения углов поворота объекта, содержащий источник излучения и светоделитель, в одном потоке излучения от которого нов следовательно расположено плоское зеркало, а и другом — анализируюший блок, отличающийся тем, что, с, lp целью повышения точности измерения, он снабжен оптическим элементом, расположенным между зеркалом и светоделителем и выполненным в виде плоскопараллельной пластины, одна поверхность которой образцовая, а на другую нанесена зонная решетка Френеля, а зеркало. установлено в фокальной плоскости зонной решетки Френеля.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США Ъ 4003658, кл. 356-110, 1977.

2. "Оптика и спектроскопия". 1970, Т.)Xglll, вып. 6,, с. 1190-1195 (прототип).

ВНИИПИ Заказ 391/41 Тираж 653 Подписное

Филиал ПЛП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4