Способ получения металлическихоптических зеркал

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик >808409 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— 51 „К„з (22) Заявлено 280579 (21) 2773661/29-33 с присоединением заявки ¹

С 03 .С 27/04

Государственный комитет

СССР по делам изобретений н открытий (53) УДК666.1. 056 (088.8) (23) Приоритет—

Опубликовано 280281. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания 28.02.81

В.Ф.Французов, Б.Д.Горелик и К.A.Ðàìàýàíàä, id (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ОПТИЧЕСКИХ

ЗЕРКАЛ

Изобретение относится к оптической технологии и может быть использовано в производстве оптических элементов точных зеркал на металлической подложке..

Известен способ изготовления металлических оптических зеркал, включающий обработку металлической под ложки, нанесение и обработку поверх- ности промежуточного слоя и нанесение отражающего зеркального покрытия

Г13.

Однако этот способ не позволяет получать бездефектную рабочую поверх.ность зеркала. Поверхностные. дефекты структуры металла и внутренние напряжения в промежуточном слое снижают.точность и качество оптического зеркала. Кроме того, процесс обработки рабочей поверхнбститрудоемкий.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является способ изготовления металлических оптических зеркал, включающий обработку рабочей поверхности металлической подложки, соединение путем,спекания подложки со стеклянным слоем, шлифовку и полировку стеклянного слоя и нанесение отражаккцего покрытия (2 j.

Однако известный способ изготовления металлических оптических зеркал сложный и трудоемкий, качество рабочей поверхности зеркала зависит от остаточных внутренних напряжений в спае стекла с металлом. Трудоемкость и длительность процесса изготовления зеркала определяется наличием опера- ций спекания металлической подложки и стеклянного слоя и многоцикличной термостабилизацией зеркала.для уменьшения внутренних напряжений в спае стекла с металлической подложкой.

15 . Цель иэооретения — упрощение технологии изготовления металлических оптических зеркал.

Поставленная цель достигается тем, что в известном способе изготовления

20 металлических оптических зеркал путем нанесения на металлическую подложку промежуточного и отражающего слоев, промежуточный слой наносят вакуумным напылением окцси кремния,.

25, или окислов металлов толщиной 1,53 мкм и подполировывают его до тол= щины 0,5-2 мкм.

В качестве окислов металлов используют окислы титана, циркония, 30 церия, тантала или ниобия.

808409

Формула изобретения

Составитель Г. Буровцева

Техред Т. Маточка Корректор Н.Стец

Редактор .Ю.Ковач

Заказ 37/20 Тираж 531 Подписное

ИНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент ", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Принципиальное отличие предлагаемой операции испарения в вакууме слоя окисла металла или SiOg с последующей снятием полировкой до толщины

0,5-2 мкм от использования в настоящее время операции соединения путем спекания подложки со стеклянным слоем с последующей шлифовкой и полировкой поверхности зеркала заключается в том, что покрытие наносится более производительно качеств т" 1О венно, значительно меньшей толщины.

После снятия полировкой слоя окисла до толщины 0,5-2 мкм остаточные напряжения в соединении металлической подложки и окисной пленки уменьшаются до безопасного минимума. !

Пример 1 . Партию зеркал изготовляют из титанового сплава

ВТ15 размером 61х24х8 мм.

Рабочую поверхность металлической подложки зеркала обрабатывают шлифов- 20 кой и полировкой до получения заданной формы и шероховатости поверхности RZ = 0,2 мкм (ГОСТ 2789-73) .

На полированную поверхность подлож- ки напылением в вакууме электроннолучевым методом .наносят слой окисла

SiO толщиной 3 мкм из кварцевого стекла марки КВ ГОСТ 15130-69. Затем производят полировку поверхности слоя окисла толщины до 2 мкм и шероховатос- ) ти поверхности R = 0,05.мкм. Дополнительная полировка промежуточного слоя позволяет сгладить шероховатости (впадины и выступы), которые еще сох- ранились после вакуумного напыления. З

На полированную поверхность наносят отражающее зеркальное покрытие.

Пример 2 . Металлическую подложку изготовляют аналогично примеру 1. На подложку в вакууме наносят слой окисла Т1О2 электронно-лучевым методом толщиной 2 мкм и производят полировку поверхности слоя окисла до 1,5 мкм и шероховатости

R< = 0,05 мкм. Затем наносят отражающее зеркальное покрытие.

Нанесение в вакууме слоя окисла, толщиной 3 мкм, с последующим снятием полировкой слоя окисла до толщины

0,5-2 мкм значительно упрощает по трудоемкости технологический процесс изготовления металлических оптических зеркал по сравнению.с известным.

Способ получения металлических оптических зеркал путем нанесения на металлическую подложку промежуточного и отражающего. слоев, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления зеркал, промежуточный слой наносят вакуумным напылением окиси кремния или окислов металлов толщиной 1,5-3 мкм и подполировывают его до толщины.0,5-2 мкм.

Источники информации, принятые во .внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 42586 4, кл. С 03 С 27/04, 1972.

2. Авторское свидетельство СССР

Ф 327138, кл. С 03 С 27/00, 1969.