Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и может быть использовано при испытаниях интегральных микросхем на воздействие крайних температур.

Известна камера для климатических испытаний, содержащая термостат, накопитель барабанного типа, устройства загрузки-выгрузки и контактирующее устройство (1) .

Иэделия размещаются на периферии барабанного накопителя, который, совершив один оборот, подает изделия к контактирующему устройству, затем произ15 водится выгрузка их в соответствующую группу.

Недостатком известного устройства является неполное использование полезного объема (термообьема) камеры. Иэделия в накопителях барабанного типа располагаются по внешней образующей барабана, центральный объем камеры остается незаполненным.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является полуавтомат для измерения стабильности и параметров транзисторов, включающий термостат, транспортное устройство для перемещения обрабатываемых образцов, механизм разгрузки, механизм вьп рузки и контактирующее устройство I2j .

Работает известное устройство следующим образом.

Иэделия ориентированно загружаются в механизм загрузки, передающий их на винтовую направляющую в зону нагрева термостата. Винтовая направляющая выполнена по внутренней образующей корпуса термостата Ротор термостата перемещает изделия по винтовой направляющей в течение заданного времени выдержки {30 мин), после чего происходит замер электрических параметров изделий.

Затем они попадают в механизм разгрузки и оттуда в соответствующую проверенным параметрам секцию.

3 74751

К числу недостатков данного полуавтомата относится наличие накопителя барабанного типа, усложняющего в целом конструкцию полуавтомата, Это, в свою очередь, обуславливает неполное жполь5 зование полезного обьема термостата,, а также зависимость цикличности работы полуавтомата от времени выдержки иэделий в термостате.

8 4, хода иэделий с яруса на ярус направление их перемещения меняется на противоположное. Направление противоположного перемещения изделий в рассматриваемой конструкции достигнуто эа счет того, что каждая транспортная пара составлена из винтов с противоположным направлением винтовой нарезки. Противополсаное перемещение изделий на смежных щ>усах осуществляется за счет изменения вращения пары винтов.

С нижней транспортной пары иэделие 8 попадает в механизм 6 перемещения, который сначала подключает его к контактирующему устройству 7, а затем подает в механизм 4 выл рузки, где иэделие выгружается в соответствующую измеренным параметрам группу.

Меняя местополо>кения пластин 10 с окнами 11 под каждым ярусом, можно задать любое время выдержки изделий 5 в термостате 1, не изменяя заданную производительность камеры.

Все это взаимосвязано формулой

Т где Р - производительность;

8 вЂ” - емкость накопителя;

Т вЂ” время выдержки, 1 а ври |л Шпп>|ла ф =вЂ”

Зо

Цель изобретения - повышение произ10 водительности камеры эа счет увеличения степени использования теплового объема.

Поставленная цель достигается тем, что камера снабжена укрепленными по

l5 высоте термостата полками с окнами, на которых раэмешено транспортное устройство, выполненное в виде двух винтов, ФЙ этом с целью обеспечения взаимозаменяемости, полки состоят иэ пластин.

На фиг. 1 изображено устройство, общий вид;на фиг. 2 вЂ” транспортное устройство.

Камера для климатических испытаний

25 состоит из термостата 1 с располо>кенным в нем транспортным устройством 2, механизмов загрузки 3 и выгрузки 4 изделий 5, механизма перемещения 8, подающего изделия 5 к контактирующему устройству 7. Транспортное устройство 2 выполнено в виде многоярусной системы попарно располо>кенных винтов 8, установленных на полках, размещенных в направляющих 9, при этом полки выполнены

B виде пластин 10, одна из которых IIon

35 каждым ярусом имеет окно 11, Синхронное вращательное движение каждой пары винтов осуществляется при "помощи зубчатых колес 12.

Работа осуществляется следующим образом, Изделия 5 подаются автоматически механизмом загрузки 3 в верхний ярус транспортного устройства 2, расположен45 ного в термостате 1. Пара винтов 8 верхнего яруса удерживает иэделия 5 в пазах винтовой образующей в ориентированном положении и, синхронно вращаясь с помощью зубчатых колес 12, перемешают иэделия. Изделия 5 удерживают

50 снизу съемными пластинами 10, одна из которых имеет окно 11, достигнув которого изделия 5 падают под действием собственного веса вниз и попадают в пазы

55 винтовой образующей пары винтов 8 низлежащего яруса. Врашаясь синхронно, эта пара винтов перемещает изделия 5 в противоположную сторону, т.е. после переПредлагаемое устройство позволяет разместить в камере в три-четыре раза больше изделий, чем при использовании известных устройств, увеличить степень использования теплового обьема за счет более компактного расположения механизмов, позволяет снизить удельную потребность энергоносителей и увеличить производительность данной камеры по сравнению с существую цими.

Формула изобретения

Камера для климатических испытаний, включающая термостат, транспортное устройство для перемещения обрабатываемых образцов, механизм разгрузки, механизм выгрузки и контактирующее устройство о т л и ч а ю ш а я с я тем, по, с целью повышения производительности камеры за счет увеличения степени использования теплового обьема, она снабжена укрепленными по высоте термостата полками с oKIIGMEI, на которых размещено транспортное устройство, выполненное в виде двух винтов.

2. Камера по и, 1, о личаюш а я с я тем, что, с целью обеспече5 74751 ния взаимозаменяемости, полки выполнены из пластин.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе, 8 6

1. Авторское свиаетельство СССР

% 574016, кл. H 01L 21/66, 1977.

2. Авторское свидетельство СССР

No. 171470, кл. Н 01L 21/66, 1965.

747518

Фиг P аказ 4302/2 Тираж 809 Подписное

ПНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений. и открыл ий

113035, Москва, -35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент" г Ужгород у П

f - 4 ро, ул. роектная, 4

Соствитель О. -чернуха

Редактор Н. Гарват Техред М. Кузьма Корректор М. лароши

Похожие патенты:

Термостат // 746466

Способ регулирования температуры в термостатах // 744507

Вариатор температуры // 736060

Термостат // 729563

Устройство для тепловых испытаний микросхем // 711553

Терморегулятор // 708326

Термостат для кварцевого генератора // 703795

Регулятор температуры // 702360

Термостат // 694849

Термостат для биологических исследований // 686021

Термостат трубчатый электрожидкостный // 2107321

Изобретение относится к автоматическому регулированию и используется в системах термостатирования при исследовании пластовых флюидов, а также прочих объектов, размещающихся в цилиндрических рабочих камерах различной длины с нормальным или избыточным давлением

Система термостатирования газового потока // 2155364

Изобретение относится к устройствам газоснабжения и может быть использовано для выдачи газового потока низкого и среднего давления (~до 30105 Па) с регулируемой температурой, номинал которой может изменяться в диапазоне от значения несколько ниже температуры окружающей среды до значения, значительно превышающего температуру окружающей среды

Система для регулирования расхода тепла на отопление // 2170944

Изобретение относится к средствам автоматического регулирования, применяемым в системах теплоснабжения

Устройство для отвода тепла и термостабилизации электронных плат // 2174292

Изобретение относится к электронике и может быть использовано для обеспечения требуемых тепловых режимов элементов радиоэлектронной аппаратуры, в частности электронных плат

Устройство для охлаждения электронных плат // 2198419

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для обеспечения требуемых тепловых режимов радиоэлектронной аппаратуры, в частности электронных плат

Устройство для термостабилизации нескольких объектов на разных температурных уровнях // 2199777

Изобретение относится к области термоэлектрического приборостроения и может использоваться для одновременной стабилизации температуры нескольких объектов, имеющих разные оптимальные рабочие температуры

Устройство термостатирования фотоприемника // 2210099

Изобретение относится к автоматике, в частности к устройствам стабилизации температуры фотодиодных приемников лучистой энергии оптико-электронных приборов, и может быть использовано в фотометрических устройствах

Устройство для термостатирования фоточувствительного элемента // 2235351

Изобретение относится к устройствам стабилизации температуры фотоэлемента приемника лучистой энергии и может быть использовано для теромостатирования фоточувствительных элементов в оптико-электронных приборах, например фотометрических устройствах, пирометрах и оптических датчиках

Устройство для термостабилизации нескольких объектов на разных температурных уровнях // 2236034

Устройство термостабилизации радиоэлектронной аппаратуры // 2240606