Способ контроля герметичности изделий
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советскик
Социалистическид
Республик
< >714 I 99 (61) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) Заявлено 260578 (21) 2616401/25-28 с присоединением заявки М (23) Приоритет (53)М. Кл.2
С 01 М 3/00
Государственный комитет
СССР ио делам изобретений и открытий
Опубликовано 0502.80, Бюллетень Мо 5 (53) УДК 620. 165. 29
СОВЕ.8) Дата опубликования описания 05р280 (72) Авторы изобретения
И.Л. Лейтес, О.В. Курбатов и В.К. Солдатов (71) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕЛИЙ
ФормуЛа изобретения
Изобретение относится к технике испытаний на герметичность, в частности к технике испытаний изделий на герметичность в жидкости,преимущественно корпусов микросхем .
Известен способ контроля герметичности изделий, заключающийся в том, что изделие погружают в жидкую испытательную среду, создают над ней разряжение и о герметичности судят по пузырькам газа или воздуха, выходящим через неплотности изделия, а в качестве испытательной среды используют уайтспирит, этиленгликоль, фреон-113 (1) . 15
Недостатком известного способа является то, что используемая испытательная среда является либо раство рителем, либо химически активным веществом, что приводит к тому, что 20 изделия, представляющие собой корпуса микросхем, разрушаются вследствие попадания испытательной среды через неплотности в корпус.
Целью изобретения является обеспечение контроля микросхем без их разрушения.
Указанная цель достигается тем, что в качестве испытательной среды используют перфторированные >tcèä ácòè.30
Эти жидкости представляют собой широкий класс органических веществ, химически нейтральных и не являющихся растворителями. Попадание таких веществ внутрь изделия не приводит к выходу ее из строя.
Способ осуществляют следующим образом.
Иэделие погружают в жидкую испытательную среду (МДЗФ-перфтортриэтиламин- (CgFg )а N-ТУ6-02-721-73 вместо фреойа-113 или ДЭФ, перфтордибутиловый эфир-(C F>)< Π— ТУ6-02-.802-73 вместо уайтспирита и воды), создают над ней разряжение и .о герметичности судят по пузырькам газа, выходящим через неплотности.
Способ контроля герметичности иэделий, заключающийся в том, что изделие погружают в жидкую исйытательную среду, создают над ней разряжение и о герметичности судят по пузырькам газа, выходящим через неплотности, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью обеспечения контроля микросхем без их разрушения в качестве
714199
Составитель И. Кесоян
Редактор A. Семенова Техред И.Кузьма Корректор Г. Решетник
Тираж 1019 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035 Москва Ж-35 Разыская наб. д. 4 5
Заказ 9272/Зб
Филиал ППП Патент, r, Ужгород„ ул, Проектная,4 испытательной среды используют перфторированные жидкости.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Моряков О.С. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства М., Высшая школа, 1976 (прототип).
