Устройство для измерения поверхностного электростатического потенциала

Севов Советских

Соцреалистических

Республик

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (ii> 691786 (61) Дополнительное к авт. свмд-ву(51)М. Кл.

G 01 R 29/12 (22) Завалено 010278 (2!) 2576332/18-09 с присоединением ваввкм N9— (23) Приоритет

Государствен вы 1 кои птет

СССР по 4cJIQN изобретена и и открытка (53) УДК 621. 317. (088 ° 8) Опубликовано 151079. бюллетень Но 38

Дата окублмковамия опмсанив 151079

» (72) Авторы изобретения

К.A.Êoâàëåëèñ, В.П. Ружяле и В.П. Ворвуль (71) Заяеитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО

ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО ПОТЕНЦИАЛА

Изобретение относится к технике радиоизмерений и может использовать- ся, например, для измерения потенциала заряженной поверхности- электрографических слоев.

Известно устройство для измерения поверхностного электростатического потенциала, содержащее прозрачную пластину, на которую нанесены экранирукщий и измерительный электроды (1) .

Однако известное устройство имеет низкую разрешакщую способность.

Цель изобретения — увеличение разрешающей способности.

Для этого в устройстве для измере- ния поверхностного. электростатического потенциала, содеркащем прозрачную пластину,на которую нанесены экранирующий и измерительный электроды, экранирующий электрод нанесен на одной стороне прозрачной пластины и снабжен отверстием, а измерительный электрод нанесен на противоположную сторону прозрачной пластины соосно с отверстием и имеет размер отверстия.

На чертеже приведена конструкция устройства. устройство для измерения поверхностного электростатического потенциала содержйт прозрачную пластину

1, на которую нанесены экранирующий и измерительный электроды 2 и 3, причем экранирующий электрод 2 нанесен на одной стороне прозрачной пластины 1 и снабжен отверстием 4, а измерительный электрод 3 нанесен на противоположную сторону прозрачной пластины 1 соосно с отверстием 4 и имеет размер отверстия 4.

Экранирукщий электрод 2 и измери-. тельный электрод 3 имеют контактные площадки 5 и 6.

Устройство работает следующим обра зом.

Величина измеряемой с понощью

2р устройства площади заряженного участка поверхности материала практически равна площади измерительного элек. трода 3, поэтому уменьшение размеров измерительного электрода 3 и отверс

2с тия 4 в экранируктаем электроде 2 увеличивает разрешающую способность.

Уменьшение чувствительности, связанное с уменьшением размеров измерительного электрода 3, можно компенсировать коэффициентом усиления из691786

Составитель A.Кузнецов

Техредц,Бабурка Корректор Н.Стец.

Редактор Т.Янова

Заказ 6208/36 Тираж 1090 Подписное

ПНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 1 3035, Москва, Я-35 „Раущска я наб .д, 4/5

Филиал ППП Патент ™, r.Óæãoðîä, ул,Проектная,4 мерительного блока (на чертеже не показан) .

Практически измерительный и экранирующий электроды 3,2 мож но изготовить очень малыги, меньше единицы микрон, но минимальные предельные их размеры ограничены рядом факторов: толщиной прозрачной пластины 1, на которой нанесены измерительный и экранирующий электроды 3, 2, и искажением поля вблизи отверстия 4 иэ-за явления электростатической индукции, Формула изобрйтеиия

Устройство для измерения пбверхг остного электростатического потенциала, содержащее прозрачную пластину, на которую нанесены экранирующий и измерительный электроды, о т л и ч а ю щ е е с я тем,. что, с целью увеличения разрешающей способности, экранирукщий электрод нанесен на одной стороне прозрачной пластины и снабжен отверстием, а измерительный электрод нанесен на противоположную сторону прозрачной пластины соосно с отверстием и имеет размер отверстия.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. The Review of ясХentific

instruments, 1967, V. 38, гго 10, р, 127 (прототипг,