Способ калибровки шкалы длин волн сканирующего интерферометра

ОПИСАНИЕ .

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

% О;;= =:;

4Д тяр.--., „

«ii- 634092

Союз Советскнк

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свил-ву— (22) Заявлено 110777 (21) 2506402/18-28 с прнсоедннением заявки РЙ— (23) Приоритет— (43) Опубликовано251178. Бюллетень № 43 (45) Дата опубликования описания 261178 (51) М. Кл.

01 В 9/02

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 531. )) 5. l (088.8) (72) Авторы изобретения

В.Т.Голобородько и Е.С.0 ульман (7l) Заявитель (54) СПОСОБ КАЛИБРОВКИ ШКАЛЫ ДЛИН ВОЛН

СКЛНИРУЮЩЕГО ИНТЕРФЕРОМЕТРА

Изобретение относится к спектроскопии и может, в частности, найти применение при интерферометрических измерениях в различных областях науки и техники. 5 .В интерферометрических измерениях широко используются сканирующие интерферометры Фабри-Перо в качестве высокоразрешающих приборов.

Известен способ калибровки шкалы 10 длин волн сканирующего интерферометрапо расстоянию между соседними интерференционными порядками сканируемой картины (1j, Недостатком способа является 15 низкая точность.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и решаемой задачи является способ калибровки шкалы длин волн сканирующего интерферометра, заключающийся в том, что получают основную интерференционную картину, создают дополнительную интерференционную картину и производят сравнение этих картин (21 .

В этом способе создают дополнительную многолучевую интерференционную картину с помощью интерферометра

Фабри-Перо помещенного в общую баро1

30 камеру с основным интерферометром.

При изменении давления в барокамере производят сканирование инз ерференционных картин в обоих интерферометрах, после этого сравнивают обе интерференционные картины. Увеличение разности хода в дополнительном интерферометре пропорционально отношению расстояний между зеркалами в дополнительном и основном интерферометрах.

Недостатком известного способа является недостаточная точность калибровки, а также то, что этот способ калибровки пригоден лишь для интерферометров, в которых сканирование осуществляется изменением давления, и непригоден для интерферометров,в которых используют подвижное зеркало. Кроме того, при достаточно больших расстояниях между зеркалами основного интерферометра дополнительный интерферометр необходимо делать очень большим.

Целью изобретения является повышение точности калибровки и расширение области применения способа.

Это достигается тем, что дополнительную интерференционную картину создают путем ввода контрольного светового луча между зеркалами калибруе634092

Формула изобретения

Исспедуеный ситная лалй айинь а сиенав

Риг. 2

Составитель Л.Лобзова

Техред 3.Фанта Корректор Е.Папп

Редактор Л.Народная

Заказ 6747/37 Тираж 830 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул. Проектная, 4 мого интерферометра и получения многократного отражения этого луча.

На фиг.1 изображена оптическая схема, реализующая предлагаемый способ; на фиг.2 — вид регистрируемой картины.

На схеме изображен контрольный све. товoN луч 1, зеркала 2 и 3 калибруемого интерферометра, опорный луч 4, диафрагма 5.и фотоприемник б.

Осуществляется предлагаемый способ следующим образом. 10

Контрольный луч 1 вводят между зеркалами 2 и 3 калибруемого интерферометра. Опорный луч 4 формирует дополнительную двухлучевую интерференционную картину в области пересечения с 15 лучом 1. При изменении оптической разности хода луча между зеркалами 2 и 3 происходит также сканирование дополнительной интерференционной картины. Диафрагма 5 выделяет долю интер-20 ференционной полосы.

Изменение интенсивности света, прошедшего через диафрагму 5, регистрируют фотоприемником б. Вид регистрируемой картины показан на фиг.2.

В качестве источника освещения, обеспечивающего получение дополнительной интерференционной картины, можно использовать стабилизированный по частоте гелий-неоновый лазер. Изменением угла наклона луча 1 можно в широких пределах изменять масштаб калибровочных импульсов, так как их количество в пределах одного интерференционного порядка определяется числом отражений луча 1 между зеркалами 2 и 3.

Таким образом, предложенный способ обеспечивает необходимую точность и может быть использован со сканирующими интерферометрами различных типов.

Способ калибровки шкалы длин волн сканирующего интерферометра, заключающийся в том, что получают основную интерференционную картину, создают дополнительную интерференционную картину и производят сравнение этих картин, отличающийся тем, что, с целью повышения точности калибровки и расширения области применения способа, дополнительную интерференционную картину создают путем ввода контрольного светового луча между зеркалами калибруемого интерферометра и получения многократного отражения этого луча.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Скоков И.В. Многолучевые интерферометры. M., Машиностроение, 1969, с. 95-100.

2. Приборы для научных исследований, 1976, Р 3, с. 115.