Способ нанесения металлических покрытий

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сотоз Советских

Социалистических

Республик (6l) Дополнительное к авт. свиа-ву (22) Заявлено 19.10.76 (21) 2416349/22-02 с присоеднненнем заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.08.78 Бюллетень Ж 3 (45) Дата опубликования описания 21.07.78

Гооударственный комитет

Совета тлнннотроа СССР оа делам пзооретеннй я открытий (72) Авторы изобретения

В. И. Ермолаев, О. H. Выдрин и C. В. Бабушкин (71) Заявитель (54) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ

ПОКРЫТИИ

Изобретение относится к области нанесения металлических покрытий, в част ности медных и никелевых,, термическим расположением металлоорганических соединений и может быть использовано в 5 металлургии и электронике при изготовлении изделий с защитными, злектропроводными, паяными и другими покрытиями.

Известен способ получения металлических покрытий, в частности медных, путем 10 пирппиза формиатных соединений меди в вакууме при 350-450 С fl).

Однако испарение формиатов боль шинства металлов требует нагрева до температур близких или более высоких по сравнению с температурой их разложения, что сопровождается малой эффективностью использования металлсодержашего сырья.

Наиболее близким к предложенному по технической сущности и достигаемому зф- 2о фекту является способ нанесения металлических покрытий путем термического разложения паров металлоорганических соединений относительно термостабильных при температуре испарения, в частности ац тилацетонатиых и диенилькых производных, в восстановительной атмосфере (водород) на нагретой до 250-500 С поверхности изделий (2J.

Недостатками такого способа являются: низкая чистота получаемых покрытий (загрязнение металла покрытия полимерными продуктами пиролиза, окисными соединениями и углеродом достигает 60%), взрывоопасность процесса, обусловленная иопопьзованием водорода. для создания восстановительной атмосферы.

Бель изобретения - повышение чистоты покрытия и снижение взрываемости процеоса.

Достигается это тем, что восстановительную атмосферу создают при помощи паров муравьиной кислоты, которые подают непосредственно K покрываемой поверх ности при мопьном соотношении к парам металлоорганическэго соединения (h-Зтт):

1, где т - валейтность металла.

Процесс осуществлял.т при пониженном давлении в системе. В качестве металлоЮ органических соединений и ..пользуют, 621801

1. Патент США М 2430520, кл. 117-35, 1947.

2. Патент США М 3356527, кл. 117-102, 2, 1967.

Составитель A. Рычагов

Редактор А. Соловьева Техред Н. Бабурка Корректор M. Демчик

Заказ 4991/5 Тираж 1177 Подписное

ЦНИИПИ Государственногэ комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Цатент", га Ужгород, ул. Проектная, 4

1 например, ацетилацетонаты и циклопента j дие нилы метапл ов.

Получают покрытия толщиной 0,1-10 мкм со скоростью осаждения до 2,5 мкм/ч.

Неравномерность покрытий на полированной ферритовой пластинке плошадью 4 см

2 не превышает 5-7%, адгезияя к основе составляет 150-200 кг/см .

Пример 1. Стеклянные подложки помешают в кварцевый сосуд, имеющий отвод для вакуумной откачки, нагреватель- о ные печи и систему подачи паров исходных соединений. Нагревают подложки до о

35Ф10 С, вводят в сосуд ацетилацетонат меди, испаряемый при 25&10 С, и непосредственно к поверхности покрываемых подложек подводят пары муравьиной

-кислоты в мольном отношении к парам ацетилацетоната меди 2l1-, Процесс ведут при давлении в системе 10 мм рт. ст., содержание меди в папученном покрытии составляет 96%, остальное - углерод.

Пример 2. Процесс осуществляют по примеру 1, но в качестве металлсэдержащего соединений берут бис-(циклопентадиенил) никеля, испаряемый при

33 о

120 j 10 С. Содержание никеля в покрытии составляет 58%, остальное - углерод.

Предложенный способ нанесении металлических покрытий из паровой фазы по сравнению с существующим обеспечивает @ снижение содержания примесей в покрытиях, что позволяет повысить их паяемость„ зпектропроводность и травимость, т. е. расширяет область применения в зпектронике.

Формула изобретения

Способ нанесения металлических покрытий путем термического разложения паров металлоорганических соединений в восстановительной атмосфере на нагретой поверхности изделий, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения чистоты покрытия и снижения взрывоопасности процесса, восстановительную атмосферу создают при помощи паров муравьиной кислоты, которые подают непосредственно к покрываемой поверхности при мольном отношении к парам металлоорганического соединения (И - 3 ll ): 1, где tl — аапентность металла.

Источники информации, принятые во внимание при, экспертизе: