Распределительное устройство для нанесения фоторезистивных покрытий

! (;.а1 . ::; .. . .,н Щ

086 и ra, и.с- 3&A

ОЛ ИГРАНИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

{61) Дополнительное к авт. свид-ву—

:, (22) Заявлено 15,04.76 {21) 2349927/25

Со оз светски

Социалистических

Республик (111579666 (51) M. Кл".

Н 01 1 21/00 с присоединением заявки ¹

Государственный квинтет

Совета Мкнкстрав СССР по делам изобретенкй и открыткй (23) Приоритет " (43) Опубликовано 05 11 7, Бюллетень Ме4

{53) УДК 621.392,,002 {088,8) {45) Дата опубликования описания 22.11.77 (72) Авторы изобретения

Л, В, Введенский, А,,В, Ьарышев и, Л, Н, Каплнп (71) Заявитель (54) РАСПРЕДЕЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НА11ЕСЕНИЯ

ФОТОРЕЗИС 1 ИВНЫХ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к распределительным и дозируюшим устройствам для нанесения фоторезиста и может найти применение в попупроводниковом и микроэпектр DHH0M произ-. водстве, 5

Известно дозируюшее устройство, содержащее корпус, запорную иглу и капилляр подачи фоторезиста на подложку $1)

Недостатками устройства являются скапливание в дозируюших отверстиях и капилля- )О рах остатков фоторезиста, загрязнение наносимого покрытия полимеризованпым фоторезистом.

Известно также распределительное устрой-15 ство для нанесения. покрытий, содержащее трубопровод с дозируюшими отверстиями, расположенными по его длине, и механизм их запирания с приводом (2)

Недостатком известного распределителя является низкая надежность работы иэ-за полимеризации фоторезиста на поверхностях в зазоре между трубами.

11елью изобретения является повышение надежности запирания дозирующих отверстий. 5

Поставленная цель достигается тем, что механизм затшрышя выполнен в виде подпружиненного поворотного рычага с кронштейном и шарнирным запирающим злементом, закрепленным на кронштейне так, что ребро его контактной Йлошадки постоянно взаимодейст вует с контактной площадкой трубопровода в зоне дознрующего отверстия.

Контактные площадки трубопровода параллельны продапьной оси трубопровода, ас осями

I дозирующих отверстий составляют угол равным

88-89

На фиг. 1 показано предложенное устройство в общем виде; на фиг. 2 — вид А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез по Б-Б иа фиг, 1.

Распределительное устройство содержит трубопровод 1, в которьш через штуцер 2 подается фоторезист. Трубопровод закреплен в корпусе 3 винтами 4. По длине трубопровода выполнены дозирую дне отверстии 5 и в месте их расположения контактные площадки 6,,Угол, образованпьш контактной площадкой трубопровода и осью дозируюшего oi о верстпя, равен 88-89, Каждое дозируюшее отверстие 5 запирается свопм механизмом запирания, содержащим поворотный рычаг 7, один конец которого взаимодействует с пружиной 8, закрепленной на стержне 9, а другой жестко связан винтами 10 с кронштейном 11 и шарнирным запирающим элементом

12, Элемент 12 закреплен на кронштейне 11 с помощью оси 13 так, что ребро 14 его контактной площадки 15 под действием пружины 16 постоянно взаимодействует с контактной площадкой 6 трубопровода 1, Пружи- ð на 16 закреплена на кронштейне 11 винтами

17. Для фиксации поворота шарнирного элемента 12 служит винт 18, Запирающий механизм закреплен на поворотной оси 19 штифтом 20, причем на каждую ось воздействует пневмоцилиидр 21 с помоиью штока 22, Распределительное устройство работает следующим образом.

В трубопровод 1 через штуцер 2 под постоянным давлением подается фоторезист. В мо- щ мент подачи воздуха в каждый пневмоцилиндр

21 его шток 22 воздействует на поворотную ось 19, и оиа поворачивается на определенный угол (фиг. 2),,При этом поворачивается жестко связанный с ней поворотный рычаг 7, д который натягивает пружину B. Кронштейн

11, поворачиваясь, отводит закрепленный в нем шарнирный запирающий элемент 12 or контактной площадки 6 трубопровода 1, а пружина 16 прижимает ребро 14 к контакт зо ной площадке 6 и освобождает дозпруюшее отверстие 5, через которое выходит находящийся под давлением фоторезист.

При прекращении подачи воздуха в иневмоцилиндры 21 их штоки 22 возвращаются Э5 в первоначальное попожение, освобождая таким образом поворотные оси 19. При этом каждая ось иод действием пружины 8 поворачивается до тех пор, пока укрепленный в кро ш тейне 11 шарнирный элемент 12 не 40 упрется своей контактной площадкой 15 в контактную плошадку 6, перекрыв дозирующее отверстие 5, Перед тем как шарнирный элемент 12 своей контактной площадкой 15 установится на контактной площадке 6, его 45 ребро 14, прижимаясь пружиной 16 к контактной площадке 6, снимет с нее слой фоторезиста, который падает в сборник (не показан) отходов фоторезиста.

Расположение элементов конструкции обес печивает почти параллельное перемещение шарнирного элемента 12 относительно контактных плоскостей трубопровода и скольжение его по ним с целью очистки от фоторез иста.

При эксплуатации в производственных условиях устройство оказалось надежным в работе с фоторезистал и типа РН-7 и фП383, простым в обслуживании, профилактике, В дозирующих отверстиях не происходит скаи-. ливания остатков фоторезиста и благодаря его постояниои циркуляции по трубе не образуется осадка смолы и постоянно сохраняется вязкость ио объему, Формула изобретения

1, Распределительное устройство для нанесения фоторезистивных покрытий, содержащее трубопровод с дозируюшими отверстиями расположенными по его длине, и механизм их запираиия с приводом, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения надежности запираиия, механизм запирания выполнен в виде подпружиненного поворотного рычага с кронштейном и шарнирным запирающим элементом, закрепленным на кронштейне так, что ребро его контактной площадки постоянно взаимодействует с контактной площадкой трубопровода в зоне дозирующего отверстия.

2, Устройство по пД, о т л и ч а юш е е с я тем, что контактные площадки трубопровода выполнены параллельно продольной оси трубопровода и под углом к осям дозирующих отверстий, равным 88-89 . о

Источники информации, принятые ва внрмание при экспертизе:

1. Каталог фирмы "Atlas Handed А.С "э

1969, стр. 2-20, 2. Патент США ¹ 3282248, кл. 118-612, 1 966

22 Риг 2

/б

Фиг.,7

Составитель П. Островская

Техред М. Левиикая Корректор П. Макаревич

Тираж 976 П одлис кое

ЙНИИПИ Госудюустаеипего кемызета Совета Министров СССР по декам изабретеиий и открытий

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4