Устройство для измерения линейных перемещений поверяемых объектов

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ . СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 5645 1 9 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 07.06.74 (21) 2033403/28 с присоединением заявки № (23) Приоритет(43) Опубликовано 05,07,77,оюллетеиь № 25 (46) Дата опубликования описания 19.08.77 (5!) М, Кл.е

G 0l В 9/02

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изооретений и открытий (бЗ) УДК 531 715 (088,8) (72) Автор изобретения

И. Т. Уверский

Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологической службы (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО йЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ

ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОВЕРЯЕМЫХ ОБЪЕКТОВ

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для абсолют ных высокоточных измерений линейных перемещений, например, в презиционном машиностроении.

Известен интерферометр для абсолютных измерений линейных перемещений, построенный по двухлучевой схеме, содержащий основание, источник монохроматического света, коллиматор, эталонную, измерительную и наблюдательную ветви, которые состоят из системы зеркал, призм и линз, установленных в соответствующем положении.

Недостатком известного интерферометра является то, что он не показывает нуле« вую полосу и не приспособлен для измерения перемещений в различных направлениях в пространстве, Известен интерферометр для измерения линейных перемещений, в котором имеется источник белого света и набор интерференционных светофильтров, что обеспечивает при измерении нахождение нулевой полосы.

Недостатком такого интерферометра яв ляется то, что он не приспособлен для измерения перемещений в различных направлениях в пространстве.

Наиболее близким по технической сущности к предложенному изобретению является устройство для измерения линейных перемещений поверяемых объектов, содержащее встроенный в корпус контактный интерферотО метр, узел крепления корпуса с основанием устройства и узел крепления ттоверяемого обьекта, Однако оно не позволяет производить измерения линейных перемещений в различ1н ных направлениях в пространства.

Целью изобретения является расширение эксплуатационных возможностей устройства, Это достигается за счет тото, что узел

gg крепления поверяемого обьекта жестко связан с корпусом интерферометра, а узел крепления корпуса с основанием установлен с возможностью поворота корпуса интерферометра в плоскости„ перпендикулярной основанию.

564519

На фиг. 1 изображена схема устройства, а на фиг. 2 - схема отсчета.

Устройство содержит источник 1 монохроматического света и источник 2 белого света, зеркало 3 для поочередного включе- 5 ния источников 1 или 2, объектив 4 коллиматора, призму 5, светофильтр 6, полупрозрачное зеркало 7, неподвижное (опорное) зеркало 8, компенсатор 9, измерительное (подвижное) зеркало 10, закрепленное на измерительном стержне 11, ширмы 12, частично закрывающие зеркала 8 и 10, Наблюдательная ветвь интерферометра содержит объектив 13, призму 14 двойного изображения, ° экран со шкалой 15, эерка15 ло 16. Схема отсчета (фиг.2) содержит счетчик 17 полос, фотоприемники 18 и призму 19. Счетчик снабжен приспособлением для программирования, Работает устройство следующим образом.

Пучок лучей от источников света 1 или

2, проходя обьектив коллиметра, призму 5 и, когда требуется, светофильтр 6, падает на зеркало 7, разделяется на два пучка, один из которых направляется на неподвижное зеркало 8, а другой, пройдя компенса, тор 9, - на подвижное зеркало 10, закрепленное на измерительном стержне 11. Оба зеркала частично закрыты непрозрачными ширмами 12. После отражения от зеркал

8 и 10 пучки лучей, частично проходя объектив 13 и призму 14 двойного изображения, направляются на экран со шкалой 15.

Если разность хода невелика, то лучи ин35 терферируют в полости экрана — шкалы и наблюдаются с помощью зеркала 16, причем на экране получаются два изображения системы полос интерференции света, 40 прямое и обратное, перевернутые друг от- . носительно друга на 180о (фиг. 2). Б белом свете оба изображения интерференционных полос окажутся цветными и среди них черные (нулевые) ахроматические полосы 45 служат указателями положения измерительного стержня интерферометра на оси при бора. Когда черные полосы (прямая и перевернутая на 180 ) совпадут, стержень будет в -нулевом положении. При перемещении стержня полосы синхронно перемещаются в противоположных направлениях

Интервал перемещения измерительного стержня определяется в длинах волн (полосах) визуально или счетчиком 17 полос с помощью фотоприемников 18 и призм 19 (фиг. 2), следящих эа перемещениями полос на экране.

Стержень интерферометра перемещается вручную с помощью редуктора 20 или электродвигателем 21 и одновременно перемешается стержень .22 поверяемого прибора. При этом оба стержня находятся. на одной прямой, перпендикулярной оси 23, на которой интерферометр вместе с поверяемым прибором могут поворачиваться в стойке

24 в требуемое положение.

После- присоединения, например, поаеряемой головки к интерферометру и установки его в требуемое положение в пространстве показания интерферометра и поверяемой головки устанавливают на "нуль начальный". Перемешают измерительный стержень интерферометра, а следовательно, и поверяемой головки на заданное число длин волн. (полос) и производят отсчет по шкале головки. Проверяют "нуль конечный, Разность между перемещениями в длинах волн и показаниями головки - резуль. тат поверки головки.

Формула изобретения

Устройство для измерения линейных перемещений поверяемых объектов, содержащ шее встроенный в корпус контактный интерферометр, узел крепления корпуса с основанием устройства и узел крепления поверяемого обьекта, о т л и ч а ю ш е е-с я тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей устройства, узел крепления поверяемого объекта жестко связан с корпусом интерферометра, а узел крепления корпуса с основанием установлен с воэможностью поворота корпуса интерферометра в плоскости, перпендикулярной основанию.

56451

Составитель В. Климова

РедактоР Г. КУзьмийа ТехРед О. ЛУговаЯ КоРРектоР С. Патрущева

Заказ 2135/206 Тираж 907 Подписное

llHHHHH Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113О35, Москва, Ж-35, Раушская наб. д, 4/5

Филиал ППП Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4