Способ обнаружения микроотверстий в тонкостенных изделиях

Всес утвтвн т,;, . б. т "." «-, о

ОП ИСАЯ

ИЗОБРЕТЕ Н

Союз Советских

Социалистических

Республик

559146

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕ (61) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 08.12.75(21) 219721 с присоединением заявки. № (23) Приоритет(43) Опубликовано25.05.77.Бюлле (45) Дата опубликования описания

)М. Кл

2 (01 М 3J04

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

) УДК 389:620.1РЗ.

° 19 (088.8) (72) Авторы изобретения

Г. А. Скакодуб и А. А, Смирнов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ МИКРООТВЕРСТИЙ

В ТОНКОСТЕННЫХ ИЗДЕЛИЯХ

Изобретение относится к области конт рольно-измерительной .техники и может быть использовано для обнаружения сквозных митероотверстий в пластинах, например из полупроводниковых материалов. 5

Известен способ обнаружения сквозных микроотверстий в корпусах малогабаритных приборов, заключающийся в том, что испытуемый корпус покрывают пенообразуюшим веществом, например мыльной пленкой, по» мешают на мембрану и покрывают прозрач ной накладкой в виде., колпака, например чашкой Петри. Рычагом, расположенным внутри цилиндра, оттягивают, мембрану

I книзу, создавая под колпаком разрежение. 15

В случае наличия в корпусе микроотверстий избыток воздуха, находящегося внутри кор» пуса под атмосферным давлением, выходит в область .разрежения, образуя в месте выхода пузыри (1), 20 г

Однако известный способ предназначен для контроля изделий, имеющих замкнутые полости, и не может быть использован для контроля пластин, 25

Известен способ обнаружения сквозных микроотверстий в стенках резервуаров, за ключающийся в том, что контролируемый участок обрызгивают водой, прикрывают на кладкой - колйаком из органического стекла, откачивают воздух из-под колпака. В месте расположения микроотверстий образу ются воздушные пузырьки (21.

Известный способ сложен и требует для осуществления сложного оборудования.

Цель изобретения — упрощение обнаружения микроотверстий.

Это достигается тем. что в качестве индикаторной жидкости используют сублимационный клей, накладку подогревают и о местах расположения микроотверстий су дят по пустотам, образованным в результате испарения клея.

На чертеже предстазлена схема взаимного расположения накладки и контролируемого изделия, поясняющая осуществление способа.

На поверхность контролируемого изделия

1 приклеивают сублимационным клеем 2

559146

Составитель И. Кесоян

Редактор М. Рогова Техред И. Астапош Корректор В. апас

3аказ 1500/95 Тираж 1101I Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открьпий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5, Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, уп. Проектная, 4 накладку 3 из прозрачного материала, папример пз стекла, Способ осуществляют следующим образом.

Накладку 3 нагревают до температуры плавления сублимационного клея, смачивают клеем, размещают контролируемое изделие на смоченной клеем поверхности накладки и прижимают ее грузом. Остужают соединение до комнатной температуры. При последующем нагреве накладки в случае наличия в контролируемом изделии микроотверстий 4 клей испаряется через них и в прос ранстве между изделием и накладкой образуются пустоты 5, хорошо видимые со стороны накладки. Пустоты повторяют форму отверстий.

Ф ормупа изобретения 20

Способ обнаружения микроотверстий в тонкостенных изделиях, заключающийся в том, что на контролируемую поверхность наносят индикаторную жидкость и устанавливают на нее накладку из прозрачного материала, о т.п и ч а ю шийся тем, что, с цепью упрощения процесса обнаружения мнкроотверстий, в качестве индикаторной жидкости используют сублимационный клей, накладку подогревают и о местах:расположения микроотверстий судят по пустотам, образованным в результате испарения клея.

Источники информации, принятые: во внимание при экспертизе:

1. Патент США № 3081620, кл. 7340, .1963.

2, Вакуумный контроль герметичности

Letsch В.Э сМЬе Ь1ои1лоИел rniHe0s уа ки и гл рй fgeraken Ье BrannstofBanks

hlonatsbul0. Бйтеп., Verein Gas-und Wes. er a