Способ изготовления оксидного катода
!
О п И AЙ И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
0ц 526969 ежа Сааетсн.их
Савиалилтичеохих
Ре оуйлик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ с = е = Ф ф л (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.04.74 (21) 2012774/25 с присоединением заявки М (23) Приоритет (51) М. Кл. - Н 011 9 04
Государственный комитет
Совета Министров СССР (53) УДК 621.3.032.213. .6 (088.8) Опубликовано 30.08.76. Бюллетень Л 32
Дата опубликования описания 24.08.76 де делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения
Г. Б. Мех, О. Я. Петруничкина и И. П. Мелещенко (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОКСИДНОГО КАТОДА
Изобретение относится к области электронной техники, в частности, технологии изготовления оксидны;; катодов с кернами из тугоплавких металлов, применяемых в электровакуумных приборах.
Известен способ изготовления оксидного катода, по которому на молибденовый керн наносят тугоплавкий порошок, например, Ю толщиной 5 — 10 мкм и припекают к керну при температуре 1700 С. Затем одним из существующих способов наносят эмиссионное вещество 11). Недостатком этого способа является слабая адгезия эмиссионного покрытия с керном при работе прибора, приводящая к растрескиванию и отслаиванию эмиссионного покрытия и, как следствие, появлению коротких замыканий и токов утечек между сеткой и катодом.
Известен также способ изготовления оксидного катода, включающий нанесение и спекание двух слоев тугоплавкого металлического порошка на керне из тугоплавкого металла, например вольфрама, и заполнение образовавшейся губки эмиссионным материалом /2/.
Этот способ позволяет получить необходимую толщину пористого материала, но не обеспечивает высокую адгезию эмиссионного вещества с керном катода, так как спекание обоих слоев при одинаковой температуре приводит к получению общей монолитной губки, обладающей хорошей адгезией с керном, по не эмиссионным покрытием.
Цель изобретения состоит в улучшении адгсзии эмиссионного покрытия с керном из тугоплавкого металла.
Поставленная цель достигается тем, что второй слой металлического порошка спека .;т при температуре на 400 — 700 С ниже тсмпе10 ратуры спекания первого слоя.
Первый слой припекают в атмосфере сухого водорода при температуре 1700 С, которая обеспечивает хорошую адгезшо с керном. Второй слой пригекают в вакууме при темгсра15 туре 1000 †13 С.
Температура припекания второго слоя выбрана из условия, чтобы степень его спекания позволила получить подвижный пористь:й слой с малой усадкой порошка, а наличие пор
20 увеличило бы глубину проникновения эмиссионного вещества в поры второго слоя, в результате чего, с одной стороны, второй слой хорошо спекается с первым, с другой стороны, улучшается его адгсзия с эмиссионным ве25 ществом. Спекание второго слоя при более низкой температуре нарушает его адгезию с первым слоем, спекание при более высокой температуре приводит к уменьшению его пористости и ухудшению адгезии с эмнссион30 ным покрытием.
526969
Формула изобретения
Составитель А. Киселев
Тсхоед А. Камышникова
Корректор О. Тюрина
Редактор H. Коляда
Заказ 1793 15 Изд. ¹ 1551 Тираж 953 Подписное
ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, К-35, Раушская наб., д. 4 5
Типография, ир. Сапунова, 2
Яо время температурных нагрузок па катод второй слой, обладая определенной подвижностью, играет роль демпфирующсй прослойки и служит как бы компснсатором, спижа!ощим напряжение внутри эмиссионного покрытия, что позволяет смягчить влияние разницы в коэффициентах линейного расширения эмиссионного покрытия и керна катода из %, Мо, Re — материалов, коэффициенты термического расширения (КТР) которых существенно отличаются от коэффициента термического расширения оксидного покрытия.
Слабая c lcrieH» сцепления второго слоя с первым позволяет второму слою быть 1!Одвижным при деформациях керна и оксидного покрытия, имеющих место вследствие значительной разницы КТР материала керна и оксида, и предупре?кдать растрескивание и отслаивание оксидного покрытия.
Результатом применения такого способа изготовления катода является хорошая адгезия эмиссионного покрытия с керяом катода, отсутствие отслаивания и растрескивания.
TO i1IIHHB I:, ?14710! 0 CJIOH COCTHBJIIIQT 5—
10 мкм. 25
Пример. На внешнюю поверхность молиодснОВОГО колпачка методом пульверизяции наносят первый слой вольфрамового порошка толщиной 5 — 10 мкм и припекают в атмосфере сухого водорода при тев1пературе 1700 С в 30 течение 10 мин, затем наносят второй слой вольфрамового порошка толщиной 5 — 10 мкм и припекают в вакууме при температуре
1000 — 1300 С в течение 15 мин.
31!тем H3 втОрОН слОЙ вольф13 амового nop011II12 пулI>всрl!зацис1! наносят 341!! ccHOHHQQ вещсстго. После чего монтируется прибор.
Катод, изготовленный по предлагаемому способу, обследован в приборах CBI-I-диапазона с малым временем готовности. Обслсдование показало, что растрескивание и отслаивание эмиссионного покрытия ликвидировано, а токи утечки и короткие замыкания в проме?кутке сетка-катод значительно сни?кены по сравнению с катодами текущего производства, изготовленными по известному способу. Стабильность других параметров, в частности то1 .а эмиссии катода, также улучшена.
Способ пзго гозлспия оксидного катода, включающий папссепис и спекание двух слоcl; ту1оплавкого металлического порошка на ксрне из тугоплавкого металла, например вольфрама, и заполнение образовавшейся губки эмиссионным материалом, о т л и ч а 10 щ и йс я тем, что, с целью улучшения адгезии эмиссионного материала с керном, второй слой металл". !еского порошка .1екают при температуре 400 — 700 С пижс температуры спекания
1!СП ВOI 0 С 1011
Источники информации, принятые во внима111с при экспертизе:
1. Патент СШЛ, № 3400294, кл. 313 — 340
От 3,0о 68, 2. Патент Англии, ¹ 827150, кл. 39 (I) от 3. 09. 58.
