Травитель для антимонида индия

Авторы патента:

B01J17 - Химические или физические процессы, например катализ, коллоидная химия; аппараты для их проведения (способы или устройства специального назначения, см. соответствующие классы для этих способов или устройств, например F26B 3/08).

(11) 521921

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-вувЂ” (22) Зая»«о04.07.74 (21) 2042427/2В с присоединением заявки _#_(23) ПриоритетвЂ” (43) Опубликовано 25.07.76 Бюллетень №27 (45) Дата опубликования описания07.10.76 (51) М. Кл.

В 01 J 17/00

Государственный комитет

Совета Министрав СССР аа делам изобретений и открытий (53) УДК

548. 55 (088. 8) (72) Автор, изобретения

Л. Г. Еланская

Государственный ордена Октябрьской Революции научно вЂ” исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности (71) Заявитель (54) ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ АНТИМОНИДА ИНДИЯ

Изобретение относится к травителям й1 может быть использовано в технологии полупроводниковых материалов.

Известен травитель, выявляющий дислокации в монокристаллах антимонида индия, в состав которого входят азотная, плавиковая и уксусная кислоты.

Однако известный травитель выявляет дислокационные ямки травления только на одной или двух кристаллографических плоскостях.

Известен также травитель, состоящий из соляной кислоты и пергидроля.

Однако этот травитель не может быть

1 использован для травления антимонида индия.

Заделью изобретения является выявление лислокаиии r о плоскостям 1211}, (111}, j11O}, (1ОО}.

Для этого травитель дополнительно содержит молочную кислоту при следующем соотношении компонентов, г/л:

Солячая кислота 30 вЂ” 250

Пергидроль 30 вЂ” 150 (Молочная кислота 100 вЂ” 400

Пример. Осуществляли травление ! подготовленного полированного образца ан-. тимонида индия, ориентированного по плоскости }111) и 1211} в травителе следуювЂ” щего состава: 105 г/л соляной кислоты, 55 г/л пергидроля и 250 г/л молочной кислоты.

Травление длилось 15 мин. Затем образцы промывали водой и сушили. Дислокации выявлялись в виде конусообразных ямок с вершиной.

Формула изобретения

Травитель для антимонида индия, содержащий соляную кислоту и пергидроль, о твЂ” личающийся тем, что, с целью выявления дислокаций по плоскостям (211, (111), (110 „(100, травитель дополвЂ” нительно содержит молочную кислоту при следующем соотношении компонентов, г/л:

Соляная кислота 30 вЂ” 250

Пергидроль 30 вЂ” 150 ф Молочная кислота 100 вЂ” 400

Составитель Л. Еланская

Редактор А. Зиньковский Техред А. Богдан КорректоР С, Болдижар

Заказ 3504/339 Тираж 864 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Карбонизационная колонна // 521002

Способ проведения жидкофазных химических процессов // 520115

Способ получения слоев ферромагнитной сульфошпинелей // 519213

Оптический кристаллический материал // 518226

Устройство для противоточного контактирования жидкой фазы с твердой зернистой фазой // 517315

Способ изготовления пластин на основе кремния // 514621

Способ получения монокристаллов киновари // 512790

Аппарат для проведения химических реакций // 512787

Способ электрохимической регенерации ионноериала // 511959

Катализатор окисления оксида углерода и углеводородов (варианты) // 2100067

Изобретение относится к области технической химии, катализаторам окисления СО, углеводородов и других веществ отходящих газов промышленных производств, а также к катализаторам, предназначенным для сжигания топлив

Катализатор окисления аммиака // 2100068

Изобретение относится к катализаторам на основе перовскитов для процесса окисления аммиака

Способ регенерации катализатора димеризации и содимеризации низших олефинов // 2100070

Изобретение относится к способу регенерации катализатора димеризации и содимеризации низших олефинов и может быть использовано в нефтехимии

Катализатор для превращения алифатических углеводородов с2 - с12 в высокооктановый бензин или ароматические углеводороды и способ превращения алифатических углеводородов с2 - с12 // 2100075

Изобретение относится к цеолитсодержащим катализаторам превращения алифатических углеводородов C2-12 в высокооктановый компонент бензина или концентрат ароматических углеводородов и способу его использования

Твердый компонент катализатора для (со)полимеризации этилена и олефинов, катализатор этого процесса и процесс (со)полимеризации этилена и олефинов // 2100076

Способ приготовления катализатора для димеризации и содимеризации низших олефинов // 2100078

Изобретение относится к области нефтехимии

Способ приготовления катализатора гидроочистки нефтепродуктов // 2100079

Изобретение относится к нефтепереработке, в частности к способам приготовления катализаторов, предназначенных для использования в гидрогенизационных процессах при гидроочистке нефтяных фракций

Способ приготовления катализатора гидроочистки нефтепродуктов // 2100079