Устройство для измерения мощности сверхвысокочастотных колебаний

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К aSTOPCNOhiV СайдЕПЛЬСТВ (61) Дополнительное к авт, свнд-ву— (22) Заявлено 06.66,75 (21) 2141931 09 с присоединением заявки № (23) Приоритет(43) Опублнковано05.07.76.Бюллетень № 25

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 52Î547 (51) N. Кл.е

GO1 В 21 04

Государственный намитет

Соната Миниатраа СССР аа делам изобретений и атирытий (53) УДК

621. 317 (088.8) (46) Дата опубликования опнсания 20.08.76

С. П. Ашмонтас, В, И. Г ога, Л. Е. Субачюс и Р. Б. Лапинскас (72) Авторы изобретения

ВAT (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МОШНОСТИ

СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫХ КОЛЕБАНИЙ Изобретение относится к технике сверхвысоких частот.

Известно устройство для измерения мощ ности сверхвысокочастотных колебаний, со-! держащее отрезок волновода и полупровод-, никовую пластину с двумя омическими кон-; тактами.

Цель изобретения — повышение чувствительности устройства. l0

Предлагаемое устройство отличается тем, что одна приконтактная область цолупровод никовой пластины выполнена, со ступенчатым.

ЮУ: распределением легйрующей примеси, à 15 другая — с плавным распреДеленией, йрй чем контакты выполнены точечными.

На чертеже приведена схема устройства, Устройство содержит отрезок волноводв

1, полупроводниковую пластину 2 с точеч-, Щ ными омическими контактами 3, 4 и метал,лическими зондами 5, 6 к ним, причем пластина 2 расположена в ©мости отрезка; волновода на теплопроводяшей изоляционной,; подложке 7. Приконтактная область 8 плас- зв

2 тины выполнена со;ступенчатым распределением легирующей примеси, а приконтактная область 9 — с плавным распределением.

Устройство работает следующим,образом, l

При подаче в отрезок волновода сверх- . высокочастотных колебаний между контактами возникает разность потенциалов, пропорциональная проходящей через отрезок волновода мощности этих колебаний.

Асимметрия, воль1 амперной характерис-; тики контакта 3 обусловлена возникновени-, ем обьемного заряда в приконтактной облас ти 8 со ступенчатым . распределением ле- гирующей примеси и нелокальной связью между подвижностью носителей заряда и напряженностью электрического поля, а асимметрия вольт-амперной характеристики, контакта 4 в основном обусловлена воаник- новением термоэдс горячих йосителей заряда прикоитактиой области 9 с плавным: распределением легирующей примеси. В ре-: зультате этого потенциалы, возникающие на контактах, имеют разные полярности, 520547

Составитель А. Кузнецов

Редактор Б. Федотов Техред Г. Родак. Корректор "А. Лакида

Заказ 2805/223; Тираж l029 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 что существенно повышает чувствительность устройства.

Формула изобретения

Устройство для измерения мощности сверхвысокочастотных колебаний, содержа шее отрезок волновода и полупроводниковую пластину с двумя омическими контактами, о T л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности, один при контактная область пластины выполнена со ступенчатым распределением легируюшей примеси, а другая - с плавным распределением, причем контакты выполнень чечными,